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Varian Trubeam Manuel De Référence Technique page 162

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Le capteur de vide principal est la jauge du thermocouple, qui est
située dans le bras et qui surveille le niveau de vide. La jauge du
thermocouple fournit une surveillance générale du vide lorsque le
système est à une pression atmosphérique. Cette jauge est dotée d'une
alimentation à fusible de 1 A, fournie avec l'alimentation 125 V c.a.
de la carte de distribution de l'alimentation du bras.
La pression atmosphérique indique une condition « guide d'onde
à air », dans laquelle le vide est perdu et aucun faisceau ne peut être
produit. Si le niveau de vide est à la pression atmosphérique,
un contrôleur BGM déclenche un verrouillage de sécurité.
Vous pouvez surveiller le vide en vérifiant les lectures de données
de vide dans l'écran Service.
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Manuel de référence technique TrueBeam—Volume 1

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Ce manuel est également adapté pour:

Trubeam stx