サンプルプローブのガイドライン
この装置は、乾燥粘着剤や他の化学薬品から発した気体が含まれた空気を監視す
るのに使用しないでください。これらの気体によりセンサの光学系や他の内部部
品が覆われて、除去できなくなってしまう可能性があります。
この装置は、腐食性のある気体が含まれた空気を監視するのに使用しないでくだ
さい。これらの気体により、光学系やカウンターの電子部品はすぐに永久的な損
傷を受けてしまいます。
2
• 層流 - 2.3 m
の表面積ごとにサンプルプローブを少なくとも 1 つ設
置します。
• 乱流 - 各クリーンルームに、サンプルプローブを少なくとも 2 つ設置
します。
• サンプル (等速吸引) プローブは、気流と同じ向きになるように設置し
てください。図 3
ページの 93 を参照してください。
• サンプルプローブは、遊離物質、埃、液体および飛沫から 30 cm 以上
離してください。
• サンプルプローブは、装置の排気ファンなど、汚染源となり得る装置
から 30 cm 以上離してください。
•
この装置は、表 2
に示している物質が含まれた空気を監視するのに使
用しないでください。
表 2 汚染物質
物質
損傷
粉末
センサが汚染され、結果が不正確になったり、装置が故障する
液体
センサの内部光学系が汚染され、装置の校正が変化する
注 : 液体は、油滴の状態で空気中に存在することもあります。
煙霧
センサが汚染される
告 知
告 知
チューブの取り付け
チューブフックまたはケーブルタイを使用してチューブをおさえて、チ
ューブが折れ曲がらないようにします。チューブが折れ曲がると、空気
流量が減少し、次のような問題が発生します:
• 吸気流量が減少すると、 チューブの内壁に粒子が堆積するようになり、
粒子がカウントされなくなります。堆積された粒子はランダムに遊離
し、カウントレベルのスパイクが生じる原因になります。
• 排気流量が減少すると、真空ポンプに負荷がかかります。ポンプの早
期摩耗および故障が発生することがあります。ポンプの故障を防止で
きるように、流量警告が発生した場合、ポンプは一時的に (1 回のサン
プル期間に 30 秒加算した時間) オフになります。
用意するもの:
• 吸気チューブ - Hytrel
®
Bevaline、Tygon
• 排気チューブ (オプション) - Tygon または同等品
• チューブフックまたはケーブルタイ
1. 装置とサンプルプローブを接続することができる長さに吸気チュー
ブを切断します。チューブはできるだけ短くしてください。長さが
3 m 以下であることを確認してください。
2. 取り付け時にチューブに異物が入り込まないように、 チューブの端に
カバーを取り付けます。
3. フックまたはケーブルタイを 1.2 m 以下の間隔で取り付けて、 チュー
ブを固定します。チューブの曲げ半径が 10 cm 以上になっていて、
空気流量が減少しないことを確認します。
4. 吸気チューブを装置の吸気用継手に接続します。チューブのもう一
方の端を付属のサンプルプローブに接続します。
5. オプション: 排気チューブを排気継手に接続します。
®
または同等品
日本語 95