Table des Matières
Publicité
Liens rapides
TV 551/701
Navigator
Pump models:
969-8922
969-8925
969-8927
969-8945
Kit models:
969-8832
969-8835
969-8837
969-8843
Controller models:
969-8976
87-900-934-01(G)
MAY 2005
969-8923
969-8926
969-8944
969-8833
969-8836
969-8842
969-8977
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
INSTRUCTION MANUAL
Publicité
Table des Matières
Manuels Connexes pour Varian TV 551 Navigator
Sommaire des Matières pour Varian TV 551 Navigator
- Page 1 TV 551/701 Navigator MANUALE DI ISTRUZIONI Pump models: BEDIENUNGSHANDBUCH 969-8922 969-8923 NOTICE DE MODE D’EMPLOI 969-8925 969-8926 MANUAL DE INSTRUCCIONES 969-8927 969-8944 MANUAL DE INSTRUÇÕES 969-8945 BEDRIJFSHANDLEIDING Kit models: INSTRUKSTIONSBOG 969-8832 969-8833 BRUKSANVISNING 969-8835 969-8836 INSTRUKSJON MANUAL 969-8837 969-8842 OHJEKÄSIKIRJA 969-8843 ODHGIES CRHSEWS FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV...
- Page 2 TV 551 Navigator TV 701 Navigator...
-
Page 5: Table Des Matières
ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................4 MODE D’EMPLOI ...............................7 INSTRUCCIONES DE USO ..........................10 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................13 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................16 BRUGSANVISNING ............................19 BRUKSANVISNING............................22 BRUKERVEILEDNING .............................25 KÄYTTÖOHJEET .............................28 PDHGIES CRHSEWS ............................31 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................34 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................37 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................40 NÁVOD K POUŽITIU............................43 NAVODILA ZA UPORABO..........................46 INSTRUCTIONS FOR USE..........................49 TECHNICAL INFORMATION ...........................52 DESCRIPTION OF THE TV 551/701 NAVIGATOR ..............52... -
Page 6: Indicazioni Di Sicurezza
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. -
Page 7: Informazioni Generali
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è supe- primaria (vedere schema in "Technical Information") riore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazio- ne, si prega di contattare il locale rappresentante della Varian. FISSAGGIO DELLA POMPA PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE ... -
Page 8: Arresto Di Emergenza
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può cau- Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di sare lesioni alle persone. ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello guasto. -
Page 9: Sicherheitshinweise
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. -
Page 10: Allgemeine Informationen
ACHTUNG! Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei LAGERUNG Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen. Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: • Während des Transports, der Handhabung und der Einla- gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht... - Page 11 Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist. Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr. Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan- ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein ACHTUNG! generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System...
-
Page 12: Normes De Sécurité
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. -
Page 13: Indications Generales
STOCKAGE qu'au moment de brancher la turbopompe au système. Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : • Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions... -
Page 14: Arrêt D'urgence
"advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau à 2 bar (au-delà de la pression atmosphérique). Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées manuel d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise d'une porte spéciale à... -
Page 15: Indicaciones De Seguridad
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. -
Page 16: Información General
Varian antes de usar el aparato. Varian se considera libre de posibles ¡ATENCIÓN! responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las... - Page 17 (como el modelo Varian IC 63250 DCMZ). apropiados típicos de cada gas.No usar la bomba cuando haya En la siguiente tabla se indican, respecto de cada brida, la gases explosivos. cantidad de mordazas IC 63250 DCMZ necesarias y el par de apriete con el cual fijarlas.
-
Page 18: Indicações De Segurança
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. -
Page 19: Instalação
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância ATENÇÃO! total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de... - Page 20 Por exemplo, o flange ISO-K pode ser fixado com bornes de aço adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na de alta resistência (como o modelo Varian IC 63250 DCMZ). presença de gases explosivos. A tabela a seguir contém, por cada flange, o número de bornes IC 63250 DCMZ necessários e o respectivo torque de aperto.
-
Page 21: Veiligheidsinstructies
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. -
Page 22: Installatie
Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet blote handen aangeraakt worden. Gebruik... - Page 23 De ISO-K-flens kan bijvoorbeeld bevestigd worden met stalen gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de klemmen met een hoge weerstand (zoals het model Varian IC pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. 63250 DCMZ).
-
Page 24: Sikkerhedsanvisninger
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. - Page 25 Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke VIGTIGT! ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt med bare hænder, idet der er risiko for afgasning.
- Page 26 Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive ISO-K-flangen kan eksempelvis fastspændes ved hjælp af gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. stålklemmer med høj styrke (f.eks. modellen Varian IC 63250 Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. DCMZ). Nedenstående tabel beskriver antallet af klemmer (IC 63250 DCMZ), som er nødvendige til hver enkelt flange, samt det...
-
Page 27: Bruksanvisning
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. - Page 28 Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras dokumentation från Varian före användning av utrustningen. med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av handskar eller liknande skydd. åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen...
- Page 29 öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC. uppvärmningen för att undvika brännskador. Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett VIKTIGT! renoverat system. Undvik sammanstötningar, svängningar...
-
Page 30: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... - Page 31 Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av hansker eller andre og passende verneutstyr.
- Page 32 ISO-K-flensen kan f.eks. festes ved hjelp av stålklemmer med gasstypene følges. høy styrke (f.eks. modellen Varian IC 63250 DCMZ). Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Den følgende tabellen beskriver antall klemmer IC 63250 DCMZ som er nødvendige for hver flens, og tilhørende...
-
Page 33: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-934-01(G) -
Page 34: Yleisiä Tietoja
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vastuuta muuta sopivaa suojausta. seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä... - Page 35 Pumpun ensimmäinen käynnistys tapahtuu “Soft Start” - teräskiinnikkeillä (esim. malli Varian IC 63250 DCMZ). menetelmällä, joka inaktivoituu automaattisesti käynnistysjakson Seuraavassa taulukossa ilmoitetaan jokaiselle laipalle tarvittava jälkeen. Siten pumpun seuraavat käynnistykset tapahtuvat ilman IC 63250 DCMZ -kiinnitinmäärä ja niiden kiristysmomentit.
- Page 36 ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
-
Page 37: Στερεωση Τησ Αντλιασ
£llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj anekpa∂deutou proswpikoÚ, mh... - Page 38 H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na apÒ 50°C. prokal◊sei proswpik◊j bl£bej. Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th PROSOCH dunatÒthta na antikatastÿsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ...
-
Page 39: Biztonsági Útmutató
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Page 40 A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
- Page 41 (kb. 200 ms periódus): hibafeltétel. Az „F” karima acélcsavarjai osztályának >=8.8-nak kell lennie. A TV 551/701 Navigator kikapcsolása A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian A TV 551/701 Navigator kikapcsolásához le kell kapcsolni a hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes tápfeszültséget.
-
Page 42: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... - Page 43 Nie porzucać instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje się całkowicie Varian przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się do recyklingu zgodny jest z dyrektywą UE 855/399 dotyczącej od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego ochrony środowiska.
- Page 44 Stop lub w stanie “Waiting for zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie drobne interlock”; układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych informacji − miga szybko (okres 200 ms.): stan błędu. należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje Techniczne”...
-
Page 45: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... - Page 46 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice EEC 85/399. systému pomocí přípojky, která odolá točivému momentu 8600 Nm kolem své osy. Např. přírubu ISO-K lze připevnit příchytkami z vysoce pevné oceli (jako je typ IC63250DCMZ firmy Varian). VAROVÁNÍ Následující tabulka uvádí...
- Page 47 (viz odstavec “POPIS KOMUNIKACE připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu RS 232/485” v příloze “Technické informace”). firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy informace". TV 551/701 Navigator indikuje provozní stavy systému Vývěvu TV 551/701 Navigator lze instalovat v libovolné...
-
Page 48: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... - Page 49 Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr 85/399. než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené UPOZORNENIE postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom Ak chcete predísť...
- Page 50 8600 Nm okolo vlastnej Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. osi. Napríklad príruba typu ISO-K môže byť pripevnená oceľovými svorkami s vysokou pevnosťou (napr. model Varian IC63250DCMZ). Zapnutie a použitie zariadenia TV 551/701 Nasledujúca tabuľka ukazuje, pre každý typ príruby potrebný...
-
Page 51: Varnostna Navodila
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ... - Page 52 Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja. za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.
- Page 53 Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2 bara (nad pritiskom atmosfere). Za črpanje agresivnih plinov so V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki te črpalke opremljene s priključkom, ki omogoča stalen pretok vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim.
-
Page 54: Instructions For Use
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. -
Page 55: General Information
Varian before operating the equipment. hands to handle components which will be exposed to vacuum. Varian will not be held responsible for any events occurring due Always use gloves or other appropriate protection. to non-compliance, even partial, with these instructions, im-... -
Page 56: Emergency Stop
50 °C. CAUTION In the case of breakdown, contact your local Varian service center who can supply a reconditioned system to replace that Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump broken down. -
Page 57: Technical Information
The system is available in five models for TV 551 and three models for TV 701. The models of each group differ in the high vacuum flange. The TV 551 Navigator five models are: − Model 969-8832 with ISO 160 high vacuum flange;... -
Page 58: Pump Description
TECHNICAL INFORMATION The pump is balanced after assembly with a resid- Pump Description ual vibration amplitude less than 0.01 µm. The pump consists of a high frequency motor driv- ing a turbine fitted with 8 bladed stages and 4 The pump can operate in any position and can be Macrotorr stages. -
Page 59: Technical Specification
Navigator software (optional) Recommended Installation category forepump Mechanical Varian DS 302 Pollution degree Varian Triscroll PTS 300 Storage temperature -20° C to +70° C Operating position Weight kg (lbs) Operating ambient +5 °C to +35 °C ISO flange 19.4 (43) -
Page 60: Tv 551/701 Navigator Outline
TECHNICAL INFORMATION TV 551/701 NAVIGATOR OUTLINE The following figures show the TV 551/701 Navi- gator outlines (dimensions are in inches [mm]). TV 551 Navigator outline 87-900-934-01(G) - Page 61 TECHNICAL INFORMATION TV 701 Navigator outline 87-900-934-01(G)
- Page 62 TECHNICAL INFORMATION TV 551/701 Navigator with ISO F flange outlines 87-900-934-01(G)
- Page 63 TECHNICAL INFORMATION TV 551 TV 701 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (with inlet screen) Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 87-900-934-01(G)
-
Page 64: Interconnections
TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS J1 - IN-OUT The following figure shows the TV 551/701 inter- connections. This connector carries all the input and output sig- nals to remote control the TV 551/701 Navigator. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use. -
Page 65: Soft Start
TECHNICAL INFORMATION SPEED SETTING: PWM input signal to set the FAULT: this open collector output signal is ON pump speed. The PWM signal characteristics must when a system fault condition is detected. be the following: • frequency: 100 Hz +/-20% PROGRAMMABLE SET POINT: this open collec- •... -
Page 66: How To Connect The Output Open Collector Of The Controller
TECHNICAL INFORMATION When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input (see the following figure). How to connect the output open collector of the controller Here below there are the typical connections of the output open collector of TV551/701 Navigator to... -
Page 67: P2 - Serial
TECHNICAL INFORMATION P2 - Serial Communication Protocol The communication protocol is a MASTER/SLAVE type where: • Host = MASTER • Controller = SLAVE The communication is performed in the following way: 1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to This is a 9 pin D-type serial input/output connector the controller (SLAVE);... - Page 68 TECHNICAL INFORMATION The addressed SLAVE will respond with an AN- Examples: SWER whose structure depends from the MESSAGE Command: START type. Source: PC Destination: Controller When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE.
-
Page 69: Window Meanings
1 = Current valve on/off Off = 0 2 = Time (on = closed) (default = 1) (default = 0) Reserved to Varian service Set Point (default = 643) threshold (expressed Set the vent Automatic = 0 in Hz, mA or valve (see note 1.) -
Page 70: Inlet Screen Installation
0 to 9999 ber (zeroed by the reset command) Pump life in 0 to 999999 hours (ze- roed by the reset com- mand) Reserved to Varian service QE5XXXX EPROM (where “XXXX” (QE) are variable) CRC Pa- PA5XXXX ram. (PA) (where “XXXX”... -
Page 71: Heater Band Installation
TECHNICAL INFORMATION The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. HEATER BAND INSTALLATION The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the fol- lowing figure. -
Page 72: Air Cooling Kit Installation
TECHNICAL INFORMATION Switch on the heater while the turbopump is in op- To fix the fan to the TV 551/701 case execute the eration. In the event of turbopump overheat, the following procedure (see the following figure): pump will be automatically cut out by the thermis- 1. -
Page 73: Tv 551/701 Pump With Standard Rack Controller
TECHNICAL INFORMATION TV 551/701 Pump with Standard Rack WATER COOLING KIT INSTALLATION Controller The water cooling kit mod. 969-9347 or 969-9337 When the TV 551/701 pumps are used with the must be installed when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insuf- standard rack controller, it is necessary to utilize the air cooling kit model 969-9314. -
Page 74: Vent Accessories
TECHNICAL INFORMATION Cooling may be carried out either through an open Then screw the vent valve into the pump and circuit with eventual discharge of the water, or us- tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a ing a closed circuit cooling system. torque of 2.5 Nm. -
Page 75: Vibration Isolator Installation
TECHNICAL INFORMATION Vent Device mod. 969-9831 VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION Six vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories. The four model part numbers are the following: − model 969-9345 for ISO 160 flange; − model 969-9346 for ISO 200 flange; −... -
Page 76: Serial Cable Installation
TECHNICAL INFORMATION and then screw the gas purge valve (with a torque TV 551/701 CONTROLLER INSTALLATION of 2.5 Nm) as shown in the following figure. The controller can be mounted in two position: − bottom mounting (as per the complete system) −... -
Page 77: Connection A - High Vacuum Flange
7. Turn the pump again; For ConFlat flange connections we recommend 8. Plug the line card and connect the pump cable using Varian hardware. to the pump; To facilitate assembly and dismantling, apply Fel- pro C-100 high temperature lubricant to the screw 9. -
Page 78: Connection Configurations
Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s. CAUTION To prevent bearing damage, Varian suggests a minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements. -
Page 79: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
However if the effect is grater, than the case from the system. should be carefully reviewed by Varian's specialist. Turn off the Turbopump. As a matter of fact, in case of high magnetic fields,... - Page 80 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
- Page 81 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Page 82 Fax: (82) 2 3452 2451 Korea China Mexico Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line) Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. vtk.technical.support@varianinc.com Room 1201, Jinyu Mansion Concepcion Beistegui No 109 No. 129A, Xuanwumen Xidajie Col Del Valle Xicheng District C.P.