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Pfeiffer Vacuum TPR 280 Manuel De L'utilisateur page 38

Jauge pirani
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Caractéristiques techniques et dimensions
14 Caractéristiques techniques et dimensions
14.1 Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 8:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 9:
14.2 Fiche technique
Paramètre
Gamme de mesure (air, O
Pression maximum (absolue)
Principe de mesure
Précision (N
Résolution
Répétabilité (air)
Calibrage de la jauge
Tab. 10:
Paramètre
Signal de sortie (signal de
mesure)
Impédance de sortie
Impédance de charge (charge minimum)
Temps de réponse
Identification de la jauge
38/42
mbar
bar
1
1 · 10
1,000
1
0,01
1 · 10
1
1 · 10
10
0,01
1,33
1,33 · 10
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
1
10
3
/s
-2
1.69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
, CO, N
2
)
5 × 10
-4
up to 1 × 10
2
1 × 10
-3
jusqu'à 100 hPa
100 à 1 000 hPa
-3
1 × 10
jusqu'à 100 hPa
Valeurs de mesure et de pression
Pa
-3
100
1 · 10
5
1
-5
100
-3
1,000
-3
133,32
2
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1.69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
Valeur
)
5 × 10
2
≤ 1 000 kPa
Amenée de chaleur conformément au Pirani
±50 % de la valeur mesurée
-3
hPa
±15 % de la valeur mesurée
±50 % de la valeur mesurée
1 % de la valeur mesurée
2 % de la valeur mesurée
Bouton de calibrage ATM et HV
Gamme de tension
Plage de mesure
Signal d'erreur
Rapport tension-pression
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1,000
100
750
0,01
1 · 10
-3
7.5 · 10
1
0,1
0,75
10
1
7,5
1,33
0,133
1
Torr l/s
0,75
7,5
-2
1,27 · 10
1
0,76
-4
jusqu'à 1 000 hPa
Valeur
0 à +9 V CC
+2,2 à +8,5 V CC
0 V à +0,5 V
+0,1 V (rupture du filament chauffé)
1 V/décade, logarithmique
2 × 4,7 Ω, résistant aux courts-circuits
> 10 kΩ, résistant aux courts-circuits
80 ms
3,0 kΩ contre la prise de terre d'ali-
mentation (tension broche 1 ≤ 5 V)
-3
atm cm
3
/s
0,987
9,87
-2
1.67 · 10
1,32
1

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Tpr 281