Table des Matières
Publicité
Liens rapides
TV 1001
Navigator
Pump models:
969-8931
969-8932
969-8934
Kit models:
969-8838
969-8839
969-8841
Controller model:
87-900-945-01(G)
JULY 2006
969-8946
969-8933
969-8947
969-8844
969-8840
969-8845
969-8978
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
Publicité
Table des Matières
Manuels Connexes pour Varian TV 1001 Navigator
Sommaire des Matières pour Varian TV 1001 Navigator
- Page 1 TV 1001 MANUALE DI ISTRUZIONI Navigator BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES Pump models: MANUAL DE INSTRUÇÕES 969-8931 969-8946 (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING 969-8932 969-8933 (DK) INSTRUKSTIONSBOG 969-8934 969-8947 BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL Kit models: (FIN) OHJEKÄSIKIRJA 969-8838 969-8844 (GR) ODHGIES CRHSEWS 969-8839 969-8840 FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV...
- Page 2 TV 1001 Navigator...
-
Page 3: Table Des Matières
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................53 NÁVOD K POUŽITIU............................57 NAVODILA ZA UPORABO..........................61 INSTRUCTIONS FOR USE..........................65 TECHNICAL INFORMATION ...........................69 DESCRIPTION OF THE TV 1001 NAVIGATOR .................69 Pump Description ......................70 Controller Description ......................70 TECHNICAL SPECIFICATION ....................71 TV 1001 NAVIGATOR OUTLINE....................72 INTERCONNECTIONS........................75 P3 - Vent ..........................75 P4 –... -
Page 4: Istruzioni Per L'uso
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. - Page 5 Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritie- Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare at- ne sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza tenzione a non lasciar cadere il TV 1001 Navigator e a non sot- totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di toporlo urti vibrazioni.
- Page 6 (vedere NOTA il paragrafo “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” Il TV 1001 Navigator non può essere fissato tramite la sua ba- nell’appendice “Technical Information”). Il LED verde posto sul pannello della base del TV 1001 Naviga-...
- Page 7 ISTRUZIONI PER L'USO MANUTENZIONE SMALTIMENTO Il TV 1001 Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qual- siasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla di- PERICOLO! rettiva CE denominata "WEEE".
-
Page 8: Gebrauchsanleitung
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. - Page 9 Normen übernimmt die Firma Varian Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie keinerlei Haftung. 85/399/EWG für Umweltschutz. Modell TV 1001 Navigator ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum- ACHTUNG! anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht.
- Page 10 “Waiting for Interlock”. schlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus. Der TV 1001 Navigator hat Verbinder für den Ein-und Ausgang Stoppen von Modell TV 1001 Navigator und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Span- Zum Stoppen von Modell TV 1001 Navigator ist die Versor- nung zugänglich ist.
- Page 11 GEBRAUCHSANLEITUNG Not-Aus ENTSORGUNG Zur Stillsetzung von Mod. TV 1001 Navigator in Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen. Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten WARTUNG Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU- Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Modell TV 1001 Navigator erfordert keine Wartung.
-
Page 12: Mode D'emploi
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. - Page 13 MODE D’EMPLOI INDICATIONS GENERALES PREPARATION POUR L'INSTALLATION Le TV 1001 Navigator est livré dans un emballage de protection Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente...
- Page 14 5 Nm Navigator Pour les brides F, les vis en acier doivent être de classe > 8.8 Pour allumer le TV 1001 Navigator il suffit de fournir la tension La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la d'alimentation.
- Page 15 MODE D’EMPLOI Arrêt d'urgence Pour arrêter le TV 1001 Navigator en conditions d'urgence, il MISE AU REBUT faut débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur. Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes ENTRETIEN Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la Le TV 1001 Navigator n'exige aucun entretien particulier.
-
Page 16: Instrucciones De Uso
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. - Page 17 Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no se caiga el TV 1001 Navigator y de no someterlo a golpes o preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a vibraciones.
- Page 18 Parada del TV 1001 Navigator conectados a los circuitos externos de manera que ninguna Para parar el TV 1001 Navigator nte con desenchufarlo de la parte bajo tensión quede accesible. Controlar que el corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la aislamiento del dispositivo conectado al TV 1001 Navigator bomba.
- Page 19 INSTRUCCIONES DE USO MANTENIMIENTO ELIMINACIÓN El TV 1001 Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE".
-
Page 20: Instruções Para O Uso
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. - Page 21 Varian. Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TV 1001 Navigator deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). 87-900-945-01(G)
- Page 22 O TV 1001 não pode ser fixado através da sua base. de erro. Paragem do TV 1001 Navigator Para parar o TV 1001 Navigator é suficiente desligar a tensão ATENÇÃO! de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a O TV 1001 Navigator pertence à segunda categoria de bomba.
- Page 23 INSTRUÇÕES PARA O USO MANUTENÇÃO O TV 1001 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas ELIMINAÇÃO as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directi- PERIGO! va CE denominada "WEEE".
-
Page 24: Gebruiksaanwijzingen
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. - Page 25 Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 1001 Navigator niet acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
- Page 26 ATTENTIE! Bevestig de TV 1001 Navigator in een stabiele positie door de Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de inlaatflens van de turbopomp op de contraflens van het turbopomp wanneer deze in werking is.
- Page 27 In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van wederverkoper, om het proces van gescheiden inzameling en Varian of de "Varian advanced exchange service" in te verwerking in gang te zetten, na de van toepassing zijnde schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de termen en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben defecte pomp.
-
Page 28: Brugsanvisning
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. - Page 29 Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke Sørg for, at TV 1001 Navigator ikke tabes eller udsættes for ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af stød ved udpakningen.
- Page 30 Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for Montér TV 1001 Navigator i en stabil position ved at montere beskadigelse af lejerne. turbopumpens indgangsflange på systemets kontraflange. Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på...
- Page 31 I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian reparationsværksted eller “Varian advanced exchange service”, der udskifter systemet med et repareret system. BEMÆRK Inden systemet sendes til reparationsværkstedet eller “Varian...
-
Page 32: Bruksanvisning
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. - Page 33 Varian före användning av utrustningen. emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av transporten. Se till att TV 1001 Navigator inte tappas eller åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av utsätts för stötar vid uppackningen.
- Page 34 även vid ett enskilt fel enligt standard EN Att stänga av TV 1001 Navigator 61010-1. Om du vill stänga av TV 1001 Navigator behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion.
- Page 35 BRUKSANVISNING UNDERHÅLL BORTSKAFFNING TV 1001 Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD- direktivet som har betecknats som "WEEE". VARNING! Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Innan något arbete utförs på...
-
Page 36: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... - Page 37 Når TV 1001 Navigator pakkes ut, må du se til at det ikke manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
- Page 38 (ca. hver 200 ms): feiltilstand. tilgjengelige. Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til TV 1001 Navigator har en egnet isolering, også under Stoppe TV 1001 Navigator forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.
- Page 39 BRUKERVEILEDNING VEDLIKEHOLD ELIMINERING TV 1001 Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC- direktiv kalt "WEEE". ADVARSEL! Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske Før noe arbeid gjøres på...
-
Page 40: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-945-01(G) - Page 41 Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 1001 täydellisestä...
- Page 42 Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 1001:n perustan paneelissa, avulla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä. osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: TV 1001 Navigator voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti; vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on HUOM kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”-...
- Page 43 KÄYTTÖOHJEET HUOLTO HÄVITTÄMINEN TV 1001 Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE- direktiivin mukaisesti. VAARA! Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) Ennen minkään...
- Page 44 ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
- Page 45 PROSOCH egceir∂diou odhgièn kai opoiadˇpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H Gia na apofÚgete problˇmata apagwgˇj aer∂ou, mhn agg∂zete me Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikˇ ˇ merikˇ...
- Page 46 Stam£thma tou TV 1001 Navigator evcei buvsmata tiÇ eisovdouÇ/////exovdouÇ kai gia th seiriakhv epikoinwniva pou Gia na stamatˇsete to TV 1001 Navigator e∂nai arketÒ na prevpei na sundeqouvn sta exwterikav kuklwvmata evtsi wvste afair◊sete thn t£sh trofodÒthshj. O enswmatwm◊noj elegktˇj eivnai prositov kanevna mevroÇ...
- Page 47 Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj εκκίνηση της διαδικασίας διαφοροποιημένης συλλογής, Varian ˇ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei κατόπιν επαλήθευσης του συμβολαίου πώλησης. th dunatÒthta na antikatastˇsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh anazwogonhm◊nh.
-
Page 48: Használati Utasítás
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Page 49 1001 Navigatort különleges védőcsomagolásban olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,...
- Page 50 A TV 1001 Navigator bekapcsolása és használata KARIMA RÖGZÍTŐ NYOMATÉK ISO 160 35 Nm A TV 1001 Navigator bekapcsolásához rá kell kapcsolni a ISO 200 35 Nm tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a ISO 250 35 Nm kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
- Page 51 HASZNÁLATI UTASÍTÁS KARBANTARTÁS MEGSEMMISÍTÉS A TV 1001 Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű elvégeznie. irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen...
-
Page 52: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... - Page 53 TV 1001 Navigator ani niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Nie porzucać...
- Page 54 Navigator wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan operacyjny systemu: INFORMACJA − zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie System TV 1001 Navigator nie może być mocowany poprzez normalnych obrotów; − własną podstawę. miga powoli (okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for...
- Page 55 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA KONSERWACJA PRZETWORSTWO ODPADOW System TV 1001 Navigator nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo upoważniony personel. “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia NIEBEZPIECZEŃSTWO! “WEEE” Unii Europejskiej.
-
Page 56: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... - Page 57 žádné kontaminující látky a proto se hodí pro aplikace POZNÁMKA vyžadující "čisté" vakuum. V normálním prostředí se vývěva TV 1001 Navigator nemůže Je vybaveno přídavnými konektory pro připojení přídavného poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, ventilátoru, ovládání odvzdušňovacího ventilu, který je ovládán dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila...
- Page 58 Zapnutí a používání vývěvy TV 1001 Navigator moment. PŘÍRUBA POČET UTAHOVACÍ MOMENT Pro uvedení vývěvy TV 1001 Navigator do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky ISO 160 35 Nm zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede ISO 200 35 Nm vývěvu do provozu.
- Page 59 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ ÚDRŽBA LIKVIDACE Vývěva TV 1001 Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. osoby. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který...
-
Page 60: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... - Page 61 Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Varian pre predaj a servis. V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technické informácie“. Zariadenie TV 1001 Navigator sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technické informácie“). 87-900-945-01(G)
- Page 62 , Ar) a/alebo poškodiť ďalšie zariadenia. kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok „Technické informácie“). Upevnite zariadenie TV 1001 Navigator do stabilnej polohy tak, že pripevníte vstupnú prírubu turbovývevy k prírube systému. Pripojenie musí byť schopné vydržať točivý moment 8900 Nm VAROVANIE! okolo vlastnej osi.
- Page 63 NÁVOD K POUŽITIU ÚDRŽBA LIKVIDÁCIA Zariadenie TV 1001 Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy opravy systému musí vykonať Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. autorizovaný personál. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) VAROVANIE! znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť...
-
Page 64: Navodila Za Uporabo
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. OPOZORILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! - Page 65 SPLOŠNE INFORMACIJE PRIPRAVA ZA MONTAŽO Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo TV 1001 Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren pisarno.
- Page 66 OPOZORILO! POZOR Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko Po direktivi EN 61010-1 spada TV 1001 Navigator v skupino za triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko drugo nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju).
- Page 67 NAVODILA ZA UPORABO VZDRŽEVANJE ODLAGANJE OPADKOV Naprave TV 1001 Navigator ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE".
-
Page 68: Instructions For Use
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. - Page 69 PREPARATION FOR INSTALLATION This equipment is destined for use by professionals. The user The TV 1001 Navigator is supplied in a special protective pack- should read this instruction manual and any other additional ing. If this shows signs of damage which may have occurred information supplied by Varian before operating the equipment.
- Page 70 35 Nm Switching on and Use of TV 1001 Navigator ISO 200 35 Nm To switch on the TV 1001 Navigator it is necessary to supply ISO 250 35 Nm the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump.
- Page 71 INSTRUCTIONS FOR USE MAINTENANCE DISPOSAL The TV 1001 Navigator does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by author- Meaning of the "WEEE" logo found in labels ized personnel. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive.
-
Page 72: Technical Information
The system is available in six models that differ in flange; the high vacuum flange. − Model 969-8946 with ISO 200 F high vacuum The TV 1001 Navigator kit six models are: flange; − Model 969-8838 with ISO 200 high vacuum − Model 969-8932 with ConFlat 10” external di- flange;... -
Page 73: Pump Description
TECHNICAL INFORMATION The controller model 969-8978 is also available as During normal operation, the motor is fed with a an option. voltage of 54 Vac three-phase at 715 Hz. To re- duce losses during start-up to a minimum, the fre- quency increases according to a ramp with a higher initial voltage/frequency ratio. -
Page 74: Technical Specification
NOTE Cooling require- Forced air or water ments When the TV 1001 Navigator has been stored at a temperature less than 5°C, wait until the system has Coolant water Minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM) reached the above mentioned temperature. -
Page 75: Tv 1001 Navigator Outline
TECHNICAL INFORMATION TV 1001 NAVIGATOR OUTLINE The following figures show the TV 1001 Navigator outlines (dimensions are in mm [inches]). 87-900-945-01(G) - Page 76 TECHNICAL INFORMATION 87-900-945-01(G)
- Page 77 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 87-900-945-01(G)
-
Page 78: Interconnections
The following figure shows the TV 1001 intercon- nections. This connector carries all the input and output sig- nals to remote control the TV 1001 Navigator. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use. - Page 79 TECHNICAL INFORMATION For example: SPEED SETTING: PWM input signal to set the - reference quantity: frequency pump speed. The PWM signal characteristics must - threshold: 500 Hz be the following: - hysteresis: 1% • frequency: 100 Hz +/-20% - activation type: "high level" •...
- Page 80 TECHNICAL INFORMATION How to connect the open-collector inputs of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TV551/701 Navigator to an external system. Two cases are considered: 1. the customer supplies the 24 Vdc 2.
-
Page 81: J2 - Serial
TECHNICAL INFORMATION How to connect the outputs of the controller RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION The following figure shows a typical logic output Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are connection (relay coil) but any other device may be available on the connector J2. - Page 82 TECHNICAL INFORMATION The field length is variable according to the Examples: data type as per the following table: Command: START Source: PC FIELD DATA TYPE VALID CHARACTERS LENGTH Destination: Controller Logic (L) ‘0’ = OFF ‘1’ = ON Numeric (N) ‘-‘, ‘.’, ‘0’...
-
Page 83: Window Meanings
1 = Current valve on/off Off = 0 2 = Time (on = closed) (default = 1) (default = 0) Reserved to Varian service Set Point (default = 582) threshold Set the vent Automatic = 0 (expressed valve (see note 1.) -
Page 84: Inlet Screen Installation
0 to 9999 ber (zeroed by the reset command) Pump life in 0 to 999999 hours (ze- roed by the reset com- mand) Reserved to Varian service QE5XXXX EPROM (where “XXXX” (QE) are variable) CRC Pa- PA5XXXX ram. (PA) (where “XXXX”... -
Page 85: Heater Band Installation
TECHNICAL INFORMATION The following figure shows the ISO 250 pump flange section with the protection screen fitted on it. As you can see, the overall dimensions do not change as the inlet screen remains inside the pump profile. The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the fol- HEATER BAND INSTALLATION lowing figure. -
Page 86: Air Cooling Kit Installation
TECHNICAL INFORMATION Switch on the heater while the turbopump is in op- To fix the fan to the TV 1001 case execute the fol- eration. In the event of turbopump overheat, the lowing procedure (see the following figure): pump will be automatically cut out by the thermis- tor sensor. -
Page 87: Tv 1001 Pump With Standard Rack Controller
TECHNICAL INFORMATION TV 1001 Pump with Standard Rack WATER COOLING KIT INSTALLATION Controller Two types of water cooling kits are available to be When the TV 1001 pumps are used with the stan- mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. -
Page 88: Vent Accessories
TV 1001 Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9834 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min. -
Page 89: Standard Rack Controller Compatible
TECHNICAL INFORMATION Vent Device mod. 969-9831 The vent device has adjustable delay time (up to 36 min.). This value can be used only with rack controller. To install the vent device unscrew and remove the threaded plug (see figure below). CAUTION Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. -
Page 90: Vibration Isolator Installation
− model 969-9346 for ISO 200 flange; − model 969-9336 for CFF 10” flange. They typically reduce the vibration transmitted from the TV 1001 Navigator to the system by a factor of 20. Please refer to the relevant instruction manual. -
Page 91: Tv 1001 Controller Installation
TECHNICAL INFORMATION TV 1001 CONTROLLER INSTALLATION Side mounting The controller can be mounted in two position: NOTE − bottom mounting (as per the complete system) The L-shaped bracket (P/N 969-9298) is available as an option. − side mounting. See the following figure. To install the controller execute the following pro- 1. -
Page 92: Connection A - High Vacuum Flange
Connection A – HIGH VACUUM FLANGE For ConFlat flange connections we recommend For ISO-K flange connections, fix the two flanges using Varian hardware. with the clamps as shown in the figure. To facilitate assembly and dismantling, apply Fel- pro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. -
Page 93: Connection B - Fore-Vacuum Pump
Connection B – FORE-VACUUM PUMP CAUTION A flange KF 40 NW is available to connect the To prevent bearing damage, Varian suggests a Turbo V1001 pump to the fore-vacuum pump. A minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17 hose or vacuum approved pipe can be used. -
Page 94: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
However if the effect is grater, than the case Vent device with adjustable delay time 969-9831 should be carefully reviewed by Varian’s specialist. for standard rack controller As a matter of fact, in case of high magnetic fields, Vent valve for standard rack controller...