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Utilisation
3. Raccordez l'appareil de commande à la connexion multifonctions « X3 » de l'unité de commande
4. Activez l'alimentation électrique de la pompe turbomoléculaire via l'unité de courant externe ou
6.3 Mise en marche de la pompe turbo
Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonction-
nement
L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des pro-
cessus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un
risque de brûlure.
► Si nécessaire, installer une protection isolante.
► Si nécessaire, appliquer des autocollants d'avertissement sur les points dangereux.
► Vérifier que la pompe à vide est à température ambiante avant de travailler dessus ou à proximi-
► Porter un équipements de protection, p. ex. gants.
Risque de grave blessure lié à la destruction de la pompe à vide en raison d'une surpression
L'entrée de gaz à très haute surpression entraîne la destruction de la pompe à vide. Il existe un ris-
que de grave blessure lié à l'éjection d'objets.
► Ne jamais dépasser la pression d'entrée autorisée de 1 500 hPa (absolue) sur le côté aspiration
► Vérifier que les surpressions liées au processus ne peuvent entrer directement dans la pompe à
Mise en marche de la pompe turbo
► Brancher le bloc d'alimentation à l'alimentation électrique côté client.
► Allumez le bloc d'alimentation.
6.4 Surveillance des opérations
6.4.1 Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
Les DEL sur l'unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la
pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d'alerte ne sont possibles que pour le fonctionne-
ment avec l'appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
LED
Vert
Jaune
30/56
électronique.
– Utilisez un câble de raccordement adéquat avec connexion « RS-485 » ou un adaptateur
pour « X3 ».
l'appareil de commande avec unité de courant intégrée.
AVERTISSEMENT
té.
AVERTISSEMENT
ou la connexion de mise à l'air et de gaz de pressurisation.
vide.
Symbole
État LED
Désactivé
Activé, clignotant
Activé, clignotement inver-
se
Activé, éclairé en continu
Activé, clignotant
Désactivé
Activé, éclairé en continu
Affichage
Signification
Sans courant
« Groupe de pompage DÉSACTI-
VÉ », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vi-
tesse de rotation prescrite non attein-
te
« Groupe de pompage ACTIVÉ », vi-
tesse de rotation prescrite atteinte
« Groupe de pompage DÉSACTI-
VÉ », vitesse de > 60 tr/min
Pas d'avertissement
Avertissement
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