Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 2800 I
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 2800 I
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original HIPACE 2800 I | IU Pompe turbomoléculaire préparée pour système de gestion de la température...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Utilisation conforme Utilisations non conformes prévisibles Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Description du produit Fonction 3.1.1 Refroidissement 3.1.2 Paliers du rotor 3.1.3 Entraînement...
- Page 4 6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement 6.2.2 Fonctionnement via la connexion « E74 » 6.2.3 Fonctionnement via le raccordement multifonctions « à distance » 6.2.4 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum Mise en marche de la pompe turbo Fonctionnement avec TMS après conversion 6.4.1 Instructions de réglage...
- Page 5 Table des matières Déclaration de conformité CE Déclaration de Conformité UK 5/74...
- Page 6 Tab. 21: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 22: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab. 23: Fiche technique HiPace 2800 I | IU Tab. 24: Matières entrant en contact avec la substance du procédé...
- Page 7 Liste des figures Fig. 1: Position des autocollants sur le produit Fig. 2: Construction HiPace 2800 I | IU Fig. 3: Points d’attache des sangles pour le transport à la verticale de la pompe tur- bomoléculaire sans emballage Fig. 4: Points d’attache des sangles pour le transport horizontal de la pompe turbo-...
- Page 8 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 9 Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. Plaque signalétique (exemple) Les plaques signalétiques des modules individuels sont situées D-35614 Asslar HiPace 2800 I | IU Mod. sur la partie inférieure de la pompe turbomoléculaire ou des con- PM P06 46X nexions correspondantes.
- Page 10 A propos de ce manuel Raccord d’eau de refroidissement Cet autocollant indique la position de l'évacuation de l'eau de re- COOLING WATER OUT froidissement de la pompe turbomoléculaire. Sceau de garantie warranty seal Le produit est scellé, départ d’usine. L’endommagement ou le re- trait d’un sceau de garantie rend tout recours en garantie cadu- que.
- Page 11 A propos de ce manuel Abréviation Signification dans ce document Diode électroluminescente Protection de ligne Underwriters Laboratories Coupe-circuit miniature NEMA National Electrical Manufacturer Association Terre de protection (conducteur de protection) [P:xxx] Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous forme de nombre à...
- Page 12 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 13 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Choc électrique en cas de contact avec des éléments à nu et sous tension. Le raccordement incor- rect de l’alimentation secteur entraîne un risque de contact avec des pièces du carter sous tension. Il existe dès lors un danger de mort.
- Page 14 Sécurité AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à l'oscillation, au basculement ou à la chute d'objets Une manipulation incorrecte pendant l'installation mécanique représente un risque d'oscillation, de basculement ou de chute de lourdes charges. Il y a un risque d'écrasement et de choc (p. ex. lié à la collision avec les connexions à...
- Page 15 Sécurité ATTENTION Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome. ►...
- Page 16 Sécurité AVERTISSEMENT En mettant les mains dans la connexion de vide secondaire ouverte, risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement Une manipulation incorrecte de la pompe turbomoléculaire avant le travail de maintenance entraîne une situation dangereuse avec un risque de blessure. Lors du démontage de la pompe turbomolécu- laire, il y a un risque de coupure en manipulant des pièces en rotation avec des faces acérées.
- Page 17 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords.
- Page 18 Sécurité 2.3 Mesures de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du per- sonnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité...
- Page 19 ● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non répertoriées dans ces instructions 2.7 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispen- sée par Pfeiffer Vacuum. 19/74...
- Page 20 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
- Page 21 Le système de refroidissement assure une dissipation sûre et suffisante de la chaleur sans perte d'énergie pendant le processus de chauffage. Fig. 2: Construction HiPace 2800 I | IU 1 Raccord de vide élevé (DN 250 ISO-F) Points d’élingage pour le transport ho- rizontal 2 Raccord de ventilation (filetage 1/8")
- Page 22 ● Unité d’entraînement électronique TC 1200 3.2 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours con- server à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com...
- Page 23 Description du produit ● Prise bouchon de la connexion « E74 » sur le TC 1200 E74 (en fonction du type) ● Prise bouchon de la connexion « à distance » sur le TC 1200 (26 broches) ● Prise d’alimentation secteur HAN 3A pour le raccordement au réseau électrique de la pompe tur- bomoléculaire ●...
- Page 24 ► Avant de déplacer ou de transporter la pompe à vide, vider le fluide d’exploitation. ► L'installation mécanique doit être terminée avant de remplir la pompe à vide avec du fluide d’ex- ploitation. Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’ori- gine. Transport en toute sécurité du produit 1.
- Page 25 Fig. 3: Points d’attache des sangles pour le transport à la verticale de la pompe turbomolé- culaire sans emballage 1 HiPace 2800 I HiPace 2800 IU Transport de la pompe turbomoléculaire en position verticale 2 anneaux à vis sont inclus dans le contenu de livraison et sont serrés à bloc dans le bâti de la pompe turbomoléculaire.
- Page 26 – Conservez l’anneau à vis pour une utilisation ultérieure. 4.2 Stockage Recommandation Pfeiffer Vacuum recommande de stocker le produit dans son conditionnement de transport d’origine. Stockage de la pompe turbomoléculaire 1. Obturez hermétiquement toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d'origi- 2.
- Page 27 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espa- ce de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire.
- Page 28 ● Assurez-vous que tous les moments de force générés lorsque le moteur bloque sou- dainement sont absorbés par le système du côté opérateur et le raccord de vide élevé. ● Utilisez exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
- Page 29 Raccordements de sûreté, côté client 5.2.3 Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur dans la bride de vide secondaire protègent la pompe turbo contre les matières étrangères provenant de la chambre de vide.
- Page 30 Installation Fig. 6: Orientations de montage de la version standard, en position verticale Fig. 7: Positions montées de la version inversée ► Prenez des mesures contre le reflux des fluides d’exploitation ou des condensats de la zone de vide primaire. ±...
- Page 31 Installation ● « Vis à tête hexagonale et trous taraudés » ● « Vis à tête hexagonale et trous traversants » ● « Goujons avec trous taraudés » ● « Goujons avec trous traversants » Outillage nécessaire ● Clé hexagonale (15 WAF) ●...
- Page 32 ► Le remplissage de la pompe turbo avec du fluide d’exploitation ne s'effectue que par l'intermé- diaire d'un des bouchons filetés marqués avec le symbole d'un bidon d'huile. ► En cas de doute, contacter Pfeiffer Vacuum. Produits consommables requis ● Fluide d’exploitation F3, 50 ml Outillage nécessaire...
- Page 33 Installation Fig. 13: La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Ver- sions standards Direction du raccord de vide Fig. 14: La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Ver- sions U Direction du raccord de vide Procédure 1.
- Page 34 Installation Pompe primaire appropriée Utiliser la pompe turbomoléculaire uniquement en combinaison avec une pompe primaire appropriée générant le niveau de vide primaire requis. Utiliser pour générer le niveau de vide primaire, une pompe à vide ou une station de pompage appropriée de la gamme Pfeif- fer Vacuum.
- Page 35 Installation Paramètre Eau de refroidissement Apparence ● filtrée ● mécaniquement conforme ● visuellement transparente ● pas de turbidité ● pas de sédiment ● exempte de graisse et d’huile Valeur de pH 7 à 9 Dureté du carbonate max. 10 °dH 12,53 °e 17,8 °fH 178 ppm CaC0...
- Page 36 2 Entrée d’eau de refroidissement, filetage 1/4" Tuyère filetée (2x) Procédure Pfeiffer Vacuum recommande d’utiliser un filtre dans la conduite d’alimentation. 1. Vissez une des buses de tuyau avec le joint annulaire sur chaque connexion d’eau de refroidisse- ment de la pompe turbo.
- Page 37 ► Il est interdit de déconnecter des câbles pendant le fonctionnement. Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et options de commande pour les accessoires pour pompes turbomo- léculaires hybrides...
- Page 38 ► Respectez les instructions d’installation du manuel de l’utilisateur concernant l’accessoire corres- pondant. ► Observez la configuration existante des connexions existantes. ► Quand une configuration est nécessaire, utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum. 5.7 Raccordement de l’alimentation électrique DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Choc électrique en cas de contact avec des éléments à...
- Page 39 Installation Fig. 18: Exemple : Raccordement du câble de terre Procédure 1. Utilisez un câble de terre approprié pour faire diverger les interférences applicatives. 2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur. 3. Utilisez la borne de masse de la pompe turbomoléculaire (filetage femelle M4). 5.7.2 Raccordement électrique AVERTISSEMENT Risque de blessure fatale lié...
- Page 40 ► Vérifiez que la tension d'alimentation est correcte. ► Commandez un câble de raccordement au réseau électrique correspondant dans la gamme des accessoires Pfeiffer Vacuum. ► Assemblez votre propre câble de raccordement au réseau électrique en utilisant le connecteur HAN 3A livré avec le produit.
- Page 41 élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide. ► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des valeurs limites inférieures s'appliquent.
- Page 42 Instructions de fonctionnement sans panneau de commande 1. Utilisez uniquement la fiche d’accouplement agréée Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la connexion de l’unité de commande électronique. 2. L’alimentation secteur de la pompe turbomoléculaire ne doit être mise en circuit que juste avant la mise en route.
- Page 43 Utilisation 6.2.4 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum Le raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum permet de contrôler la pompe turbomolé- culaire via des paramètres statiques mémorisés dans l’unité de commande électronique. Utilisation de l’appareil de commande 1. Observez le manuel de l'utilisateur approprié pour la manipulation des appareils de commande Pfeiffer Vacuum : –...
- Page 44 Utilisation 6.4 Fonctionnement avec TMS après conversion 6.4.1 Instructions de réglage Affi- Désignations Fonctions Type Type Uni- min. max. chage d’ac- té dé- don- cès faut née Configuration de 0 = ventilateur (fonctionnement Acc A1 la connexion continu) des accessoires 1 = vanne de ventilation, fermée sans courant 2 = Chauffage 3 = Pompe à...
- Page 45 Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionne- ment avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. Symbole État LED...
- Page 46 3. Attendre l'équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide. 4. Revisser la vis de mise à l'air. Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo. 46/74...
- Page 47 Pfeiffer Vacuum recommande la mise à l'air rapide de grands volumes en 4 étapes. 1. Utiliser une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum pour la pompe turbo. Alternativement, la section transversale de la vanne doit correspondre à la taille du récipient et au taux maximal de mise à...
- Page 48 4. Respectez les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation. 5. Le fluide d’exploitation doit au moins être remplacé tous les 4 ans. 6. Demandez à Pfeiffer Vacuum Service de remplacer le palier du rotor de la pompe turbo au moins tous les 4 ans .
- Page 49 Maintenance 7.3 Remplacement du fluide d’exploitation AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement lié au contact avec des substances toxiques Le fluide d’exploitation et les pièces de la pompe turbo peuvent contenir des substances toxiques provenant du liquide pompé. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ►...
- Page 50 ► Le remplissage de la pompe turbo avec du fluide d’exploitation ne s'effectue que par l'intermé- diaire d'un des bouchons filetés marqués avec le symbole d'un bidon d'huile. ► En cas de doute, contacter Pfeiffer Vacuum. Produits consommables requis ● Fluide d’exploitation F3, 50 ml Outillage nécessaire...
- Page 51 Maintenance Fig. 21: La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Ver- sions U Direction du raccord de vide Procédure 1. Dévissez et enlevez le bouchon fileté supérieur de la pompe du fluide d’exploitation. 2. Utilisez la seringue et le fluide d’exploitation fourni avec la pompe turbomoléculaire. 3.
- Page 52 Maintenance Sauvegarde des réglages effectués par le client Les paramètres d’usine sont toujours activés par défaut sur les unités de rechange. Tous les réglages effectués par le client sur l’unité de commande électronique d’origine sont per- dus lors de son remplacement. Pour conserver vos réglages personnalisés, vous pouvez : 1.
- Page 53 Maintenance Installation de l’unité d’entraînement électronique 1. Si nécessaire, introduire le joint torique dans la rainure du socle de la pompe. 2. Aligner la nouvelle unité d’entraînement électronique sur le bord rectiligne de la plaque de refroi- dissement au-dessus de la pompe du fluide d’exploitation. 3.
- Page 54 Maintenance Accessoires requis ● Un appareil de commande Pfeiffer Vacuum raccordé. ● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de travail de l’unité de commande électronique. Réglage de confirmation de la vitesse de rotation nominale 1. Observer le manuel de l'utilisateur de l’appareil de commande.
- Page 55 Maintenance 7.5.2 Montage des pièces d'assemblage des tubulures Conditions préalables ● Le système de refroidissement fourni par le client est hors pression. Outillage nécessaire ● Clé à écrou, 5/8e de pouce ● Clé à écrou, 11/16e de pouce Fig. 25: Montage des pièces d'assemblage des tubulures 1 Écrou à...
- Page 56 ► Respecter les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation : ● après 2 ans au maximum sans fonctionnement, ● après 4 ans au maximum en combinant périodes de fonctionnement et d'arrêt. ► Respecter les instructions de maintenance et informer le service Pfeiffer Vacuum. 56/74...
- Page 57 2. Nettoyer l'extérieur de la pompe turbo avec un chiffon sans fusel et un peu d'alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demander au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbo. 4. Respecter la durée de fonctionnement totale de la pompe turbo. Si nécessaire, demander à Pfeif- fer Vacuum Service de remplacer le palier.
- Page 58 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation. 2. Enlevez l’unité de commande électronique.
- Page 59 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords.
- Page 60 ● Unité de commande élec- ● Remplacez l’unité de commande électronique. tronique défectueuse ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. La pompe turbomoléculaire ne dé- ● Fonctionnement sans ● Raccordez les connexions conformément au marre pas ; la DEL verte sur l’unité...
- Page 61 Dysfonctionnements Bruits de fonctionnement inhabi- ● Le palier du rotor est en- ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. tuels dommagé ● Rotor endommagé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Pare-éclats ou écran pro- ● Vérifiez et corrigez le siège du pare-éclats ou tecteur desserré...
- Page 62 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 63 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 64 Pièces de rechange 12 Pièces de rechange Fig. 26: Pièces de rechange HiPace 2800 | IU Posi- Désignation Grandeur Référence de comman- Remarque tion Unité de commande se référer à la plaque si- en fonction du pan- électronique TC 1200 gnalétique neau de connexion Fiche E74 À...
- Page 65 Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres longueurs disponibles sur demande Accessoires de ventilation Une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum offre une sécurité de fonctionnement et de processus maxi- mum. Commande automatique via l’unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomolé- culaire.
- Page 66 Accessoires Description Référence de commande Kit de fixation pour DN 250 ISO-F, avec anneau de centrage revêtu, vis à tête he- PM 016 480 -T xagonale Kit de fixation pour DN 250 ISO-F, anneau de centrage revêtu, pare-éclats, vis à PM 016 481 -T tête hexagonale Kit de fixation pour DN 250 ISO-F, avec anneau de centrage revêtu, grille de pro-...
- Page 67 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications conformément au comité PNEUROP PN5 ●...
- Page 68 Caractéristiques techniques et dimensions Champ de sélection HiPace® 2800 I avec HiPace® 2800 IU avec TC 1200, DN 250 ISO-F TC 1200, DN 250 ISO-F Débit pour He 2900 l/s 2900 l/s Débit pour N 2300 l/s 2300 l/s Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar 12 hPa l/s 12 hPa l/s Débit max.
- Page 69 -25 – 55 °C Poids 59,2 kg 59,2 kg Tab. 23: Fiche technique HiPace 2800 I | IU 14.3 Substances en contact avec la substance à pomper Substances en contact avec la substance à pomper Alliage d’aluminium Acier inoxydable Aimant en terres rares Plastiques renforcés de fibres de carbone...
- Page 70 Caractéristiques techniques et dimensions 14.4 Dimensions G 1/8 187.5 Mains connectionTC 1200 DN 250 ISO-F DN 40 ISO-KF 245.5 G 1/8 Return line Fore line Fig. 27: Dimensions HiPace 2800 I Dimensions en mm 70/74...
- Page 71 Caractéristiques techniques et dimensions Ø Fore line Return line G 1/8 DN 40 ISO-KF G 1/8 230.4 Ø Ø DN 250 ISO-F Mains connection TC 1200 Fig. 28: Dimensions HiPace 2800 IU Dimensions en mm 71/74...
- Page 72 Déclaration de conformité CE Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire HiPace 2800 I HiPace 2800 IU Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité...
- Page 73 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...