Table des Matières
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取扱説明書
フォア真空ポンプの接続
フォアラインの接続は、TwisTorr 305-IC上に提供されるKF 16 NW フランジを使
用して行ってください。フォアラインポンプの接続は、真空定格ホースまたはパ
イプで行うこともできます。もし硬いパイプが使用された場合、機械ポンプによ
り発生したいかなる振動も、下記の使用により減衰されなければなりません。
TwisTorr 305-IC は、 その高圧縮比とオイル蒸気が特徴的です。機械油密封式ポ
注
ンプを使用する時、
オイルまたは微粒子が乾燥したポンプより逆流するのを避けるために、
ターボポンプと補助真空ポンプの間に適切なトラップを取り付けることを推奨し
ます。
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Agilent TwisTorr 305-IC User Manual
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