Table des Matières
Publicité
Liens rapides
Turbo-V70LP
969-9365 series
969-9366 series
969-9367 series
969-9368 series
87-900-862-01(G)
JULY 2006
pumps
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
Publicité
Table des Matières
Manuels Connexes pour Varian 969-9368 Série
Sommaire des Matières pour Varian 969-9368 Série
- Page 1 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI Turbo-V70LP MANUAL DE INSTRUCCIONES pumps MANUAL DE INSTRUÇÕES (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING (DK) INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL 969-9365 series (FIN) OHJEKÄSIKIRJA 969-9366 series (GR) ODHGIES CRHSEWS 969-9367 series FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV 969-9368 series (PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI (CZ) NÁVOD K POUŽITÍ...
- Page 2 Turbo-V 70LP...
-
Page 5: Table Des Matières
ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................4 MODE D’EMPLOI ...............................7 INSTRUCCIONES DE USO ..........................10 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................13 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................16 BRUGSANVISNING ............................19 BRUKSANVISNING............................22 BRUKERVEILEDNING .............................25 KÄYTTÖOHJEET .............................28 PDHGIES CRHSEWS ............................31 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................34 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................37 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................40 NÁVOD K POUŽITIU............................43 NAVODILA ZA UPORABO..........................46 INSTRUCTIONS FOR USE..........................49 TECHNICAL INFORMATION ...........................52 DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ..................52... -
Page 6: Istruzioni Per L'uso
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. - Page 7 0 - 95% (non condensante). Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V 70LP devono PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si (serie 969-9405, 969-9505, 969-9507e 969-9508) e devono...
- Page 8 In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio- ISO 63 Morsetto doppio 22 Nm ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per- con filettatura M10 mette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella Morsetto singolo 11 Nm guasta.
-
Page 9: Gebrauchsanleitung
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. - Page 10 Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus Anschluß der Turbopumpe an die Anlage. dem Text hervorgehoben werden. LAGERUNG Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: • Während des Transports, der Handhabung und der Einla- gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht...
- Page 11 Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist. Drehmoment von 200 Nm um seine eigene Achse aushält, oder den als Option erhältlichen Bausatz für die Befestigung am Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced Sockelteil benutzen exchange service" in Anspruch genommen werden.
-
Page 12: Mode D'emploi
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. - Page 13 En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher, plémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian les mains nues, les éléments devant être exposés au vide. décline par conséquent toute responsabilité en cas d'inobserva- Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
- Page 14 "advanced exchange service", remplir et faire parvenir La turbopompe à bride d’entrée ConFiat doit être fixée à la au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé" annexée à la chambre à vide à l’aide des éléments mécaniques Varian pré- présente notice d'instructions.
-
Page 15: Instrucciones De Uso
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. - Page 16 CEE/399 para la instrucciones y cualquier otra información suplementaria preservación del medio ambiente. facilitada por Varian antes de utilizar el equipo. Varian se considera libre de cualquier responsabilidad debida al ¡ATENCION! incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco apropiado por parte de personal sin adiestrar, a las Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin...
- Page 17 50 ºC. mordazas necesarias y el par de apriete al que han de apretarse. En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite BRIDA TIPO DE MORDAZA PAR DE obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.
-
Page 18: Instruções Para O Uso
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. - Page 19 Varian mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. pela eventual inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por...
- Page 20 Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação FLANGE TIPO DE BORNE N° TORQUE Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite ISO 63 Borne duplo com rosca 22 Nm obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com defeito.
-
Page 21: Gebruiksaanwijzingen
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. - Page 22 Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens ATTENTIE! het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in ontgassingsproblemen voorkomen,...
- Page 23 In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van 22 Nm ISO 63 Dubbele klem Varian of de "Varian advanced exchange service" in te met M10 schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de schroefdraad defecte pomp.
-
Page 24: Brugsanvisning
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. - Page 25 For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de ning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt, eller hvis...
- Page 26 Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af auto- riseret personale. Turbomolekulærpumperne i V 70LP serien må kun anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie 969-9405, 969-9505, 969-9507 eller 969-9508) og skal forbindes med en ADVARSEL! primær pumpe (se skemaet i "Technical Information").
-
Page 27: Bruksanvisning
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. - Page 28 Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras dokumentation från Varian före användning av utrustningen. med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av handskar eller liknande skydd. åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen...
- Page 29 Turbomolekylärpumparna i serien V 70LP måste användas VARNING! med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9405, 969- Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens 9505, 969-9507- eller 969-9508), och anslutas till en förpump strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den...
-
Page 30: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... - Page 31 Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av hansker eller andre og passende verneutstyr.
- Page 32 ADVARSEL! Turbo-V 70LP serien turbo-molekulære pumper må kun brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (969-9405, 969-9505, Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples 969-9507 eller 969-9508), og må koples til hovedpumpen (se tilførselen, den må...
-
Page 33: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-862-01(G) - Page 34 Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin toimittama tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen. laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä...
- Page 35 Seuraava taulukko kuvaa kaikki laippakoot ja Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin kiinnikemallit, kiinnikkeiden tarpeellisen määrän korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka kiristysmomentti. mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen tilalle. LAIPPA KIINNIKE MÄÄRA KIRISTYSMO- ENTTI HUOMAUTUS...
- Page 36 ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
- Page 37 £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikˇ ˇ merikˇ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crˇsh ek m◊rouj anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ˇ crˇsh pou den sumfwne∂...
- Page 38 Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj sugkratˇsei ◊na zeug£ri 200 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj, ˇ Varian ˇ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th crhsimopoiÒntaj kat£llhlo scetikÒ...
-
Page 39: Használati Utasítás
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Page 40 ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem...
- Page 41 M8 kapcsok 11 Nm MEGSEMMISÍTÉS A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. lásd „Műszaki információ”. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű...
-
Page 42: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... - Page 43 Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Varian gołymi rękoma części przeznaczonych do próżni. Należy przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się od zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub...
- Page 44 Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być włożony do zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie opakowania pompy przed jego wysyłką. drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje Jeżeli pompa musi być poddana rozbiórce, należy przystąpić...
-
Page 45: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... - Page 46 Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
- Page 47 Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným informace". "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) Chcete-li připevnit vývěvu její...
-
Page 48: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... - Page 49 Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom...
- Page 50 Upevnite turbovývevu do stabilnej polohy pripojením vstupnej V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte miestne servisné príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby stredisko spoločnosti Varian, kde vám pokazenú vývevu vymenia. vydržala namáhanie krútiacim momentom 200 Nm okolo svojej osi, alebo použite doplnkovú súpravu pre upevnenie pomocou základnej dosky.
-
Page 51: Navodila Za Uporabo
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. OPOZORILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! - Page 52 Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
- Page 53 črpalke pade pod 50 °C. Črpalko lahko namestite v poljuben položaj. V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki Turbo črpalko namestite v stabilem položaj tako, da povežete vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim.
-
Page 54: Instructions For Use
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. - Page 55 Varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, im- proper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
- Page 56 50 °C. The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vac- In the case of breakdown, contact your local Varian service uum chamber by means of clamps or claws. The following table...
-
Page 57: Technical Information
TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP The turbine is made of high-strength, light alumin- ium alloy, and is machined from a single block of The Turbo-V70LP pump is available in four ver- aluminium. The turbine blades have five different sions. The difference between the two versions angles, from 44°... -
Page 58: Technical Specification
75000 RPM Storage - 20° C to + 70° C Start-up time < 60 seconds temperature Recommended mechanical: Varian DS102 Weight kg (lbs) ISO: 1.7 (4) forepump diaphragm: Varian SH100 CFF: 2.5 (4) Operating position * According to standard DIN 28 428, the base pres-... - Page 59 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed against inlet pressure Graph of compression ratio against foreline pressure Graph of nitrogen throughput against inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 87-900-862-01(G)
-
Page 60: Inlet Screen Installation
TECHNICAL INFORMATION The screen can be mounted on either pump series INLET SCREEN INSTALLATION and is supplied with a small tab for easy removal (see figure). The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309 prevent the blades of the pump from being dam- aged by debris greater than 0.7 mm diameter. -
Page 61: Heater Band Installation
TECHNICAL INFORMATION Switch on the heater while the turbopump is in op- HEATER BAND INSTALLATION eration. If, for any reason, the turbopump body overheats, it will be automatically cut out by the thermistor sensor. NOTE The turbopump must be "baked" only when oper- ating with an inlet pressure less than 10 mbar and with water cooling. -
Page 62: Water Cooling Kit Installation
TECHNICAL INFORMATION WATER COOLING KIT INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9337 (me- tallic model), and 969-9347 (plastic model). -
Page 63: Base Fixing Kit Installation
TECHNICAL INFORMATION Insert the three feed as shown in the figure, bear- BASE FIXING KIT INSTALLATION ing in mind that the position must be as indicated in the figure. The kit mod. 969-9326 enables the pump to be fixed at the base. Open the package containing the feet and respec- tive screws. -
Page 64: Air Cooling Kit Installation
TECHNICAL INFORMATION AIR COOLING KIT INSTALLATION SIDE MOUNTING A fan kit model 969-9310 is available for air cool- ing the pump, when natural air convenction is in- sufficient. Fan specification: − air flow: The fan can also be mounted under the pump as 9 l/s (10 CFM) shown in the figure. -
Page 65: Vent Valve Installation
TECHNICAL INFORMATION VENT VALVE INSTALLATION The vent valve mod. 969-9843 enables undesired pump areation during a temporary power failure (5 sec maximum) to be avoided, and enables an automatic vent operation. Unscrew the threaded plug. VENT DEVICE INSTALLATION Screw the adapter (1) into the vent hole (2) of the pump. -
Page 66: Vibration Isolator Installation
TECHNICAL INFORMATION Screw the flange mod. 969-9109 on the pump, tak- TYPICAL LAYOUT DIAGRAM ing care of the o-ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. Turbo-V controller VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION Vent valve A vibration damper model 969-9340 for ISO 63 Vacuum pump shut-off valve (optional) -
Page 67: Connection Configurations
For ConFlat flange connections we recommend using Varian hardware. To facilitate assembly and dismantling, apply Fel- pro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between... -
Page 68: Connection B - Fore-Vacuum Pump
Base fixing kit 969-9326 For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog. The turbopump is connected to the controller through an 6-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ... - Page 69 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
- Page 70 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Page 71 Europe Tel: 00 800 234 234 00 vtt.technical.support@varianinc.com China Mexico Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. Rm 1648 Central Tower South Wing Concepcion Beistegui No 109 Beijing Junefield Plaza China Col Del Valle No. 10 XuanWuMenWai Street Toll-Free: 800 820 8266 C.P.