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Risques lors de l'installation
DANGER
Danger de mort en cas d'électrocution
Les blocs d'alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves bles-
sures, voire la mort.
► Veillez à ce que le bloc d'alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double
isolation entre la tension d'entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à
IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
► Veillez à ce que le bloc d'alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes
IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1.
► Si possible, utilisez des blocs d'alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d'ali-
mentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur.
AVERTISSEMENT
Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant
La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de ré-
seau (interrupteur principal).
► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2.
► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l'intégration dans un circuit de sécurité de secours.
AVERTISSEMENT
Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la
bride de vide élevé
L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rota-
tion manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de
sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples ris-
quent d'être entraînés. Toute chute d'objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages
lors de la prochaine utilisation.
► L'obturateur d'origine ne doit être retiré qu'au moment de la connexion de la bride de vide élevé.
► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé.
► Porter des gants de protection pendant l'installation.
► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccor-
dées.
► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique.
► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de
vide ouverte).
AVERTISSEMENT
Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas
d'endommagement des connexions
Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords. Il y a
un risque d'endommagement des connexions sur site (p. ex. conduite de vide préliminaire) entraînant
des fuites. Le liquide de processus risque alors de fuir. Dans les procédés impliquant des milieux
toxiques, il existe un risque d'intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort.
► Les masses connectées à la pompe turbo doivent être aussi basses que possibles.
► Si nécessaire, utiliser des conduites flexibles pour la connexion de la pompe turbo.
Sécurité
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