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3 Description du produit
3.1 Fonction
La pompe turbo forme une unité compacte avec l'unité d'entraînement électronique et le bloc d'alimen-
tation électrique intégré.
La pompe turbomoléculaire est préparée pour un montage a posteriori avec un système de gestion de
la température (TMS). Le TMS prévient la condensation des résidus de processus par l'intermédiaire du
chauffage contrôlé du corps de pompe. Le système de refroidissement assure une dissipation sûre et
suffisante de la chaleur sans perte d'énergie pendant le processus de chauffage.
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Fig. 2:
1 Raccord de vide élevé (DN 250 ISO-F)
2 Raccord de ventilation (filetage 1/8")
3 Raccord de vide primaire (DN 40 ISO-KF)
4 Anneau de levage (2x)
5 Raccordement d'eau de refroidissement, arrivée
6 Raccordement d'eau de refroidissement, sortie
7 Obturateur de protection du raccord de vide primaire
8 Obturateur de protection de la connexion de vide se-
3.1.1 Refroidissement
● Refroidissement à eau
L'unité d'entraînement électronique régule automatiquement l'arrêt de l'entraînement en cas de tempé-
rature excessive.
3.1.2 Paliers du rotor
pompe turbo à paliers hybrides
● Côté vide secondaire : paliers magnétiques permanents sans usure
● Côté vide préliminaire : roulement à billes en céramique
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Construction HiPace 2800 I | IU
condaire
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9
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Description du produit
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8
9
Points d'élingage pour le transport ho-
rizontal
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Pompe du fluide d'exploitation
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Raccord de la purge de gaz neutre
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Borne de masse
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Alimentation électrique, unité d'entraî-
nement électronique
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Unité de commande électronique TC
1200
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Sonde de température
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6
7
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