Varian TV 301SF Notice Et Mode D'emploi

Masquer les pouces

page de 97

/ 97
Signets

Liens rapides

Télécharger ce manuel

TV 301SF

Navigator

Pump model:

Kit models:

969-8822

Controller models:

969-8972

87-900-957-01(E)

JULY 2006

969-8917

969-8823

969-8973

(I)

MANUALE DI ISTRUZIONI

(D)

BEDIENUNGSHANDBUCH

(F)

NOTICE DE MODE D'EMPLOI

(E)

MANUAL DE INSTRUCCIONES

(P)

MANUAL DE INSTRUÇÕES

(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING

(DK) INSTRUKSTIONSBOG

(S)

BRUKSANVISNING

(N)

INSTRUKSJON MANUAL

(FIN) OHJEKÄSIKIRJA

(GR)

ODHGIES CRHSEWS

(H)

FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV

(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI

(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ

(SK) NÁVOD NA OBSLUHU

(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA

(GB) INSTRUCTION MANUAL

Sommaire des Matières pour Varian TV 301SF

Page 1 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH TV 301SF NOTICE DE MODE D’EMPLOI Navigator MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING Pump model: (DK) INSTRUKSTIONSBOG 969-8917 BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL Kit models: (FIN) OHJEKÄSIKIRJA 969-8822 969-8823 (GR) ODHGIES CRHSEWS FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV Controller models:...
Page 2 TV 301SF Navigator...
Page 5 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................53 NÁVOD K POUŽITIU............................57 NAVODILA ZA UPORABO..........................61 INSTRUCTIONS FOR USE..........................65 TECHNICAL INFORMATION ...........................69 DESCRIPTION OF THE TV 301SF NAVIGATOR...............69 Pump Description ......................69 Controller Description ......................70 TECHNICAL SPECIFICATION ....................70 TV 301SF NAVIGATOR OUTLINE ....................71 INTERCONNECTIONS........................74 P3 - Vent ..........................74 P5 –...
Page 6 ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
Page 7 Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare at- ne sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza tenzione a non lasciar cadere il TV 301SF Navigator e a non totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'am- personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso biente.
Page 8 “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” NOTA nell’appendice “Technical Information”). Il TV 301SF Navigator non può essere fissato tramite la sua Il LED verde posto sul pannello della base del TV 301SF base. Navigator indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: −...
Page 9 In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio- ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per- mette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello guasto.
Page 10 GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Page 11 Richtlinie 85/399/EWG nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian für Umweltschutz. keinerlei Haftung. Modell TV 301SF Navigator ist ein integriertes System, das aus ACHTUNG! einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum- anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem...
Page 12 Navigator Gewinde M10 Einzelschelle mit 11 Nm Zur Einschaltung von Modell TV 301SF ist es mit der erforderli- Gewinde M8 chen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock- Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Page 13 Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist. d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontak- tieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan- Verkaufsbedingungen geprüft hat. ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System...
Page 14 MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
Page 15 MODE D’EMPLOI INDICATIONS GENERALES PREPARATION POUR L'INSTALLATION Le TV 301SF Navigator est livré dans un emballage de protec- Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profes- tion spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant sionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à...
Page 16 Navigator à filet M10 Collier simple 11 Nm Pour allumer le TV 301SF Navigator il suffit de fournir la tension à filet M8 d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatique- ment la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il Pour tout autre détail, se reporter à...
Page 17 Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche de- vra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.
Page 18 INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
Page 19 Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de se caiga el TV 301SF Navigator y de no someterlo a golpes o las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a vibraciones.
Page 20 DESCRIPTION” en el anexo “Technical Information”). ¡ATENCIÓN! El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV 301SF El TV 301SF Navigator pertenece a la segunda categoría de indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema: instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN...
Page 21 INSTRUCCIONES DE USO MANTENIMIENTO ELIMINACIÓN El TV 301SF Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. autorizado. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE".
Page 22 INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
Page 23 Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é O TV 301SF Navigator é um sistema integrado, constituído por completamente reciclável e em conformidade com a norma uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.
Page 24 2 bar (acima da pressão detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". atmosférica). O TV 301SF Navigator deve ser ligado a uma bomba primária Para bombear gases agressivos, estas bombas estão (consultar esquema em "Technical Information").
Page 25 INSTRUÇÕES PARA O USO MANUTENÇÃO ELIMINAÇÃO O TV 301SF Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. autorizado. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE".
Page 26 GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Page 27 Varian acht zich niet Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 301SF Navigator niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Page 28 Navigator Enkelvoudige klem met 11 Nm Om de TV 301SF Navigator in te schakelen is het voldoende M8 schroefdraad om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp.
Page 29 In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van termen en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben Varian of de "Varian advanced exchange service" in te gecontroleerd. schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp.
Page 30 BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Page 31 Sørg for, at TV 301SF Navigator ikke tabes eller udsættes for disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt stød ved udpakningen.
Page 32 TV 301SF Navigator kan installeres i en hvilken som helst nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser (kvælstof eller position. Fastgør TV 301SF Navigator i en stabil position ved at argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Teknisk Information”). slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på...
Page 33 I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian reparationsværksted eller “Varian advanced exchange service”, der udskifter systemet med et repareret system. BEMÆRK Inden systemet sendes til reparationsværkstedet eller “Varian...
Page 34 BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Page 35 Varian före användning av utrustningen. emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av transporten. Se till att TV 301SF Navigator inte tappas eller åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av utsätts för stötar vid uppackningen.
Page 36 Start och användning av TV 301SF Navigator KLAMMER MOMENT ISO 100 Dubbel klammer, 22 Nm För att starta TV 301SF behöver du bara ansluta till ett eluttag. gänga M10 Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen. Enkel klammer, 11 Nm gänga M8...
Page 37 BRUKSANVISNING UNDERHÅLL BORTSKAFFNING TV 301SF Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD- direktivet som har betecknats som "WEEE". VARNING! Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Innan något arbete utförs på...
Page 38 BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Page 39 Når TV 301SF Navigator pakkes ut, må du se til at det ikke feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Page 40 Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer. bar (over atmosfærisk trykk). TV 301SF Navigator må koples til en hovedpumpe (se skjema i Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med "Teknisk informasjon").
Page 41 BRUKERVEILEDNING VEDLIKEHOLD ELIMINERING TV 301SF Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC- direktiv kalt "WEEE". ADVARSEL! Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske Før noe arbeid gjøres på...
Page 42 KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-957-01(E)
Page 43 Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden myyntitoimistoon. täydellisestä osittaisesta laiminlyönnistä, Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV ammattitaidottoman henkilön virheellisestä...
Page 44 Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä. Pumput on varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla, jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja TV 301SF Navigator tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Tekniset (typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Tekniset tiedot” -liitteen kaaviota). tiedot” -liite).
Page 45 KÄYTTÖOHJEET HUOLTO HÄVITTÄMINEN TV 301SF Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE- direktiivin mukaisesti. VAARA! Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) Ennen minkään...
Page 46 ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
Page 47 Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crˇsh ek m◊rouj idia∂terh prosocˇ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to TV 301SF anekpa∂deutou proswpikoÚ, mh exousiodothm◊nej epemb£seij ˇ Navigator kai na mhn uposte∂ ctupˇmata ˇ donˇseij.
Page 48 EIDOS DAGKANHS ZEUGOS BIDWMATOS /Enaush kai Crˇsh tou TV 301SF Navigator ISO 100 22 Nm Diplˇ dagk£nh el∂kwsh M10 Gia na an£yete to TV 301SF arke∂ na promhqeÚsete thn t£sh 11 Nm Monˇ dagk£nh controller trofodÒthshj. enswmatwmevnoÇ anagnwrivzei el∂kwsh M8 interlock kai automavtwÇ...
Page 49 της διαδικασίας διαφοροποιημένης συλλογής, Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj κατόπιν επαλήθευσης του συμβολαίου πώλησης. Varian ˇ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastˇsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh anazwogonhm◊nh. SHMEIWSH Prin epistr◊yete ston kataskeuastˇ...
Page 50 HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
Page 51 A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell A TV 301SF Navigatort különleges védőcsomagolásban olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
Page 52 A TV 301SF Navigator bekapcsolása és használata KARIMA RÖGZÍTŐ RÖGZÍTŐ ESZKÖZ NYOMATÉK A TV 301SF Navigator bekapcsolásához rá kell kapcsolni a ISO 100 M10 kapcsok 22 Nm tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a M8 kapcsok 11 Nm kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
Page 53 HASZNÁLATI UTASÍTÁS MEGSEMMISÍTÉS KARBANTARTÁS A TV 301SF Navigator nem igényel karbantartást. A A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű kell elvégeznie. irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. szimbólum (mely csak Európai...
Page 54 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Page 55 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA OGÓLNE INFORMACJE PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI System TV 301SF Navigator jest dostarczany w specjanym Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą których mogłoby dojść podczas transportu, należy...
Page 56 232/485 OPIS INFORMACJA KOMUNIKACJI” w dodatku “Informacje Techniczne”). System TV 301SF Navigator nie może być mocowany poprzez Zielona dioda led znajdująca się na panelu podstawy TV 301SF własną podstawę. Navigator wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan operacyjny systemu: − zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie UWAGA ! normalnych obrotów;...
Page 57 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA KONSERWACJA PRZETWORSTWO ODPADOW System TV 301SF Navigator nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo upoważniony personel. “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia NIEBEZPIECZEŃSTWO! “WEEE” Unii Europejskiej.
Page 58 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...
Page 59 Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA USKLADNĚNÍ V normálním prostředí se vývěva TV 301SF Navigator nemůže poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila turbomolekulárních vývěv firmy Varian, musíte dodržovat...
Page 60 Zapnutí a používání vývěvy TV 301SF Navigator PŘÍRUBA PŘÍCHYTNÉ POČET UTAHOVACÍ Pro uvedení vývěvy TV 301SF Navigator do provozu je nutné ZAŘÍZENÍ MOMENT přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje ISO 100 Spony M10 22 Nm blokování, přítomnost spouštěcích signálů...
Page 61 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ ÚDRŽBA LIKVIDACE Vývěìva TV 301SF Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. osoby. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který...
Page 62 NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
Page 63 VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Zariadenie TV 301SF Navigator sa dodáva v špeciálnom Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť...
Page 64 Vývevy sú vybavené špeciálnym vstupom na vyčerpávanie v dodatku „Technické informácie“. agresívnych plynov, ktoré umožňujú stabilný tok inertného Zariadenie TV 301SF Navigator sa musí pripojiť k primárnej plynu (napríklad N , Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri výveve (pozri „Technické informácie“).
Page 65 NÁVOD K POUŽITIU ÚDRŽBA LIKVIDÁCIA Zariadenie TV 301SF Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s personál. názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť...
Page 66 NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. OPOZORILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika!
Page 67 Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Varian naprave TV 301SF Navigator. Kljub temu je priporočljivo, da je Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: enota zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste •...
Page 68 (glej odstavek »Opis komunikacije RS 232/485« v prilogi »Tehnične informacije«. Naprave TV 301SF Navigator ne morete fiksirati z njegovo Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 301SF lastno spodnjo ploskvijo. Navigator, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: •...
Page 69 črpalke pade pod 50 °C. pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki kupopordajne pogodbe. vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim.
Page 70 INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.
Page 71 The material is 100% recyclable and complies with specific national standards. EEC Directive 85/399. The TV 301SF Navigator is an integrated system with a turbo- molecular pump for high and ultra-high vacuum applications CAUTION with its relevant controller. The system can pumps any type of gas or gas compound.
Page 72 Switching on and Use of TV 301SF Navigator FLANGE FIXING FIXING DEVICE TORQUE To switch on the TV 301SF Navigator it is necessary to supply ISO 100 M10 clamps 22 Nm the mains. The integrated controller automatically recognizes M8 claws 11 Nm the interlock and start signals presence and start up the pump.
Page 73 INSTRUCTIONS FOR USE MAINTENANCE DISPOSAL The TV 301SF Navigator does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by au- Meaning of the "WEEE" logo found in labels thorized personnel. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive.
Page 74 3rd stage with a blade angle of 24°, flange. • 4th and 5th stages with a blade angle of 20°, The TV 301SF Navigator kit two models are: • 6th, 7th, 8th and 9th stages with a blade angle − Model 969-8822 with ISO 100 high vacuum of 10°.
Page 75 NOTE Recommended fore- mechanical: Varian DS 302 pump dry pump: Varian SH 100 When the TV 301SF Navigator has been stored at a temperature less than 5°C, wait until the system has Operating position reached the above mentioned temperature. Cooling...
Page 76 TECHNICAL INFORMATION TV 301SF NAVIGATOR OUTLINE The following figures show the TV 301SF Naviga- tor outlines (dimensions are in inches [mm]). TV 301SF Navigator outline 87-900-957-01(E)
Page 77 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (main port) Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (side port) 87-900-957-01(E)
Page 78 TECHNICAL INFORMATION Graph of compression ratio (main port) vs foreline pressure Graph of compression ratio (side port) vs foreline pressure 87-900-957-01(E)
Page 79 TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS J5 - IN-OUT The following figure shows the TV 301SF inter- connections. This connector carries all the input and output sig- nals to remote control the TV 301SF Navigator. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use.
Page 80 TECHNICAL INFORMATION For example: SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must - reference quantity: frequency - threshold: 500 Hz be the following: • - hysteresis: 1% frequency: 100 Hz +/-20% - activation type: "high level" •...
Page 81 How to connect the open collector input of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TV 301SF Navigator to an external system. Two cases are considered: 1. the customer supplies the 24 Vdc 2.
Page 82 Communication Protocol This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the The communication protocol is a MASTER/SLAVE TV 301SF. type where: • Host = MASTER PIN N. SIGNAL NAME •...
Page 83 TECHNICAL INFORMATION where: The controller can answers with the following re- sponse types: NOTE When a data is indicated between two quotes (‘...’) TYPE LENGTH VALUE DESCRIPTION it means that the indicated data is the correspond- After a read instruction ing ASCII character.
Page 84 TECHNICAL INFORMATION Command: STOP Window Meanings Source: PC Read/ Data Description Admitted Destination: Controller Write Type Values Start/Stop Start = 1 (in remote mode Stop = 0 the window is a STX ADDR WINDOW OFF ETX read only) Remote Remote = 1 Source: Controller (default) or Serial Serial = 0...
Page 85 Off = 0 are variable) (on = closed) (default = 1) CRC Parameter "XXXX" structure Reserved to Varian service Reserved to Varian service Set the vent valve Automatic = 0 RS 485 address 0 to 31 operation (see note 1.)
Page 86 TECHNICAL INFORMATION The screen can be removed as shown in the fol- INLET SCREEN INSTALLATION lowing figure. The inlet screen mod. 969-9302 prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pump- ing speed by about 10%.
Page 87 9437 or 969-9537 please utilize the special fan ex- tension cable 969-9949. To fix the fan to the TV 301SF case execute the following procedure (see the following figure): 1. If the controller will be installed on board at the...
Page 88 TECHNICAL INFORMATION The metallic model is assembled as shown in the WATER COOLING KIT INSTALLATION figure. Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9337 (me- tallic model), and 969-9347 (plastic model).
Page 89 TV 301SF Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9834 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up CAUTION to about 220 min.
Page 90 VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION A vibration isolator (P/N 969-9342) is available as accessory. It typically reduces the vibration transmitted from the TV 301SF Navigator to the system by a factor of 20. Please refer to the relevant instruction manual. PURGE VALVE INSTALLATION...
Page 91 The supplied serial cable must be installed when the TV 301SF Navigator or the optional vent valve 4. Press the controller towards the pump; have to be controlled by means of a remote com- puter.
Page 92 TECHNICAL INFORMATION Side mounting Connection A - HIGH VACUUM FLANGE To connect the Turbo-V301SF pump to the ISO NOTE inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. The L-shaped bracket (P/N 969-9970) is available as an option.
Page 93 Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s. CAUTION To prevent bearing damage, Varian suggests a minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements.
Page 94 Turn off the Turbopump. However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Varian's specialist. Open the Turbo-V vent port slowly until to As a matter of fact, in case of high magnetic fields, reach atmospheric pressure in the system.
Page 95 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Page 96 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
Page 97 Toll Free # 1 (800) 882 7426 Tel: 00 800 234 234 00 vtt.technical.support@varianinc.com China Mexico Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. Rm 1648 Central Tower South Wing Concepcion Beistegui No 109 China Beijing Junefield Plaza Col Del Valle No.

Ce manuel est également adapté pour:

969-8917 969-8822 969-8823 969-8972 969-8973