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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 10 NEO
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 10 NEO
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original HIPACE 10 NEO Pompe turbomoléculaire...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 5.5.1 Mise à la terre de la pompe à vide 5.5.2 Raccordement électrique Utilisation Mise en service Modes de fonctionnement 6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement 6.2.2 Fonctionnement via la connexion multifonctions « X3 » 6.2.3 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum 3/56...
- Page 4 Recyclage et mise au rebut Informations générales sur la mise au rebut Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Anomalies Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Pièces de rechange, HiPace 10 Neo Accessoires 13.1 Informations sur l’accessoire 13.2 Commande d’accessoires Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités...
- Page 5 Tab. 13: Accessoires Tab. 14: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 15: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab. 16: HiPace 10 Neo Tab. 17: Matières entrant en contact avec la substance du procédé 5/56...
- Page 6 à bain d’huile Fig. 5: Raccord à bride pour DN 40 sur DN 40 ISO-KF avec presse en C Fig. 6: Exemple d’un raccordement de vide primaire sur HiPace 10 Neo Fig. 7: Raccordement d’accessoire via le câble de raccordement Fig. 8: Exemple : raccorder le câble de terre...
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 8 1 Signe d’avertissement « risque de blessure lié à Informations sur la mise à la terre l’ouverture du raccord de vide élevé » 2 Sceau de garantie Plaque signalétique 3 Bannière avec le logo Pfeiffer Vacuum Remarque concernant le manuel de l’uti- lisateur 1.3.3 Abréviations Abréviation Signification dans ce document Valeur diamètre (en mm)
- Page 9 A propos de ce manuel Abréviation Signification dans ce document Bride de vide élevé, côté vide élevé Bride : raccordement conforme aux spécifications ISO 1609 et ISO 2861 Diode électroluminescente Terre fonctionnelle [P:xxx] Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous forme de nombre à...
- Page 10 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 11 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à...
- Page 12 Sécurité Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ►...
- Page 13 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxi- ques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opéra- tions de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à...
- Page 14 Sécurité Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité...
- Page 15 L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispen- sée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit.
- Page 16 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
- Page 17 ● Unité de commande électronique TC 80 3.2 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours con- server à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com...
- Page 18 Description du produit 3.3 Fonctionnalités du produit Fonctionnalité Version Bride HV DN 40 ISO-KF Matériau de bride Aluminium Tab. 4: Caractéristiques de la pompe turbomoléculaire 3.4 Étendue de la livraison ● Pompe turbomoléculaire avec unité de commande électronique ● Obturateur pour raccord de vide élevé ●...
- Page 19 ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. Recommandation Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et le couvercle de pro- tection d’origine. Transport en toute sécurité du produit ►...
- Page 20 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espa- ce de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire.
- Page 21 En cas de blocage soudain du rotor, les couples générés par le système et la bride de vide élevé doi- vent être absorbés. Les éléments d’installation pour pompe turbomoléculaire ont été spécialement con- çus par Pfeiffer Vacuum. Couple Charge axiale Planéité...
- Page 22 Raccordement de sûreté, côté client 5.2.3 Utiliser un écran à mailles Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec un écran à mailles dans la bride de vide élevé protè- gent la pompe turbomoléculaire contre les matières étrangères des enceintes. La vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire diminue en fonction de la conductivité...
- Page 23 Raccord à bride pour DN 40 sur DN 40 ISO-KF avec presse en C Établissement du raccord de vide élevé 1. Utilisez seulement le kit de montage approuvé de Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Assurez-vous que les surfaces d’étanchéité sont propres et non endommagées.
- Page 24 Raccordement des accessoires ● Utilisez les accessoires Pfeiffer Vacuum via les prises AccessLink ou au niveau de la connexion multifonctions « X3 » de l’unité de commande électronique avec des câbles de raccordement ou des adaptateurs correspondants.
- Page 25 ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours. 5.5.1 Mise à la terre de la pompe à vide Pfeiffer Vacuum recommande le raccordement d’un câble de mise à la terre approprié pour décharger les interférences applicatives. 25/56...
- Page 26 Installation Fig. 8: Exemple : raccorder le câble de terre 1. Utiliser le raccord de terre fonctionnelle de la pompe turbomoléculaire (M4 filet de vis intérieur). 2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur. 5.5.2 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort.
- Page 27 5. Insérer le câble de raccordement dans le raccord « DCout » sur le pack d’alimentation électroni- que et fermer la fermeture à baïonnette. 6. Si vous utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum : raccordez le raccord « RS-485 » à l’appareil de commande en utilisant un câble de raccordement qui convient.
- Page 28 élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide. ► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des valeurs limites inférieures s'appliquent.
- Page 29 Fonctionnement sans unité de commande 1. Utilisez uniquement les câbles de raccordement agréés Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la connexion X3 de l'unité de commande électronique. 2. L'alimentation secteur de la pompe turbo ne doit être mise en circuit que juste avant la mise en route.
- Page 30 Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionne- ment avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. Symbole État LED...
- Page 31 Utilisation Symbole État LED Affichage Signification Rouge Désactivé Pas d'erreur, pas d'avertissement Activé, éclairé en continu Erreur, dysfonctionnement Tab. 8: Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique 6.4.2 Surveillance de la température Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent d’amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé.
- Page 32 ► La vitesse maximum d'augmentation de la pression de 15 hPa/s ne doit pas être dépassée. ► La mise à l'air manuelle et non contrôlée de très petits volumes est à éviter. ► Utiliser une vanne de mise à l'air de la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum si nécessaire. Ventilation externe Après la mise à...
- Page 33 4. Respecter les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation. 5. Le réservoir du fluide d'exploitation doit au moins être remplacé tous les 4 ans. 6. Demander à Pfeiffer Vacuum Service de remplacer le palier du rotor de la pompe turbo au moins tous les 4 ans.
- Page 34 ● Lors du remplacement du réservoir de fluide d'exploitation, veillez à la bonne affecta- tion de la référence de pompe et du réservoir de fluide d'exploitation. Vous trouverez la fiche technique de sécurité sur le Pfeiffer Vacuum Download Center. Conditions préalables ●...
- Page 35 Maintenance Fig. 10: Retrait du réservoir du fluide d’exploitation 1 Vis Torx Réservoir du fluide d’exploitation 2 Couvercle d’obturation Tiges capillaires (9×) 3 Joint torique Support de palier Retrait du réservoir du fluide d’exploitation 1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau. 2.
- Page 36 Maintenance Fig. 11: Assemblage du réservoir du fluide d’exploitation 1 Support de palier Vis Torx 2 Réservoir du fluide d’exploitation Couvercle d’obturation 3 Tiges capillaires (9×) Joint torique Assurez-vous de l’orientation d’installation du réservoir du fluide d’exploitation. Disques de freinage en feutre avec les deux cames alignés sur l’orientation d’installa- tion.
- Page 37 Maintenance Fig. 12: Retrait du réservoir du fluide d’exploitation 1 Vis Torx Réservoir du fluide d’exploitation 2 Couvercle d’obturation Tiges capillaires (9×) 3 Joint torique Support de palier Retrait du réservoir du fluide d’exploitation 1. Portez des gants de laboratoire pour éviter tout contact avec la peau. 2.
- Page 38 Maintenance Fig. 13: Assemblage du réservoir du fluide d’exploitation 1 Support de palier Vis Torx 2 Réservoir du fluide d’exploitation Couvercle d’obturation 3 Tiges capillaires (9×) Joint torique Assurez-vous de l’orientation d’installation du réservoir du fluide d’exploitation. Disques de freinage en feutre avec les deux cames alignés sur l’orientation d’installa- tion.
- Page 39 Maintenance AVIS Dommages matériels dus à une décharge électrostatique Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées, les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits. ► Implémenter les mesures préventives CEM sur le poste de travail. ►...
- Page 40 Tab. 10: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires Aides requises ● Appareil de commande Pfeiffer Vacuum raccordé ● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de travail de l’unité de commande électronique. Réglage de confirmation de la vitesse de rotation nominale 1.
- Page 41 2. Nettoyez l’extérieur de la pompe turbomoléculaire avec un chiffon sans fusel et un peu d’alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demandez au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbo- moléculaire. 4. Observez la durée de fonctionnement totale de la pompe turbomoléculaire. Si nécessaire, deman- dez à...
- Page 42 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation. 2. Enlevez l’unité de commande électronique.
- Page 43 Anomalies 10 Anomalies AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a un risque d'endommagement des connexions sur site (p.
- Page 44 Anomalies La pompe turbomolécu- ● Fonctionnement 1. Raccordez les connexions conformé- laire ne démarre pas ; la sans appareil de ment au schéma de raccordement de DEL verte sur l’unité de commande : Les l’unité de commande électronique. commande électronique broches 2-7 et 5-7 2.
- Page 45 Anomalies Bruits de fonctionnement ● Le palier du rotor est 1. Contactez le service après-vente Pfeif- inhabituels endommagé fer Vacuum. ● Rotor endommagé 1. Contactez le service après-vente Pfeif- fer Vacuum. ● Pare-éclats ou écran 1. Vérifiez et corrigez le siège du pare- protecteur desserré...
- Page 46 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 47 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 48 Pièces de rechange, HiPace 10 Neo 12 Pièces de rechange, HiPace 10 Neo Fig. 15: Pièces de rechange, HiPace 10 Neo 1 Unité d’entraînement électronique TC 80 Réservoir du fluide d’exploitation 2 Tiges capillaires Joint torique Position Désignation Numéro de commande Remarque Unité...
- Page 49 Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres longueurs disponibles sur demande Accessoires de ventilation Une vanne de mise à l’air Pfeiffer Vacuum offre une sécurité de fonctionnement et de processus maxi- mum. Commande automatique via l’unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomolé- culaire.
- Page 50 Vanne de ventilation blindée, AccessLink, 24 V DC, 1/8" filetage pour Hi- PM Z01 295 Pace 80 Neo Refroidissement par air, blindée pour HiPace 10 Neo PM Z01 368 Résistance de borne de connexion pour RS-485 PT 348 105 -T Séparateur de puissance pour RS-485...
- Page 51 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ●...
- Page 52 -25 – 55 °C Température : transport -25 – 55 °C Poids 1,3 kg Tab. 16: HiPace 10 Neo 14.3 Substances en contact avec la substance à pomper Substances en contact avec la substance à pomper Alliage d'aluminium Acier inoxydable Aimants en terres rares...
- Page 53 Céramique oxydée, comme demandé Tab. 17: Matières entrant en contact avec la substance du procédé 14.4 Dimensions DN 40 ISO-KF 6 inside M5 6.5 deep M5 6.5 deep Fig. 16: HiPace 10 Neo | TC 80 | DN 40 ISO-K Dimensions en mm 53/56...
- Page 54 Déclaration de conformité CE Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire HiPace 10 Neo Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE...
- Page 55 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...