Fonctionnement Général Du Mfc, Mass Flow Controller; Fonctionnement Du Capteur D'un Mfm Ou D'un Mfc; Fonctionnement Détaillé D'un Mfc - Burkert 8006 Manuel D'utilisation

5.1.2. Fonctionnement général du MFC,
Mass Flow Controller
Le MFC se compose :
• d'un capteur mesurant le débit massique,
• d'une électronique de régulation,
• d'un élément de régulation : électrovanne proportionnelle fonc-
tionnant sans frottement et ayant une sensibilité de fonction-
nement élevée.
5.2. Fonctionnement du capteur d'un
MFM ou d'un MFC
• Les capteurs de débit intégrés fonctionnent selon le procédé
de mesure thermique (anémométrique et calorimétrique) pour
mesurer le débit massique. Les principaux composants sont
une résistance chauffante et une sonde de température. Le gaz
qui passe par l'appareil modifie la différence de température
mesurée entre les deux résistances.
• Le principe de mesure thermique permet au MFC de réguler le
débit massique exigé de façon totalement indépendante des
variations de pression et de température dans l'application
concernée.
Pour obtenir un signal de sortie de la valeur effective,
dynamique ou uniforme, il est possible de modifier
l'amortissement du signal de sortie à l'aide du logiciel
« Mass Flow Communicator » (voir chapitre 10.1.4).
Sur les MFM et MFC types 8712 et 8702, la technologie
du capteur intégré nécessite, en présence de fluides
encrassés, la mise en place de filtres en amont du produit.
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Type 8006, 8702
Description du système
5.3. Fonctionnement détaillé d'un MFC
w
x = w-x
d
Électronique
x
Entrée
de régulation
fluide
Capteur
Schéma 1: Principe de fonctionnement du Mass Flow Controller
L'électronique de régulation compare le débit massique (x), mesuré
par le capteur de débit intégré, à la valeur de consigne (w) du débit
massique, transmise au MFC. L'électronique de régulation calcule
alors la grandeur de réglage (y) à transmettre à l'électrovanne pour
contrôler son ouverture. Le débit est soit maintenu à une valeur
constante, soit modifié selon un profil prédéfini.
Le fonctionnement de la régulation est indépendant des variations
de pression ou d'augmentation de la résistance d'écoulement
pouvant provenir de l'encrassement du filtre. La vitesse de réaction
élevée de l'électrovanne et le temps de réponse court du capteur
permettent d'obtenir un temps de régulation total court.
La valeur mesurée du débit massique est également transmise
(xout) via une sortie analogique normalisée ou une sortie numérique
(bus de terrain).
français
y
Sortie
fluide
Élément de régulation
(électrovanne)
x
out