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Betriebsanleitung
Anschluss der Vorvakuumpumpe
Der Vorleitungsanschluss sollte mit dem KF 16 NW-Flansch erfolgen, der auf dem
TwisTorr 305-IC bereitgestellt wird. Die Verbindung zur Vorpumpe kann über einen
Vakuumschlauch oder ein Vakuumrohr hergestellt werden. Wenn ein starres Rohr
verwendet wird, müssen Vibrationen, die von der mechanischen Pumpe erzeugt
werden, mit einem Faltenbalg gedämpft werden.
TwisTorr 305-IC zeichnet sich durch sein hohes Verdichtungsverhältnis auch für
HINWEIS
Öldämpfe aus. Bei Verwendung einer mechanisch ölgedichteten Pumpe ist es
ratsam, zwischen der Turbopumpe und der Vorvakuumpumpe einen geeigneten
Abscheider anzubringen, um ein Zurückströmen von Öl oder Partikeln aus trockenen
Pumpen zu verhindern.
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Agilent TwisTorr 305-IC User Manual
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