Table des Matières
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NOMENCLATURE DES PIÉCES
Ensemble interface plasma
Nº Index
Réf.
128494
1
2
128408
3
041842
Installation de l'HT4400 et du HPR130
Note:
Les directives de montage du CI d'interface plasma dans la source courant HT4400 sont données à la
section 3h.
Les directives de montage du CI d'interface plasma dans la source de courant HPR130 sont données à
la section 3i.
Le boîtier d'interface plasma n'est pas utilisé pour l'installation du HT4400.
1
2
3
6-4
9
Description
Plasma interface assembly
Enclosure, plasma interface
PC Board Assembly, plasma interface
HPR PC Board Assembly, plasma interface
THC.94 for HPR
Figure 6-3
Ensemble interface plasma
Command THC (X-Y) Manuel d'instructions
Quantité
1
1
1
1
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Chapitres
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