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Pfeiffer Vacuum TTR 91 Manuel De L'utilisateur page 41

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14 Caractéristiques techniques et dimensions
14.1 Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 9:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 10:
14.2 Fiche technique
Paramètre
Gamme de mesure (air, O
Pression maximum (absolue)
Principe de mesure
Précision (N
Résolution
Répétabilité (air)
Calibrage de la jauge
Tab. 11:
Paramètre
Signal de sortie (signal de me-
sure)
Impédance de sortie
Impédance de charge (charge minimum)
Temps de réponse
mbar
bar
1
1 · 10
1,000
1
0,01
1 · 10
1
1 · 10
10
0,01
1,33
1,33 · 10
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
1
10
3
/s
-2
1.69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
, CO, N
2
)
5 × 10
–4
2
1 × 10
-3
100 à 1000 hPa
-3
1 × 10
Valeurs de mesure et de pression
Caractéristiques techniques et dimensions
Pa
-3
100
1 · 10
5
1
-5
100
-3
1,000
-3
133,32
2
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1.69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
Valeur
)
5 × 10
2
≤ 1 000 kPa
Amenée de chaleur selon la Pirani
± 50% de la valeur mesurée
– 1 × 10
-3
hPa
± 15% de la valeur mesurée
– 100 hPa
± 50% de la valeur mesurée
1 % de la valeur mesurée
2 % de la valeur mesurée
– 100 hPa
Bouton de calibrage ATM et HV
Gamme de tension
Gamme de mesure
Signal d'erreur
Rapport tension-pression
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1,000
100
750
0,01
1 · 10
-3
7.5 · 10
1
0,1
0,75
10
1
7,5
1,33
0,133
1
Torr l/s
atm cm
0,75
0,987
7,5
9,87
-2
1,27 · 10
1.67 · 10
1
1,32
0,76
1
-4
– 1 000 hPa
Valeur
0 – +10,3 V
+1,9 – +10,0 V
0 V – +0,5 V
+0,1 V (filament chauffé rompu)
1,286 V/décade, logarithmique
2 × 4,7 Ω, résistant aux courts-cir-
cuits
> 10 kΩ, résistant aux courts-circuits
80 ms
-3
3
/s
-2
41/46

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