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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum TM 700
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum TM 700
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original TM 700 Unité de commande électronique...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 4.2.5 RS-485 Interfaces Interface RS-485 5.1.1 Options de connexion 5.1.2 Interconnexion via le raccordement RS-485 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485 5.2.1 Cadre télégramme 5.2.2 Description du télégramme 5.2.3 Télégramme exemple 1 5.2.4 Télégramme exemple 2 5.2.5 Types de données Ensemble de paramètres...
- Page 4 Mise au rebut de l’unité de commande électronique Dysfonctionnements Généralités Codes d’erreur Messages d’avertissement et de dysfonctionnement lors du fonctionne- ment avec des appareils de commande Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Déclaration de conformité CE Déclaration de Conformité UK 4/54...
- Page 5 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Autocollants sur le produit Tab. 2: Abréviations utilisées dans ce document Tab. 3: Conditions ambiantes autorisées Tab. 4: Caractéristiques des variantes d’appareil Tab. 5: Description du raccordement de l’unité de commande électronique Tab.
- Page 6 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Panneau standard TM 700 Fig. 2: Diagramme de raccordement de l'unité de commande électronique. Exem- ple : circuit externe pour « remote » Fig. 3: Mode de réglage de la vitesse de rotation broche 7 et broche 11 Fig.
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 8 1.4.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve sur le côté de l’unité d’entraî- nement électronique. TM 700 Mod.: PM C01 850 M.-No.: Ser.-No.: 12345678 48 V ±...
- Page 9 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 10 Sécurité DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformé- ment à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’élec- trocution au niveau des interfaces de communication.
- Page 11 2.5 Utilisation conforme ● L'unité de commande électronique est uniquement utilisée pour le fonctionnement des pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum et de leurs accessoires. 2.6 Utilisations incorrectes envisageables Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à...
- Page 12 000021320. 3.2 Fonctionnalités du produit L’unité de commande de l’entraînement et du palier magnétique de type TM 700 est un composant inté- gral de la pompe turbomoléculaire. Le rôle de l’unité de commande électronique est d’entraîner, de sur- veiller et de commander l’ensemble de la pompe turbomoléculaire.
- Page 13 3.5 Raccordements DC in Connecteur à boîtier avec support à baïonnette pour l’alimentation de tension entre les unités de courant Pfeiffer Vacuum et l’unité de commande électronique. Accessoire Douille M12 avec blocage à vis pour le raccordement d’accessoires Pfeiffer Va- cuum. L’utilisation d’un raccord en Y permet la double sortie de broche d’un rac- cord.
- Page 14 Installation 4 Installation 4.1 Schéma des connexions DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles- sures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à...
- Page 15 électronique via une commande à distance. Les fonctions individuelles ac- cessibles sont mappées avec les « niveaux API ». Les spécifications suivantes sont les réglages d’usi- ne de l’unité de commande électronique. Elles peuvent être configurées avec le bloc de paramètres Pfeiffer Vacuum. 15/54...
- Page 16 Installation Outils nécessaires ● Clé dynamométrique calibrée ● Clé dynamométrique hexagonale, SW 4,5 Raccorder la commande à distance au raccordement « remote » ► Retirez le connecteur de commande à distance de l’unité de commande électronique et raccordez une commande à distance. ►...
- Page 17 Installation Bro- Affectation Description et réglage d’usine Sortie +24 V CC* Tension de référence pour toutes les entrées et les sorties (V+) numériques Activer la ventilation (ouvert : arrêt, V+ : marche) Entrée numérique Moteur d'entraînement (ouvert : désactivé ; V+ : activé) moteur pompe à...
- Page 18 Les entrées numériques sur le raccordement « remote » sont utilisées pour commuter les différentes fonctions de l’unité de commande électronique. Les entrées DI1 et DI2 sont des fonctions affectées en usine. Vous pouvez les configurer via l’interface RS-485 et l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum. DI1 (libération remise à l’air) / broche 2 V+ : Activer la remise à...
- Page 19 Les sorties numériques sur la connexion « remote » présentent une limite de charge maximale de 24 V/50 mA par sortie. Toutes les sorties recensées ci-dessous sont configurables avec l’ensemble de pa- ramètres Pfeiffer Vacuum par l’intermédiaire de l’interface RS-485 (description portant sur les réglages- usine).
- Page 20 ; le relais 3 est actif. 4.2.5 RS-485 Broche 24 et broche 25 Vous pouvez raccorder un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC externe via les broches 24 et 25 sur le raccordement « remote » de l’unité de commande électronique. 20/54...
- Page 21 L’interface avec la désignation « RS-485 » est destinée au raccordement d’un appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC externe. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique. Les connexions électriques sont découplées visuellement en interne.
- Page 22 Interfaces Raccordement des appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou d’un PC Un appareil de commande externe peut être raccordé à l’interface RS-485. 1. Utilisez le câble de raccordement correspondant fourni avec l'appareil de commande ou issu du programme d’accessoires. 2. Utilisez l’option pour connecter un PC via le transformateur USB/RS-485.
- Page 23 ● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse) Action selon la description du télégramme n2 – n0 Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum I1 – I0 Longueur de données dn à d0 dn – d0 Données dans le type de données correspondant...
- Page 24 Interfaces --> ASCII Commande de contrôle comprise Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 » --> ASCII 5.2.5 Types de données Nº Type de don- Description Lon- Exemple née gueur l1 – l0 boolean_old Valeur logique (faux / vrai) 000000 est équivalent à...
- Page 25 Le paramètre est accessible via les appareils de commande Pfeiffer Va- cuum ou de manière externe via RS-485 à l’aide du protocole Pfeiffer Vacuum. La pompe à vide démarre dans le mode standard avec les paramètres réglés par défaut en usine.
- Page 26 Ensemble de paramètres Affichage Description Fonctions Type Type Uni- min. max. d’ac- té dé- don- cès faut nées CfgSpdSwPt Configuration 0 = Point de commutation de du point de la vitesse de rotation 1 commutation 1 = Points de commutation de de la vitesse la vitesse de rotation 1 et 2 de rotation...
- Page 27 Ensemble de paramètres Affichage Description Fonctions Type Type Uni- min. max. d’ac- té dé- don- cès faut nées Cfg Acc A1 Configuration 0 = ventilateur (fonctionne- de la conne- ment continu) xion des ac- 1 = vanne de ventilation, fer- cessoires A1 mée sans courant 2 = dispositif de chauffage...
- Page 28 Ensemble de paramètres Affichage Description Fonctions Type Type Uni- min. max. d’ac- té dé- don- cès faut nées Cfg AO1 Configuration 0 = vitesse actuelle sortie AO1 1 = sortie 2 = courant 3 = toujours 0 V 4 = toujours 10 V 5 = suit AI1 6 = valeur de pression 1 7 = valeur de pression 2...
- Page 29 Ensemble de paramètres Affichage Description Fonc- Type Type Unité min. max. tions d’ac- dé- don- cès faut nées OvTempPump Température excessive pom- 0 = non 1 = oui SetSpdAtt Vitesse de rotation réglée at- 0 = non teinte 1 = oui PumpAccel Accélération pompe 0 = non...
- Page 30 Ensemble de paramètres Affichage Description Fonc- Type Type Unité min. max. tions d’ac- dé- don- cès faut nées ErrHist9 Historique des codes d’er- reur, point 9 ErrHist10 Historique des codes d’er- reur, point 10 SetRotSpd Vitesse de rotation de consi- tr/min 999999 gne (tr/min)
- Page 31 L’ensemble de paramètres de base est défini, départ usine, dans l’unité de commande électronique. Des paramètres additionnels (ensemble de paramètres étendus) sont dispo- nibles dans les unités de commande Pfeiffer Vacuum correspondantes pour la régulation de composants externes raccordés (comme un équipement de mesure du vide).
- Page 32 Utilisation 7 Utilisation 7.1 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et prête à l’emploi. Pour des impératifs particuliers, il est possible de configurer la plupart des connexions pour l’unité...
- Page 33 Utilisation Option Description actif, si la température nominale TMS est stabilisée 18 = TMS état stable 19 = point de commutation de La commande correspond aux paramètres [P:730] ([P:740] < pression 1 non atteint [P:730]) 20 = point de commutation de La commande correspond aux paramètres [P:732] ([P:750] <...
- Page 34 Utilisation 7.1.5 Configuration des connexions des accessoires Raccordement auxiliaire à unité de commande électronique TC 400 et TM 700 L’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire offre un espace suffisant pour raccorder jusqu’à 4 accessoires. Des prises M12 avec la désignation « Accessoires »...
- Page 35 ► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement élec- tronique. ► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (> 80). Un débit de gaz et une vitesse de rotation élevés entraînent un important échauffement du rotor par friction.
- Page 36 Utilisation Réglage du mode gaz 1. Contrôlez le mode gaz actuellement réglé avec le paramètre [P:027]. 2. Réglez le paramètre [P:027] à la valeur requise. 3. Si nécessaire, réglez sur une fréquence plus basse dans le mode de réglage de la vitesse de ro- tation afin d’éviter les variations de vitesse de rotation.
- Page 37 Utilisation Réglage du point de commutation de vitesse de rotation 1 La sortie du signal et les paramètres d'état sont basés sur la valeur réglée pour le point de commutation de vitesse de rotation 1 [P:701]. 1. Régler le paramètre [P:701] à la valeur requise en %. 2.
- Page 38 3. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]). 7.2.6 Standby Pfeiffer Vacuum recommande le mode standby pour la pompe turbomoléculaire lors des arrêts de pro- cessus et de production. Lorsque le mode standby est actif, l’unité d’entraînement électronique réduit la vitesse de rotation de la turbopompe.
- Page 39 à vide primaire nécessitent des réglages individuels du mode de fonctionnement par intermittence. Pfeiffer Vacuum recommande un fonctionnement par intermittence entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et une vanne de dosage sont nécessaires pour régler les seuils de commutation.
- Page 40 à vide primaire. 7.2.10 Frein électrique Après avoir mis la pompe à l’arrêt, Pfeiffer Vacuum recommande l’utilisation de la fonction de frein élec- trique. Il réduit le temps de ralenti et permet le freinage contrôlé du rotor jusqu’à ce que la pompe soit immobilisée.
- Page 41 Les capteurs des paliers magnétiques surveillent en permanence l’équilibre actuel du rotor. L’état de l’équilibre est mesuré en tant que pourcentage du stress maximal possible sur le rotor et affiché sur l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou émis sur le PC via l’interface RS-485. 41/54...
- Page 42 Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionne- ment avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. Symbole État LED...
- Page 43 Utilisation Symbole État LED Affichage Signification Jaune Désactivé Pas d'avertissement Activé, éclairé en continu Avertissement Rouge Désactivé Pas d'erreur, pas d'avertissement Activé, éclairé en continu Erreur, dysfonctionnement Tab. 23: Comportement et signification des LED de l’unité de commande électronique 7.5.2 Surveillance de la température Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent d’amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé.
- Page 44 ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 8.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer –...
- Page 45 Les avertissements (* Warning F –––– *) n’entraînent pas la coupure des composants. Traitement des messages d’anomalie 1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. 2. Éliminez la cause de l’anomalie. 3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009].
- Page 46 = 0 moléculaire défaillant Err010 Erreur appareil interne ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ● Confirmez uniquement pour la vitesse de rotation f = 0 Err021 L'unité d’entraînement ● Version de logiciel incompa- ●...
- Page 47 Problème Causes possibles Action corrective d’erreur Err112 Erreur de groupe, pompe ● Défauts externes ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service à liquide de refroidisse- ● Appareil défectueux ● Confirmez uniquement pour la vitesse de ment rotation f = 0 Err113 Évaluation de la tempéra- ●...
- Page 48 ● Vérifiez les conditions de fonctionne- ment Wrn089 Déséquilibre élevé ● Déséquilibre du rotor ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service Wrn097 Informations de pompe ● Erreur de communication inter- 1. Arrêtez le groupe de pompage invalides 2. Attendez que la pompe turbomolécu- laire se soit complètement immobilisée...
- Page 49 ● Adaptez le taux de remise à l'air à la ● Taux de remise à l'air trop élevé pompe Wrn801 Convertisseur de freina- ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service ge défectueux Wrn806 Résistance de freinage ● Appareil défectueux ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service défaillante...
- Page 50 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 51 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 52 La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabri- cant. Déclaration pour produit(s) du type : Unité de commande électronique TM 700 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Basse tension 2014/35/CE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE...
- Page 53 Semi F47-0200 EN IEC 61326-1:2021 Semi S2-0706 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...