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Exploitation avec pé-
riphérique
Modes de remise à
l'air
Surveillance de la
charge thermique
Le signal peut également être utilisé pour la commutation d'une vanne de sécurité de
vide primaire.
Selon la configuration, plusieurs appareils accessoires peuvent être raccordés à la
pompe turbomoléculaire et être commandés via les paramètres de la commande élec-
tronique d'entraînement.
Chauffage
Enclenchez ou éteignez le chauffage à l'aide du paramètre [P:001].
L'activation du chauffage du boîtier raccordé dépend du point de commutation de la vi-
tesse de rotation 1 (réglage en usine 80 % x f
Vanne de gaz de purge
Enclenchez ou éteignez une vanne de gaz de purge via la sortie préconfigurée, à
l'aide du paramètre [P:050].
La remise à l'air de la pompe turbomoléculaire est possible après l'interruption de la fonc-
tion « Groupe de pompage ». L'émission de signaux au niveau des sorties configurées
s'effectue avec une temporisation fixée à 6 s. Trois modes d'exploitation peuvent être sé-
lectionnés pour l'exploitation avec vanne de remise à l'air raccordée.
Déclenchez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:012].
Sélectionnez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:030].
Remise à l'air retardée
Le début et le temps de remise à l'air après « Groupe de pompage off » peuvent être
configurés et dépendent de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire.
Paramètre [P:030] = 0
Réglez la vitesse de remise à l'air en % de la vitesse nominale à l'aide du paramètre
[P:720].
Réglez la vitesse de remise à l'air en s à l'aide du paramètre [P:721].
En cas de franchissement par défaut de la vitesse de remise à l'air, la vanne de remise
à l'air s'ouvre pour le temps de remise à l'air réglé. En cas de panne secteur, la remise
à l'air s'effectue après franchissement par défaut de la vitesse de remise à l'air réglée.
La durée de remise à l'air dépend dans ce cas de l'énergie disponible fournie par le rotor
en mouvement. Une fois le courant revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt.
Aucune remise à l'air
Aucune remise à l'air n'a lieu dans ce mode d'exploitation.
Paramètre [P:030] = 1
Remise à l'air directe
Le début et le temps de remise à l'air ne sont pas configurables. La remise à l'air débute
avec une temporisation de 6 s après « Groupe de pompage off ». Lors d'un nouvel en-
clenchement de la fonction Groupe de pompage, la vanne de remise à l'air se ferme au-
tomatiquement. En cas de panne secteur, la remise à l'air s'effectue après franchisse-
ment par défaut d'une vitesse de rotation fixe et propre à chaque type. Une fois le courant
revenu, la séquence de remise à l'air s'interrompt.
Paramètre [P:030] = 2
Les signaux émis par les détecteurs de température permettent d'amener la pompe à un
état sûr en cas de franchissement par défaut des valeurs seuils. En fonction du type de
pompe, les valeurs seuils de température pour les avertissements et les messages d'er-
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
).
Nominal
33
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