スタートアップ
外表面の洗浄
装置に液体または過酸化水素ガス (VHP) を直接吹き付けないでください。溶液
がカウンターの流路や電子部品に浸入すると、センサが損傷します。
殺菌薬ガスが装置の筐体に入り込んだり、装置の電子部品に接触しないようにし
てください。
外表面は、イソプロピルアルコール (IPA) で湿らせた糸くずの出ないテ
ィッシュで拭いてください。サンプル (等速吸引) プローブは、加圧蒸気
滅菌器で洗浄することができます。
内表面の洗浄
付属のゼロカウントフィルターを使用して、装置の内表面および吸気チ
ューブから粒、糸くず、埃などの異物を取り除きます。カウントがゼロ
になれば、内表面と吸気チューブは清浄な状態になっています。
用意するもの: ゼロカウントフィルター
1. ゼロカウントフィルターを吸気チューブに接続します。
ゼロカウントフィルターにより、 外部粒子が装置に吸入されないよう
になります。
2. サンプルの採取を開始し、装置を 30
ページの 105 を参照してください。
3. クリーンルームの空気を、粒子カウントが 0 ~ 1 になるまで 5 分間
隔で監視し続けます。
オプション: データを記録するには、 [Sample Timing: Sample (サンプ
ルタイミング: サンプル)] 設定を 5
ページの 100 を参照してください。
4. 5 分間のサンプル期間を 9 回または 10 回繰り返した後にサンプル粒
子カウントが 0 ~ 1 にならない場合は、装置を一晩中パージしてく
ページの 99 を参照してください。
ださい。装置のパージ
告 知
告 知
分以上作動させます。手動操作
分に設定します。装置を設定する
装置のパージ
パージを実行して、 粒子カウントが 0~1 になるようにします。通常、 パ
ージは、装置のベースライン基準が存在することを確認するためのテス
ト前に行います。
1. 吸気チューブをサンプルプローブ端から約 2.5 cm 切断して、伸びや
キズのある部分を取り除きます。
2. 付属のゼロカウントフィルターを吸気チューブに取り付けます。
3. 装置を 24 時間作動させます。
4. 24 時間後に粒子カウントが 0 ~ 1 であることが表示されない場合
は、吸気チューブから粒子を取り込んでいることを確認します。
a. ゼロカウントフィルターを直接吸気継手に取り付けます。
b. さらに装置を 15 分間作動させます。
c. クリーンルームの空気を 5 分間監視し、結果を記録します。5 分
間のサンプリングで粒子カウントが 0 ~ 1 になるまでこの手順
を最大 4 回繰り返します。
d. 粒子カウントが 0 ~ 1 であることが表示された場合、吸気チュー
ブから粒子を取り込んでいます。吸気チューブを交換します。
e. 粒子カウントが 0~1 にならなかった場合は、技術サポートにお
問い合わせください。
操作
設定
初期設定時には、装置を PC に接続します。
初期設定完了後には、PC に直接接続するか、ModbusTCP 接続経由で設
定を変更することができます。ネットワーク経由での設定では、LAN 設
定のみを変更できます。ネットワーク経由での LAN 設定の指定
ページの 102 を参照してください。
PC への接続
用意するもの:
• セットアップユーティリティ CD
• サービスポートケーブル
日本語 99