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Anomalies
La pompe turbomolécu-
laire ne démarre pas ; la
DEL verte sur l'unité de
commande électronique
clignote
La pompe turbomolécu-
laire n'atteint pas la vites-
se de rotation nominale
dans le temps d'accéléra-
tion paramétré
La pompe turbomolécu-
laire n'atteint pas la pres-
sion ultime
44/56
● Fonctionnement
sans appareil de
commande : Les
broches 2-7 et 5-7
ne sont pas connec-
tées sur la conne-
xion « X3 »
● Pour le fonctionne-
ment via RS-485 :
le pontage entre les
broches 5 et 7 inhi-
be les instructions
de réglage
● Pour le fonctionne-
ment via RS-485 :
les paramètres ne
sont pas réglés dans
l'unité de commande
électronique
● La chute de tension
dans le câble est
trop grande
● Pression de vide pri-
maire trop haute
● Fuite sur la pompe
turbomoléculaire
● Débit de gaz trop
élevé
● Le rotor tourne avec
des à-coups, le pa-
lier est défectueux
● Point de consigne
de temps d'accélé-
ration réglé trop bas
Charge thermique due
à :
● manque de ventila-
tion
● débit d'eau insuffi-
sant
● Pression de vide pri-
maire trop haute
● température am-
biante trop élevée
● La pompe turbomo-
léculaire est polluée
● Fuite au niveau de
l'enceinte à vide,
des tuyauteries ou
de la pompe turbo-
moléculaire
1. Raccordez les connexions conformé-
ment au schéma de raccordement de
l'unité de commande électronique.
2. Contrôlez les pontages sur le câble de
raccordement.
1. Retirez le pontage sur la connexion
« X3 ».
2. Vérifiez le câble de raccordement.
1. Définissez les paramètres [P:010] et
[P:023] via l'interface RS-485 sur 1 =
« ON ».
1. Vérifiez le câble de raccordement.
2. Utilisez un câble de raccordement adé-
quat.
1. Vérifiez la compatibilité de la pompe pri-
maire (voir la fiche technique).
2. Vérifiez si la pompe primaire fonctionne.
1. Repérez les fuites.
2. Contrôlez les joints et les raccords à bri-
de.
3. Éliminez les fuites.
1. Réduisez la charge de gaz de procédé.
1. Vérifiez la pompe turbomoléculaire pour
détecter tout bruit étrange
2. Contactez le service après-vente Pfeif-
fer Vacuum.
1. Étendez le point de consigne de temps
d'accélération [P:700] via un appareil de
commande et d'affichage.
1. Réduisez la charge thermique.
─ Assurez une circulation d'air suffi-
sante.
─ Ajustez le débit d'eau de refroidis-
sement.
─ Réduisez la pression du vide pri-
maire.
─ Adaptez les conditions ambiantes.
1. Chauffez la pompe turbomoléculaire si
nécessaire.
2. Faites-la nettoyer.
3. Contactez le service après-vente Pfeif-
fer Vacuum.
1. Repérez les fuites en commençant par
l'enceinte à vide.
2. Contrôlez les joints et les raccords à bri-
de.
3. Éliminez les fuites dans le système de
vide.
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