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C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H
5.3
Replace the bellows/pole-piece
assembly
Refer to
Figure 7
for item numbers shown in brackets.
1. Dismantle the valve as described in
2. Remove the old bellows/pole-piece assembly (7) and
discard.
3. Fit the new valve-pad 'O' ring (12) to the new
bellows assembly; apply a light wipe of high vacuum
grease to ease the fit.
4. Fit the bellows assembly into the actuator-case;
ensure free movement of the pole-piece in the
actuator-case.
5. Reassemble the valve as described in
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5.3
Austausch der Faltenbalg-/
Polstückgruppe
Siehe
Abbildung 7
angegebenen Teilenummern.
Section
5.2.
1. Das Ventil wie in
zerlegen.
2. Die alte Faltenbalg-/Polstückgruppe (7)
herausnehmen und entsorgen.
3. Den neuen O-Ring des Ventiltellers (12) an der neuen
Faltenbalggruppe anbringen; zur leichteren Passung
mit einer dünnen Schicht Hochvakuumfett
schmieren.
4. Die Faltenbalggruppe in das Stellergehäuse
einsetzen; auf freie Beweglichkeit des Polstücks im
Section
5.2.
Stellergehäuse achten.
5. Das Ventil wieder zusammenbauen, wie in
Abschnitt 5.2
bezüglich der in Klammern
Abschnitt 5.2
beschrieben
beschrieben.
Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
5.3
Remise en place de l'ensemble
soufflet/pôle mobile
Les chiffres entre parenthèses correspondent aux
numéros de repères de la
Figure
7.
1. Démontez la vanne comme indiqué au
2. Déposez puis mettez au rebut l'ensemble soufflet/
pôle mobile (7) usagé.
3. Mettez en position un joint torique neuf de bloc de
vanne (12) sur l'ensemble soufflet neuf. Enduisez
légèrement ces composants de graisse pour vide
poussé pour faciliter cette opération.
4. Introduisez l'ensemble soufflet dans le carter de
l'actionneur. Assurez-vous que le pôle mobile se
déplace librement dans ce carter.
5. Remontez la vanne comme indiqué au
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Section
5.2.
Section
5.2.
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