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5.6
Raccorderdement du côté vide primaire
Recommandation : utiliser comme pompe primaire une pompe à vide appropriée de
l'offre de Pfeiffer Vacuum.
Risques sanitaires causés par des gaz toxiques
Les gaz de procédé peuvent être dangereux pour la santé et/ou pour l'environnement.
Vous devez canaliser l'échappement de gaz de la pompe primaire de façon fiable !
Respectez toutes les recommandations de sécurité publiées par le fabricant du gaz.
Fig. 10: Raccordement de la pompe primaire
415 Raccord de vide primaire
415a Pompe à vide primaire
Conception du raccordement du vide primaire en cas de torsion soudaine de la
pompe
Lors de la fixation de brides de vide élevé version ISO-KF ou ISO-K, une torsion risque
de se produire - même si l'installation a été correctement réalisée - en cas de blocage
subit du rotor.
Réduire au minimum les masses installées directement au niveau de la pompe.
Le cas échéant, raccorder directement les éléments de conduite flexibles au niveau
de la pompe turbomoléculaire.
En cas de jonctions rigides entre les canalisations : Installez un soufflet dans la ligne
de pompage pour amortir les vibrations.
Raccordez la conduite de vide primaire avec les composants de la petite bride ou
avec les raccords de flexibles. Ne réduisez pas la section libre offerte par la bride de
vide primaire !
Pour le raccordement et l'exploitation de la pompe à vide primaire, voir le manuel de
l'utilisateur de cette dernière.
AVERTISSEMENT
415
415.1
415.2
415.3
415.1 Anneau de centrage
415.2 Anneau de serrage
AVIS
Installation
415a
415.3 Composants de vide
23
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