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Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
Mode d'exploitation
pompe primaire
32
HiPace
1200 / 1500
1800 / 2300
Régler le paramètre [P:777] en fonction du type de pompe.
Après avoir atteint la vitesse nominale, la pompe turbomoléculaire fonctionne à vide
sans admission de charges de gaz supplémentaires. En fonction des exigences du pro-
cessus ou de l'application, la vitesse nominale peut être réduite en mode d'exploitation
à régime variable ou en mode Standby.
L'exploitation d'une pompe primaire raccordée via la commande électronique d'entraîne-
ment dépend du type de pompe primaire.
Mode d'exploitation [P:025]
« 0 » Fonctionnement permanent
« 1 » Mode intermittent
« 2 » Enclenchement retardé
Régler le paramètre [P:025] sur la valeur souhaitée.
Fonctionnement permanent
La commande électronique d'entraînement envoie, simultanément avec « Groupe de
pompage on », un signal au raccord accessoires configuré pour l'enclenchement de la
pompe primaire. Ce signal peut aussi être utilisé pour la commande d'une vanne de sé-
curité de vide primaire.
Mode intermittent (uniquement pompes à membrane)
Le mode intermittent peut allonger la durée de vie des membranes d'une pompe à mem-
brane raccordée. Le mode intermittent requiert soit une pompe à membrane à relais
semi-conducteur intégré, soit une boîte à relais interconnectée à un relais semi-conduc-
teur. En fonction de la puissance absorbée, la pompe primaire est enclenchée ou éteinte.
La puissance absorbée permet d'obtenir un rapport pour la pression de vide primaire
fournie. Les seuils d'interruption et d'enclenchement de la pompe primaire sont ré-
glables. Des fluctuations de la puissance absorbée des pompes primaires à vide et dif-
férentes pressions de vide primaire des pompes primaires requièrent le réglage indivi-
duel du mode intermittent.
Pfeiffer Vacuum recommande le mode intermittent entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et
une vanne de dosage sont requis pour le réglage des seuils de commutation.
Enclenchez le système sous vide avec la fonction « groupe de pompage » et attendez
le temps d'accélération.
Créez une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide d'une admission de gaz via
une vanne de dosage.
Lisez et notez le paramètre [P:316].
Réglez le seuil de commutation de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement
déterminée pour une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide du paramètre
[P:711].
Réduisez la pression de vide primaire à 5 hPa.
Lisez et notez le paramètre [P:316].
Réglez le seuil d'interruption de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement
déterminée pour une pression de vide primaire de 5 hPa à l'aide du paramètre
[P:710].
Enclenchement temporisé
Un enclenchement simultané de la pompe turbomoléculaire et de la pompe primaire peut
conduire à des flux de gaz indésirables. En fonction des exigences du processus ou de
l'application, la pompe primaire peut être enclenchée avec du retard. Le retard à l'enclen-
chement dépend de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire et il est fixé à
6 Hz dans la commande électronique d'entraînement.
Confirmation vitesse nominale [P:777]
630 Hz
525 Hz
pompe primaire recommandée
toutes les pompes primaires
uniquement les pompes à membrane
toutes les pompes primaires
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