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Utilisation
6.5.2 Ventilation
Endommagement de la pompe turbo lié à une augmentation rapide et inadmissible de la pres-
sion pendant la mise à l'air
L'augmentation rapide d'une pression élevée est inadmissible et soumet le rotor et le palier magnéti-
que de la pompe turbo à une contrainte significative. Lors de la mise à l'air de très petits volumes
dans la chambre de vide ou la pompe turbo, il existe un risque d'augmentation incontrôlable de la
pression. La pompe turbo peut être endommagée mécaniquement ou détruite.
► La vitesse maximum d'augmentation de la pression de 15 hPa/s ne doit pas être dépassée.
► La mise à l'air manuelle et non contrôlée de très petits volumes est à éviter.
► Utiliser une vanne de mise à l'air de la gamme d'accessoires de Pfeiffer Vacuum si nécessaire.
Ventilation externe
Après la mise à l'arrêt de la pompe turbomoléculaire, elle doit être ventilée pour éviter toute contamina-
tion liée aux particules refluant de la zone de vide primaire.
1. Assurez-vous que le système de vide est mis hors service.
2. Ventilez la pompe turbomoléculaire à la pression atmosphérique sur le côté de vide élevé.
3. Attendez l'égalisation de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide.
Utilisation d'une vanne de ventilation Pfeiffer Vacuum
La vanne de ventilation Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbomolé-
culaire.
La vanne de ventilation est normalement fermée. Elle est contrôlée par le biais de l'unité de commande
électronique de la pompe turbomoléculaire. En cas de panne de courant, la pompe turbomoléculaire
génère suffisamment d'énergie pendant sa phase d'arrêt progressif pour initier une ventilation correcte.
Lorsque le courant revient, la ventilation est interrompue.
► Mettez hors circuit la pompe turbomoléculaire.
Vitesse de ventilation [P:720]
50 % de la vitesse nominale
Tab. 9:
Informations générales sur la ventilation rapide
Pfeiffer Vacuum recommande la ventilation rapide de grands volumes en 4 étapes.
1. Utilisez une vanne de ventilation Pfeiffer Vacuum pour la pompe turbomoléculaire. Alternative-
2. Ventilez le système de vide avec une augmentation de pression maximale de 15 hPa/s pendant
3. Ventilez ensuite le système avec une deuxième vanne de ventilation de taille quelconque, par
4. Attendez l'égalisation de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide.
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Débranchement du connecteur de réseau
Le débranchement du connecteur de réseau pendant le fonctionnement coupe immédiate-
ment l'alimentation électrique de l'unité de courant et des appareils qui y sont connectés.
– Le processus de ventilation démarre automatiquement.
Paramètres d'usine pour la ventilation retardée dans les pompes turbomoléculaires
ment, la section transversale de la vanne doit correspondre à la taille du récipient et au taux maxi-
mal de ventilation.
20 secondes.
exemple directement sur l'enceinte à vide.
AVIS
Durée de ventilation
[P:721]
3 600 s
Durée de ventilation en cas de pan-
ne de courant
3 600 s
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