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4 Installation
4.1 Préparer l'installation
Remarques générales concernant l'installation
► Choisir un lieu d'installation permettant un accès au produit et aux câbles d'alimentation en toute
► Respecter les conditions ambiantes de la zone d'utilisation.
► Utilisez seulement les trou de fixation fournis.
► Ne jamais faire fonctionner l'unité de courant séparément de la pompe turbomoléculaire.
► Vérifiez que la surface réfrigérante de l'unité de courant est raccordée en toute sécurité à la partie
4.2 Raccordement électrique
Risque de blessure fatale lié à un choc électrique causé par une installation incorrecte
L'alimentation électrique de l'appareil utilise des tensions mortelles. Une installation non sécurisée ou
inappropriée peut entraîner des situations dangereuses en raison des électrocutions lors des opéra-
tions avec ou sur l'unité.
► Veiller à l'intégration dans un circuit de sécurité de secours.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant
La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de ré-
seau (interrupteur principal).
► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2.
► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum.
Fig. 3:
1 OPS 400
2 Étrier de retenue
2
1
Tab. 5:
situation.
inférieure de la pompe turbomoléculaire.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT
Alimentation
3
3
PE
Agencement du terminal du connecteur d'alimentation électrique
1
Câble de secteur avec douille
Broche
Affectation
1
Phase L
2
Conducteur neutre
3
non connectée
PE
Conducteur de terre
2
3
Installation
15/30
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