Varian Turbo-V 70D Mode D'emploi
  1. Manuels
  2. Marques
  3. Varian Manuels
  4. Pompes
  5. Turbo-V 70D
  6. Mode d'emploi

Varian Turbo-V 70D Mode D'emploi

Masquer les pouces
Table des Matières

Publicité

Liens rapides

Télécharger ce manuel
Turbo-V 70D
969-9361 series
969-9362 series
969-9363 series
969-9364 series
87-900-861-01(G)
JULY 2006
pumps
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL

Publicité

Table des Matières
loading

Manuels Connexes pour Varian Turbo-V 70D

Sommaire des Matières pour Varian Turbo-V 70D

  • Page 1 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI Turbo-V 70D MANUAL DE INSTRUCCIONES pumps MANUAL DE INSTRUÇÕES (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING (DK) INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL 969-9361 series (FIN) OHJEKÄSIKIRJA 969-9362 series (GR) ODHGIES CRHSEWS 969-9363 series FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV 969-9364 series (PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI (CZ) NÁVOD K POUŽITÍ...
  • Page 2 Turbo-V 70D...

  • Page 5: Table Des Matières

    ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................4 MODE D’EMPLOI ...............................7 INSTRUCCIONES DE USO ..........................10 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................13 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................16 BRUGSANVISNING ............................19 BRUKSANVISNING............................22 BRUKERVEILEDNING .............................25 KÄYTTÖOHJEET .............................28 PDHGIES CRHSEWS ............................31 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................34 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................37 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................40 NÁVOD K POUŽITIU............................43 NAVODILA ZA UPORABO..........................46 INSTRUCTIONS FOR USE..........................49 TECHNICAL INFORMATION ...........................52 DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ..................52...

  • Page 6: Istruzioni Per L'uso

    ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
  • Page 7 Le pompe della serie Turbo-V 70D sono pompe turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
  • Page 8 In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio- gia e tipo di morsetto, il numero di morsetti necessari e con ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per- quale coppia di serraggio stringerli. mette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella guasta.

  • Page 9: Gebrauchsanleitung

    GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
  • Page 10 ßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen keinerlei Haftung. anderen geeigneten Schutz tragen. Bei den Pumpen der Serie Turbo-V 70D handelt es sich um Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuuman- wendungen. Sie eignen sich für jede Art von Gas oder gashalti- ge Gemische, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen...
  • Page 11 Drehmoment von 200 Nm um seine eigene Achse aushält, oder den als Option erhältlichen Bausatz für die Befestigung am Sockelteil benutzen Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch müssen mittels doppelten exchange service" in Anspruch genommen werden.

  • Page 12: Mode D'emploi

    MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
  • Page 13 Les pompes de la série Turbo-V 70D.sont des pompes turbo- moléculaires conçues pour des applications de vide poussé et ultrapoussé, capables de pomper n'importe quel type de gaz ou de composé...
  • Page 14 "advanced exchange service", remplir et faire par- filetage M8 venir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé" an- nexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette La turbopompe à bride d’entrée ConFiat doit être fixée à la fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'ex-...

  • Page 15: Instrucciones De Uso

    INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
  • Page 16 Para mayores informaciones al respecto, se humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora) ruega contactar con el representante local de Varian. Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V 70D han de utilizarse exclusivamente con uno de los controladores Varian PREPARACION PARA LA INSTALACION (serie 969-9405, 969-9505, 969-9507 ó...
  • Page 17 En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación individuales. La tabla siguiente describe el número de Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite mordazas necesarias y el par de apriete al que han de obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.

  • Page 18: Instruções Para O Uso

    INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
  • Page 19 Varian antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza ATENÇÃO! pela eventual inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por...
  • Page 20 Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação ISO 63 Borne duplo com rosca 22 Nm Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com Borne simples com rosca 11 Nm defeito.

  • Page 21: Gebruiksaanwijzingen

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
  • Page 22 Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens ATTENTIE! het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in ontgassingsproblemen voorkomen,...
  • Page 23 In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van met behulp van dubbele of enkelvoudige klemmen. De Varian of de "Varian advanced exchange service" in te volgende tabel beschrijft het aantal benodigde klemmen en het schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden.

  • Page 24: Brugsanvisning

    BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
  • Page 25 For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de ning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt, eller hvis...
  • Page 26 VEDLIGEHOLDELSE pumpeåbningen, skal turbopumpen altid fastgøres til underlagspladen. Pumperne af TURBO-V 70D typen behøver ikke nogen vedli- geholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af auto- riseret personale. Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. Den fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange fastgøres til...

  • Page 27: Bruksanvisning

    BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
  • Page 28 Varian före användning av utrustningen. Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av handskar eller liknande skydd.
  • Page 29 Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad med vilket åtdragningsmoment de ska spännas. eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en renoverad pump. FLÄNS TYP AV ANTAL ÅTDRAGNINGS-...

  • Page 30: Brukerveiledning

    BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
  • Page 31 Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av hansker eller andre og passende verneutstyr.
  • Page 32 Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible VEDLIKEHOLD metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen Turbo-V 70D serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på er godt festet til underlaget. pumpen må kun utføres av autorisert personell. Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. Fest...

  • Page 33: Käyttöohjeet

    KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-861-01(G)
  • Page 34 Turbo-V 70D sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia aineita, joten soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana.
  • Page 35 Turvaverkon käyttö on suositeltavaa (lisävaruste). HUOLTO Mikäli suuaukolla käytetään värähtelyjen vaimentajaa tai taipuvaa metallista paljetta, tulee turbopumppu kiinnittää Sarjan Turbo-V 70D pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa. aina jalustaan. Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu henkilö. Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
  • Page 36 ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
  • Page 37 £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikˇ ˇ merikˇ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crˇsh ek m◊rouj anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ˇ crˇsh pou den sumfwne∂...
  • Page 38 ◊na zeug£ri 200 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj, ˇ crhsimopoiÒntaj kat£llhlo scetikÒ Varian ˇ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th staqeropoiˇsete th b£sh.. dunatÒthta na antikatastˇsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh eniscum◊nh. H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisÒdou ISO pr◊pei na sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ...

  • Page 39: Használati Utasítás

    HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
  • Page 40 ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem...
  • Page 41 Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A csapágyak megsérülhetnek. FIGYELEM Agresszív gázok szivattyúzásához használja a Turbo-V 70D szivattyú különlegesen kialakított változatait. Ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy különleges porttal, amelyen keresztül semleges gáztnak kell áthaladnia 0,4 és 1 mbar/s között.

  • Page 42: Instrukcja Uzytkowania

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
  • Page 43 Pompy serii Turbo-V 70D są pompami turbomolekularnymi dla zastosowania wysokich i ultra wysokich próżni, które są w stanie pompować każdy typ gazu lub mieszanki gazowej. Nie nadają się do pompowania płynów lub stałych cząstek.
  • Page 44 Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być opakowania pompy przed jego wysyłką. zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych Jeżeli pompa musi być poddana rozbiórce, należy przystąpić informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje do jej eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi normami...

  • Page 45: Příručka K Použití

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...
  • Page 46 Vývěvy řady Turbo-V 70D se musí používat jenom s jedním ze Při vybalování vývěvy dávejte pozor, aby nespadla a chraňte ji speciálních regulátorů firmy Varian (řady 969-9405, 969-9505, před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
  • Page 47 Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické s konkrétními státními normami. informace". Chcete-li připevnit vývěvu její základnou, je třeba přišroubovat tři šrouby M4 do předpokládaných otvorů...

  • Page 48: Návod K Použitiu

    NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
  • Page 49 − relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie) PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU Vývevy série Turbo-V 70D musia byť prevádzkovaná len s jedným z špeciálnych kontrolných modulov Varian (séria 969- Zariadenie je dodané v špeciálnom ochrannom obale. Ak je 9405, 969-9505, 969-9507 lebo 969-9508) a musí byť pripojená...
  • Page 50 200 Nm okolo svojej V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte miestne servisné osi, alebo použite doplnkovú súpravu pre upevnenie pomocou stredisko spoločnosti Varian, kde vám pokazenú vývevu základnej dosky. vymenia. Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO musí byť pripojená...

  • Page 51: Navodila Za Uporabo

    NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. OPOZORILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika!
  • Page 52 Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
  • Page 53 Varian strojne opreme. Naslednja tabela prikazuje število potrebnih držal in pritrjeval ter potreben navor za pritrjevanje. V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim. PRIROBNICA NAPRAVA ZA...

  • Page 54: Instructions For Use

    INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.
  • Page 55 0 - 95% (non-condensing) The pump is supplied in a special protective packing. If this The Turbo-V 70D series pumps must only be used with one of shows signs of damage which may have occurred during trans- the special Varian controllers (series 969-9405, 969-9505, 969- port, contact your local sales office.
  • Page 56 50 °C. FLANGE FIXING FIXING TORQUE DEVICE In the case of breakdown, contact your local Varian service ISO 63 M10 clamps 22 Nm center who can supply a reconditioned pump to replace that...

  • Page 57: Technical Information

    TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP The turbine is made of high-strength, light alumin- ium alloy, and is machined from a single block of The Turbo-V70D pump is available in four ver- aluminium. The turbine blades have five different sions. The difference between the two versions angles, from 42°...

  • Page 58: Technical Specification

    ISO: 2.3 (6) Start-up time < 60 seconds CFF: 1.6 (4) Recommended fore- mechanical: Varian DS102 pump diaphragm: Varian SH100 * According to standard DIN 28 428, the base pres- sure is that measured in a leak-free test dome, 48...
  • Page 59 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed against inlet pressure Graph of compression ratio against foreline pressure Graph of nitrogen throughput against inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 87-900-861-01(G)

  • Page 60: Inlet Screen Installation

    TECHNICAL INFORMATION The screen can be mounted on either pump series INLET SCREEN INSTALLATION and is supplied with a small tab for easy removal (see figure). The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309 prevent the blades of the pump from being dam- aged by debris greater than 0.7 mm diameter.

  • Page 61: Heater Band Installation

    TECHNICAL INFORMATION Switch on the heater while the turbopump is in op- HEATER BAND INSTALLATION eration. If, for any reason, the turbopump body overheats, it will be automatically cut out by the thermistor sensor. NOTE The turbopump must be "baked" only when oper- ating with an inlet pressure less than 10 mbar and with water cooling.

  • Page 62: Water Cooling Kit Installation

    TECHNICAL INFORMATION WATER COOLING KIT INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9337 (metallic model), and 969-9347 (plastic model). Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles.

  • Page 63: Base Fixing Kit Installation

    TECHNICAL INFORMATION BASE FIXING KIT INSTALLATION The kit mod. 969-9326 enables the pump to be fixed at the base. For the feet to the pump by tightening the previ- Open the package containing the feet and respec- ously inserted grub screws with the Allen key. tive screws.

  • Page 64: Air Cooling Kit Installation

    TECHNICAL INFORMATION AIR COOLING KIT INSTALLATION SIDE MOUNTING A fan kit model 969-9310 is available for air cool- ing the pump, when natural air convection is insuf- ficient. Fan specification: − air flow: The fan can also be mounted under the pump as 9 l/s (10 CFM) shown in the figure.

  • Page 65: Vent Valve Installation

    TECHNICAL INFORMATION VENT VALVE INSTALLATION The vent valve mod. 969-9843 enables undesired pump areation during a temporary power failure (5 sec maximum) to be avoided, and enables an automatic vent operation. Unscrew the threaded plug. VENT DEVICE INSTALLATION Screw the adapter (1) into the vent hole (2) of the pump.

  • Page 66: Typical Layout Diagram

    System vent valve (optional) It typically reduces the vibration transmitted from Vacuum chamber the Turbo-V 70D pump to the system by a factor of Ionization gauge Fore-vacuum pump connecting flange Please refer to the relevant instruction manual. Oil mist eliminator...

  • Page 67: Connection A - High Vacuum Flange

    TECHNICAL INFORMATION For ConFlat flange connections we recommend Connection A - HIGH VACUUM FLANGE using Varian hardware. To connect the Turbo-V70D pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the cen- To facilitate assembly and dismantling, apply Fel- tering ring as shown in the figure.

  • Page 68: Connection B - Fore-Vacuum Pump

    ACCESSORIES A flange KF 16 NW is available to connect the DESCRIPTION PART NUMBER Turbo-V 70D to the fore-vacuum pump. A hose or Inlet screen DN40 969-9309 vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical...
  • Page 69 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
  • Page 70 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
  • Page 71 Toll Free # 1 (800) 882 7426 Tel: 00 800 234 234 00 vtt.technical.support@varianinc.com China Mexico Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. Rm 1648 Central Tower South Wing Concepcion Beistegui No 109 China Beijing Junefield Plaza Col Del Valle No.

Table des Matières