Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
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Fig. 10:
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Fig. 14:
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Position des autocollants sur le produit
Construction de la pompe à membrane
Distances minimales
Raccordement à la pompe turbomoléculaire, à l'unité de courant et au con-
trôleur
Raccordement à l'appareil de commande avec unité de courant intégrée
Broches de la prise D-Sub, 15 broches
Interconnexion de via l'interface RS-485
Options de connexion via l'interface RS-485
Tuyère de gaz de lavage
Poignée
Tête de pompe et clapets
Remplacement des membranes
Positionnement correct des clapets dans le couvercle de chapeau
Pièces de rechange
Dimensions MVP 030-3 DC
8
16
19
21
22
23
26
27
37
41
42
43
44
53
58