操 作; 启 动 过 程; 关 机 过 程; 维 护 - Varian TriScroll Dry Scroll 600 Série Manuel D'installation Et D'opération

操 作
实 极 限 须 密 封 吸 入 口 情 况
持 小
传 统 油 封 同
无 液 冲 洗
两 分 钟 实
冲 洗 根 据 情 况 调 整
启 动 过 程
1. 闭 统 隔 离 阀
2.
电 源
3. 隔 离 阀
关 机 过 程
1.
闭 统 隔 离 阀
统 进 入
2.
闭 电 源
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TriScroll 600 Series Vacuum Pump
Vacuum Technologies
沉 积 灰 尘 碎 屑
清 洁
防 止 碎 屑 由 传
维 护
维 护
悉 预 防 规
❑
告
接 触 压
始 终 外 小 心
规 程
❑
器 后 须 别 小 心 部 件
压
❑
后
因 外
(131 °F)
❑
返 回 工
明 手 册 随 附 " 健 康 全 "
发 至 地 销 售 办 事
箱 内
废 弃 须 按
须 格
而 死
循 效 事 故 预 防
须 长
护 等
始 护 工 始 终
须 填 写 说
须 副 插
且 熟
间
后 再
55 °C
输
进