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Table des matières
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5.7.1 Prenez des mesures de prévention électriques
5.7.2 Mise à la terre de la pompe à vide
5.7.3 Raccordement électrique
Utilisation
6.1
Mettre en service
6.2
Modes de fonctionnement
6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement
6.2.2 Fonctionnement via le raccordement multifonctions « à distance »
6.2.3 Fonctionnement via l'appareil de commande et d'affichage Pfeif-
fer Vacuum
6.2.4 Fonctionnement via un bus de terrain
6.2.5 Fonctionnement via la connexion « E74 »
6.3
Mise en marche de la pompe turbo
6.4
Surveillance des opérations
6.4.1 Affichage LED du mode de fonctionnement
6.4.2 Surveillance de la température
6.5
Mise hors circuit et mise à l'air
6.5.1 Mise hors circuit
6.5.2 Mise à l'air
Maintenance
7.1
Informations générales sur la maintenance
7.2
Intervalles de maintenance et responsabilités
7.3
Remplacement du fluide d'exploitation
7.3.1 Vidange du fluide d'exploitation
7.3.2 Remplissage avec du fluide d'exploitation
7.4
Remplacement de l'unité d'entraînement électronique
7.4.1 Démontage de l'unité de commande électronique
7.4.2 Installation de l'unité d'entraînement électronique
7.4.3 Confirmation de la spécification de vitesse
Mise hors service
8.1
Mise à l'arrêt prolongé
8.2
Remise en service
Recyclage et mise au rebut
9.1
Informations générales sur la mise au rebut
9.2
Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires
Anomalies
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Pièces de rechange
Accessoires
13.1 Informations sur les accessoires
13.2 Commande d'accessoires
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1 Généralités
14.2 Fiche technique
14.3 Substances en contact avec la substance à pomper
14.4 Dimensions
Déclaration de conformité
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