반 정 보; 포 장 열 기 및 검 사 - Varian TriScroll Dry Scroll 600 Série Manuel D'installation Et D'opération

사용설명
반 정 보
Technologies
.
Technologies
TriScroll TM
600
,
25
.
고
.
주 의
주 석
관
:
-20 °C
-4 °F
0
TriScroll 600 Series Vacuum Pump
.
Vacuum
,
Vacuum
,
.
.
" "
:
.
.
60 °C
140 °F
95%
포 장 열 기 및 검 사
1.
2.
3.
.
4.
.
.
.
NW25
5.
.
6.
Vacuum Technologies
7.
).
고
고
주 석
.
.
40
TriScroll 600 32
70 .
.
.
.
.
.
.
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(87
,
.
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29