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14 Caractéristiques techniques et dimensions
14.1 Généralités
Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum.
● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5
● ISO 27892 2010 : « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesure du couple d'arrêt
● ISO 21360 2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
● ISO 21360 2018 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances
● Pression ultime avec dôme de test après 48 h
● Débit de gaz avec refroidissement à eau ; pompe de secours = pompe à palettes rotative
● Consommation d'eau de refroidissement à débit maximum de gaz, température de l'eau de refroi-
● Taux de fuite intégral avec une concentration de 100 % d'hélium, durée de mesure 10 s
● Niveau de pression acoustique à une distance = 1 m de la pompe à vide
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 14:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 15:
14.2 Fiche technique
Champ de sélection
Bride de raccordement (entrée)
Bride de raccordement (sortie)
Raccordement de remise à l'air
Débit max. de gaz à vitesse finale pour N
Débit max. de gaz à vitesse finale pour Ar
Caractéristiques techniques
Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple.
rapide »
des pompes à vide - Partie 1 : Description générale »
des pompes à vide - Partie 4 : Pompes à vide turbomoléculaires »
3
(10 m
/h)
dissement 25 °C
mbar
1
1,000
0,01
1
10
1,33
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
1
3
10
/s
-2
1.69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Caractéristiques techniques et dimensions
bar
Pa
100
1 · 10
-3
1
1 · 10
5
1
1 · 10
-5
100
1 · 10
-3
0,01
1,000
-3
133,32
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1.69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
2
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1,000
100
750
0,01
1 · 10
-3
7.5 · 10
1
0,1
0,75
10
1
7,5
1,33
0,133
1
2
Torr l/s
0,75
7,5
-2
1,27 · 10
1
0,76
HiPace® 10 Neo avec TC 80,
DN 40
DN 40
Raccord de tuyau, 6 mm
G 1/8"
0,84 hPa·l/s
0,76 hPa·l/s
-3
atm cm
3
/s
0,987
9,87
-2
1.67 · 10
1,32
1
51/56
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