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Agilent TwisTorr 305-IC Manuel De L'utilisateur

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Sommaire des Matières pour Agilent TwisTorr 305-IC

  • Page 1 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 2 A WARNING notice denotes a hazard. Should Agilent and the user have a It calls attention to an operating Agilent Technologies Italia S.p.A. separate written agreement with procedure, practice, or the like that, if...

  • Page 3: Table Des Matières

    Fissaggio della TwisTorr 305-IC Collegamento della flangia per alto vuoto Installazione della flangia ISO-K Installazione della flangia ConFlat Collegamento della pompa di pre-vuoto Avvio e funzionamento della TwisTorr 305-IC Soft Start Arresto della TwisTorr 305-IC Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 4 Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis Warnsymbole Sicherheit Sachgemäße Verwendung Unsachgemäße Anwendung Schutzausrüstung Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen Transport und Lagerung Produktbeschreibung Installation Vorbereitung zum Einbau Einrichten Montage von TwisTorr 305-IC Anschluss des Hochvakuumflansches Installation des ISO-K-Flansches Installation des ConFlat-Flansches Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 5 Contents Anschluss der Vorvakuumpumpe Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305-IC Sanftanlauf Stoppen des TwisTorr 305-IC Notausschaltung Wartung Rotordauer Reinigung Entsorgung Service Mode d’emploi À propos de ce manuel Validité Définitions et terminologie Signification des messages d’attention, d’avertissement et des notes Symboles d'avertissement Sécurité...
  • Page 6 Raccordement de la bride à vide élevé Installation de la bride ISO-K Installation de la bride ConFlat Raccordement de la bride à vide préliminaire Démarrage et utilisation de la TwisTorr 305-IC Démarrage progressif Arrêt de la TwisTorr 305-IC Arrêt d’urgence Entretien Durée de vie du rotor...
  • Page 7 Conexión de la brida de alto vaciado Instalación de la brida ISO-K Instalación de la brida ConFlat Conexión de la bomba pre-vaciado Puesta en marcha y funcionamiento de la TwisTorr 305-IC Arranque suave (“Soft Start”) Parada de la TwisTorr 305-IC Parada de emergencia...
  • Page 8 Contents 使用不当 防护设备 涡轮分子泵安全指南 运输及存储 产品描述 安装 安装准备 设置 TwisTorr 305-IC 的安装 高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 ConFlat 法兰的安装 前真空泵的连接 TwisTorr 305-IC 的启动和运行 慢启动 停止 TwisTorr 305-IC 紧急停止 维护 转子寿命 清洗 处置 服务 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 9 定義と用語 警告・注意・注の定義 警告の記号 安全性 適切な使用 不適切な使用 保護用装備 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 移送＆保管 製品説明 取り付け 取り付けの準備 セットアップ TwisTorr 305-IC 実装 高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け ConFlat フランジの取り付け フォア真空ポンプの接続 TwisTorr 305-IC の起動開始と操作 ソフトスタート TwisTorr 305-IC を停止する 緊急停止 メンテナンス ローターの寿命 クリーニング 処分 サービス Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 10 TwisTorr 305-IC Mounting Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange Installation of ConFlat Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump Startup and Operation of the TwisTorr 305-IC Soft Start Stopping the TwisTorr 305-IC Emergency stop Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 11 Contents Maintenance Rotor life Cleaning Disposal Service Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC Technical specification TwisTorr 305-IC Outline Pump Operations Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation (only for air cooled pumps) Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps)
  • Page 12 Contents How to Connect the Controller Outputs RS485/RS232 communication description Windows Protocol Example Window Description NFC Function Screenshot APP Connection through USB port Error messages Warning messages Accessories and Spare Parts Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 13: Istruzioni Per L'uso

    Fissaggio della TwisTorr 305-IC Collegamento della flangia per alto vuoto Installazione della flangia ISO-K Installazione della flangia ConFlat Collegamento della pompa di pre-vuoto Avvio e funzionamento della TwisTorr 305-IC Soft Start Arresto della TwisTorr 305-IC Arresto di emergenza Manutenzione Vita del rotore...

  • Page 14: Informazioni Su Questo Manuale

    Informazioni su questo manuale Validità Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti della TwisTorr 305-IC, con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l’utente è responsabile.

  • Page 15: Definizioni E Terminologia

    I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una AVVERTENZA procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su NOTA passaggi specifici. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 16: Simboli Di Avvertenza

    Simboli di avvertenza Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi della TwisTorr 305-IC. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono. Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso...
  • Page 17 Porta USB Messa a terra protettiva Non toccare Near Field Communication (antenna dello smartphone) Certificazione CE Certificazione CSA Limitazione della Certificazione delle Sostante Pericolose Certificazione RoHS China Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche Marcatura UK CA Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 18: Sicurezza

    Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la sicurezza fisica dell'operatore o di terzi, derivanti dal mancato rispetto delle norme di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.

  • Page 19: Uso Improprio

    Istruzioni per l’uso Uso improprio Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall’uso improprio della TwisTorr 305-IC. L’uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità e garanzie. L’uso improprio è definito come: installazione della pompa con materiale di montaggio non specificato ...

  • Page 20: Attrezzatura Di Protezione

    Inoltre, deve soddisfare i requisiti di sicurezza della legislazione in vigore nel paese in cui viene utilizzata la macchina. In generale, l'operatore deve indossare scarpe antinfortunistiche durante la manipolazione della TwisTorr 305-IC e durante l'installazione. Pericolo per la salute a causa di sostanze pericolose durante la AVVERTENZA manutenzione o l’installazione.

  • Page 21: Linee Guida Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    La pompa è progettata per un elevato trasferimento di N2, Ar e gas leggeri. Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti di Ar, rivolgersi al supporto tecnico Agilent per informazioni. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 22: Trasporto & Immagazzinamento

    Trasporto & Immagazzinamento Al fine di garantire il massimo livello di prestazioni e affidabilità delle pompe turbomolecolari Agilent, è necessario seguire le seguenti line guida per evitare la condensa. Durante la spedizione, lo spostamento e lo stoccaggio delle pompe, non ...

  • Page 23: Descrizione Del Prodotto

    Questa attrezzatura è destinata all'uso professionale e deve essere utilizzata da professionisti. La TwisTorr 305-IC è una pompa turbomolecolare per applicazioni con vuoto elevato e altissimo che è in grado di pompare qualsiasi tipo di gas o composto di gas non corrosivo e ossidante.

  • Page 24: Installazione

    Istruzioni per l’uso Installazione Preparazione per l’installazione La TwisTorr 305-IC viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Evitare impatti improvvisi sulla TwisTorr 305-IC in seguito alla caduta della pompa.
  • Page 25 Istruzioni per l’uso Figura 1 Imballo della TwisTorr 305-IC Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 26: Set-Up

    Istruzioni per l’uso Set-up La TwisTorr 305-IC è un dispositivo elettronico sensibile alle scariche ATTENZIONE elettrostatiche e, per questo motivo, viene fornito in una custodia protettiva con tappi sulla connessione USB oltre che sulla connessione DB15. Rimuovere questi cappucci protettivi solo quando si collega la pompa al controller.

  • Page 27: Fissaggio Della Twistorr 305-Ic

    3 conduttori (Fase+Neutro+Terra). La sezione del cavo deve essere almeno di 0,75 mm (AWG18). La TwisTorr 305-IC non può essere fissata tramite la sua base, nè tramite altre ATTENZIONE flange che non siano di inlet. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 28: Collegamento Della Flangia Per Alto Vuoto

    AVVERTENZA da quelle consigliate da Agilent, esiste la possibilità che la TwisTorr 305-IC ruoti e si distacchi nel caso in cui il rotore si arresti improvvisamente. La combinazione di diversi tipi di flangia non è consentita. Agilent non si assume alcuna responsabilità per tutti i danni derivanti da un fissaggio improprio.

  • Page 29: Installazione Della Flangia Iso-K

    (è possibile utilizzare facoltativamente uno schermo protettivo). Figura 3 Utilizzare il numero richiesto di morsetti artiglio: 4 per la flangia ISO 100  4 per la flangia ISO 160  Stringere i bulloni con una coppia di 22 Nm Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 30: Installazione Della Flangia Conflat

    In alcuni casi, i collegamenti possono essere effettuati solo con il bullone nella parte inferiore. Prestare attenzione quando si serrano dadi e bulloni per evitare di creare ATTENZIONE ammaccature sull'involucro della pompa turbomolecolare. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 31: Collegamento Della Pompa Di Pre-Vuoto

    La TwisTorr 305-IC è caratterizzata da un elevato rapporto di compressione anche NOTA per i vapori d'olio. Quando si utilizza una pompa meccanica a tenuta d'olio, è...

  • Page 32: Avvio E Funzionamento Della Twistorr 305-Ic

    Istruzioni per l’uso Avvio e funzionamento della TwisTorr 305-IC Per accendere la TwisTorr 305-IC tramite il controller di bordo, fornire alla pompa la tensione di alimentazione corretta e agire sui segnali “START” e “INTERLOCK”. Una volta riconosciuti questi segnali, il controller avvia la pompa.
  • Page 33 STARTING (RAMP)/AUTO TUNING 305-IC ON, velocità target raggiunta, stato: ON, Luce fissa NORMAL OP. On, lampeggiante 305-IC ON, riduzione velocità, stato: BRAKING Nessun avviso Giallo Avviso ON, Luce fissa Rosso Nessun malfunzionamento Malfunzionamento ON, Luce fissa Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 34 Di conseguenza, se il motivo del malfunzionamento è stato risolto, alla ricezione del nuovo comando START, lo stato della luce a led rosso verrà immediatamente spento e la TwisTorr 305-IC funzionerà correttamente, mostrando lo stato (sulla comunicazione seriale. e dalle indicazioni led verdi) che sono appropriate alle condizioni di lavoro attuali (RAMP, NORMAL, ecc.).

  • Page 35: Soft Start

    (solid green light) emessa dal LED indica il raggiungimento della velocità massima e del completamento della rampa di avvio in Soft Start. Fare riferimento alla sezione “Avvio e funzionamento della TwisTorr 305-IC” di questo manuale per dettagli sulla sinottica dei LED.

  • Page 36: Arresto Della Twistorr 305-Ic

    Arresto della TwisTorr 305-IC Per arrestare la TwisTorr 305-IC, non in emergenza, è necessario: a) se la TwisTorr 305-IC è configurata in REMOTE MODE, e INTERLOCK è impostato su CONTINUOUS MODE, agire sul segnale “START” o agire sul segnale “INTERLOCK”;...

  • Page 37: Manutenzione

    Come misura precauzionale, considerando l’utilizzo tipico della pompa e tenendo conto dei limiti di sicurezza, Agilent consiglia di restituire la pompa dopo 17 anni di utilizzo per la manutenzione. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 38: Pulizia

    Istruzioni per l’uso Pulizia La superficie esterna della TwisTorr 305-IC può essere pulita solo con un detergente delicato. Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE".

  • Page 39: Servizio Post Vendita

    È necessario completare il modulo “Request for Return” per restituire il prodotto ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale). Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 40: Betriebsanleitung

    Produktbeschreibung Installation Vorbereitung zum Einbau Einrichten Montage von TwisTorr 305-IC Anschluss des Hochvakuumflansches Installation des ISO-K-Flansches Installation des ConFlat-Flansches Anschluss der Vorvakuumpumpe Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305-IC Sanftanlauf Stoppen des TwisTorr 305-IC Notausschaltung Wartung Rotordauer Reinigung Entsorgung Service Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 41: Informationen Über Diese Betriebsanleitung

    Informationen über diese Betriebsanleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung enthält die Anweisungen für die Benutzer der TwisTorr 305-IC mit besonderer Bezugnahme auf die Begriffe für Sicherheit, Betrieb und Wartung auf der ersten Ebene, auf die Wartungsarbeiten beschränkt, für die der Benutzer verantwortlich ist.

  • Page 42: Definitionen Und Terminologie

    Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf ein WARNUNG Verfahren oder einen spezifischen Vorgang, der schwere Verletzungen von Personen zur Folge haben könnte, wenn er nicht korrekt ausgeführt wird. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen und liefern weitere Details über HINWEIS spezifische Arbeitsschritte. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 43: Warnsymbole

    Warnsymbole Das Folgende ist eine Liste von Symbolen, die in Verbindung mit den Warnungen auf dem TwisTorr 305-IC angezeigt werden. Die von ihnen beschriebene Gefahr wird ebenfalls angezeigt. Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin. Die Bedeutung der Symbole, die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst erscheinen...
  • Page 44 Die folgenden Symbole werden zu Ihrer Information auf dem Instrument angezeigt. Netz einschalten Wenn rot, bedeutet dies eine Fehlfunktion Wenn gelb, bedeutet dies eine Warnung USB-Anschluss Schutzerdungsklemme Nicht berühren Nahfeldkommunikation (Antenne des Smartphones) CE-Zertifizierung CSA-Zertifizierung Beschränkung gefährlicher Stoffe RoHS-Chinazertifizierung Elektro- und Elektronikaltgeräte UK CA-Kennzeichnung Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 45: Sicherheit

    Sicherheitsbedingungen ineffizient machen und Unfälle bei den Bedienern der Maschine verursachen. Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung für Schäden an der Maschine oder für die physische Sicherheit des Bedieners oder Dritter ab, die sich aus der Nichtbeachtung der in den technischen Unterlagen angegebenen Sicherheitsregeln ergeben.

  • Page 46: Unsachgemäße Anwendung

    Betriebsanleitung Unsachgemäße Anwendung Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung ab, die sich aus der unsachgemäßen Benutzung vom TwisTorr 305-IC ergibt. Bei unsachgemäßer Verwendung verfallen alle Haftungs- und Gewährleistungsansprüche. Unsachgemäße Verwendung ist definiert als. Installation der Pumpe mit nicht spezifiziertem Befestigungsmaterial ...

  • Page 47: Schutzausrüstung

    Sicherheitsanforderungen der in dem Land, in dem die Maschine verwendet wird, geltenden Rechtsvorschriften entsprechen. Im Allgemeinen muss der Bediener beim Umgang mit dem TwisTorr 305-IC und während der Installation Unfallverhütungsschuhe tragen. Gesundheitsgefahr durch gefährliche Stoffe bei Wartung oder Installation WARNUNG •...

  • Page 48: Sicherheitsrichtlinie Für Turbomolekularpumpen

    Die Pumpe ist entworfen worden, um Stickstoff, Argon und leichtere Gase zu pumpen. Sollte die Notwendigkeit bestehen, schwereres Gas als Argon pumpen zu müssen, wenden Sie sich bitte für Informationen an den Technischen Kundendienst der Agilent. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 49: Transport Und Lagerung

    Betriebsanleitung Transport und Lagerung Um die maximale Leistung und Zuverlässigkeit von Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, müssen die folgenden Richtlinien beachtet werden, um Kondensation zu vermeiden: Beim Versand, Transport und der Lagerung von Pumpen sollten die folgenden  Umgebungsbedingungen nicht überschritten werden: Temperaturbereich: Von -40 °C bis 70 °C...

  • Page 50: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch und für den professionellen Gebrauch bestimmt. TwisTorr 305-IC ist eine Turbomolekularpumpe für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen, die alle Arten von nicht korrosiven und oxidierenden Gasen oder Gasverbindungen fördern kann. Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine (max.

  • Page 51: Installation

    Ihr lokales Verkaufsbüro, wenn dies Anzeichen von Schäden zeigt, die während des Transports aufgetreten sein können. Vermeiden Sie plötzliche Stöße auf den TwisTorr 305-IC, die durch Herunterfallen verursacht werden können. Bewahren Sie den Verpackungskarton auf, um ihn bei längerer Lagerung oder beim Versand wieder verwenden zu können.
  • Page 52 Betriebsanleitung Abbildung 6 TwisTorr 305-IC-Verpackung Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 53: Einrichten

    Betriebsanleitung Einrichten TwisTorr 305-IC ist ein gegen elektrostatische Entladungen empfindliches VORSICHT elektronisches Gerät und wird bis zu diesem Zeitpunkt in einer Schutzhülle mit Kappen am USB-Anschluss sowie am DB15-Anschluss geliefert. Entfernen Sie diese Schutzkappen nur, wenn Sie die Pumpe an den Controller anschließen.

  • Page 54: Montage Von Twistorr 305-Ic

    Sachschäden oder schweren oder tödlichen Verletzungen führen kann. TwisTorr 305-IC kann in jeder Position installiert werden. Befestigen Sie den TwisTorr 305-IC in einer stabilen Position und montieren Sie den Einlassflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems, wobei die Verbindung ein Drehmoment von 1000 Nm um deren Achse aushalten kann.

  • Page 55: Anschluss Des Hochvakuumflansches

    Wenn die Pumpe an einer Vakuumkammer mit Flanschen befestigt ist, die WARNUNG von den von Agilent empfohlenen Flanschen abweichen, besteht die Möglichkeit, dass sich der TwisTorr 305-IC dreht oder abreißt, falls der Rotor plötzlich stoppt. Die Kombination verschiedener Flanschtypen ist nicht zulässig. Agilent übernimmt keine Haftung für alle Schäden, die durch unsachgemäße Befestigung entstehen.

  • Page 56: Installation Des Iso-K-Flansches

    Abbildung dargestellt (optional kann ein Schutzgitter verwendet werden). Abbildung 8 Verwenden Sie die erforderliche Anzahl von Klauenklemmen: 4 für ISO 100 Flansch  4 für ISO 160 Flansch  Ziehen Sie die Schrauben mit einem Drehmoment von 22 Nm an. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 57: Installation Des Conflat-Flansches

    Flansch herausragenden Schraubengewinde aufgetragen werden. In einigen Fällen können die Verbindungen nur mit dem Bolzen in der unteren Seite hergestellt werden. Gehen Sie beim Anziehen der Schrauben und Muttern vorsichtig vor, um Dellen VORSICHT am Turbomolekularpumpengehäuse zu vermeiden. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 58: Anschluss Der Vorvakuumpumpe

    Anschluss der Vorvakuumpumpe Der Vorleitungsanschluss sollte mit dem KF 16 NW-Flansch erfolgen, der auf dem TwisTorr 305-IC bereitgestellt wird. Die Verbindung zur Vorpumpe kann über einen Vakuumschlauch oder ein Vakuumrohr hergestellt werden. Wenn ein starres Rohr verwendet wird, müssen Vibrationen, die von der mechanischen Pumpe erzeugt werden, mit einem Faltenbalg gedämpft werden.

  • Page 59: Inbetriebnahme Und Betrieb Des Twistorr 305-Ic

    Betriebsanleitung Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305-IC Um den TwisTorr 305-IC über die integrierten Controller einzuschalten, versorgen Sie die Pumpe mit der richtigen Versorgungsspannung und wirken Sie auf die Signale „START“ und „INTERLOCK“ ein. Sobald diese Signale erkannt werden, startet die Steuerung die Pumpe.
  • Page 60 Ein, invers blinkt STARTEN (RAMP)/AUTO TUNING Ein, Dauerhaftes 305-IC ON, Zielgeschwindigkeit erreicht, Status: Licht NORMAL OP 305-IC ON, Geschwindigkeitsreduzierung, Status: Ein, blinkend BREMSEN Gelb Keine Warnung Warnung Ein, Dauerhaftes Licht keine Funktionsstörung Störung Ein, Dauerhaftes Licht Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 61 Wenn der Grund für die Störung behoben wurde, wird der Status der roten LED-Leuchte beim Empfang des neuen START-Befehls sofort ausgeschaltet und der TwisTorr 305-IC wird ordnungsgemäß betrieben und zeigt den Status an (auf der seriellen Kommunikationsschnittstelle und durch die grüne LED-Anzeige), die dem aktuellen Arbeitszustand (RAMP, NORMAL...

  • Page 62: Sanftanlauf

    (kein Blinken), bedeutet dies, dass der Startvorgang erfolgreich abgeschlossen wurde. Weitere Informationen zur Bedeutung der LED-Anzeigen finden Sie im Abschnitt "Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305-IC" in dieser Anleitung. Dieser Modus kann manuell mit dem seriellen Befehl WIN100 aktiviert WARNUNG werden.

  • Page 63: Stoppen Des Twistorr 305-Ic

    Betriebsanleitung Stoppen des TwisTorr 305-IC Wenn sich die TwisTorr 305-IC nicht im Notbetrieb befindet, muss sie wie folgt angehalten werden: a) ist die TwisTorr 305-IC als REMOTE MODE eingerichtet und die VERRIEGELUNG auf DAUERBETRIEB eingestellt, dann betätigen Sie das Signal "START" oder das Signal "INTERLOCK";...

  • Page 64: Wartung

    überarbeitetes System erhalten, um das ausgefallene System zu ersetzen. Das Ersatzteil der 305 FSQ & SF wird zum Zeitpunkt der Bestellung versandt. Schicken Sie daraufhin die nicht funktionierende TwisTorr 305-IC in dem Karton zurück, in dem das Ersatzteil der TwisTorr 305-IC war.

  • Page 65: Reinigung

    Betriebsanleitung Reinigung Die Außenfläche des TwisTorr 305-IC darf nur mit einem milden Reinigungsmittel gereinigt werden. Entsorgung Bedeutung des „WEEE“ Logos auf den Schildern. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EG-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt NICHT zusammen mit Haushalts- oder Industriemüll entsorgt werden darf,...

  • Page 66: Service

    Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt and die Email-Adresse vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des "Request for Return" formulars ist erforderlich, um die Pumpe zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben). Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 67: Mode D'emploi

    Raccordement de la bride à vide élevé Installation de la bride ISO-K Installation de la bride ConFlat Raccordement de la bride à vide préliminaire Démarrage et utilisation de la TwisTorr 305-IC Démarrage progressif Arrêt de la TwisTorr 305-IC Arrêt d’urgence Entretien Durée de vie du rotor...

  • Page 68: À Propos De Ce Manuel

    À propos de ce manuel Validité Le présent manuel contient les instructions destinées aux utilisateurs de la TwisTorr 305-IC, notamment celles relatives à la sécurité, au fonctionnement et à la maintenance de premier niveau, dans la limite des activités de maintenance incombant à l’utilisateur.

  • Page 69: Définitions Et Terminologie

    Les messages d’avertissement attirent l’attention de l’opérateur sur AVERTISSEMENT une procédure ou une pratique particulière qui, si elle n’est pas effectuée correctement, peut entraîner de graves blessures. Les remarques contiennent des informations importantes et fournissent des NOTE précisions sur certains passages particuliers. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 70: Symboles D'avertissement

    Mode d’emploi Symboles d'avertissement Voici une liste de symboles qui apparaissent en conjonction avec les avertissements sur la TwisTorr 305-IC. Le danger qu’ils décrivent est également illustré. Le symbole triangulaire indique un avertissement. Les significations des symboles qui peuvent apparaître à côté des avertissements dans la documentation ou sur l’appareil lui-même sont les suivantes.
  • Page 71 Borne de mise à la terre de protection Ne pas toucher Communication en champ proche (antenne de smartphone) Certification CE Certification CSA Restriction de la certification des substances dangereuses Certification RoHS Chine Déchets d’équipements électriques et électroniques Marquage UK CA Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 72: Sécurité

    à ceux qui utilisent la machine. Agilent Technologies décline toute responsabilité pour les dommages causés à la machine ou pour la sécurité physique de l’opérateur ou des tiers résultant du non- respect des règles de sécurité...

  • Page 73: Utilisation Inappropriée

    Mode d’emploi Utilisation inappropriée Agilent Technologies décline toute responsabilité en raison de l’utilisation inappropriée de la TwisTorr 305-IC. Une utilisation inappropriée entraînera l’annulation de toutes les créances et garanties. Une utilisation inappropriée est définie comme suit : installation de la pompe avec un matériau de montage non spécifié ;...

  • Page 74: Équipements De Protection Individuelle

    En règle générale, l’opérateur doit porter des chaussures de sécurité pendant la manipulation de la TwisTorr 305-IC et pendant son installation. Danger pour la santé en raison de la présence de substances AVERTISSEMENT dangereuses pendant la maintenance ou l’installation.

  • Page 75: Directive De Sécurité Pour Les Pompes Turbomoléculaire

    La pompe est conçue pour pomper de l'azote, de l'argon et des gaz plus légers. En cas de nécessité de pomper des gaz plus lourds que l'argon, veuillez prendre contact avec l'assistance technique de Agilent pour plus d'informations. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 76: Transport Et Entreposage

    60 jours de la pompe. Si, pour une raison quelconque, la durée de conservation est dépassée, la ATTENTION pompe doit être retournée à l’usine. Contacter le représentant local Agilent Vacuum Sales and Service pour plus d’informations. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 77: Description Du Produit

    Cet équipement est destiné à un usage professionnel et doit être utilisé par des professionnels. TwisTorr 305-IC est une pompe turbomoléculaire pour les applications à vide élevé et ultra-élevé capable de pomper tout type de composé gazeux ou gazeux non corrosif et oxydant.

  • Page 78: Installation

    Si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. Éviter les impacts soudains sur la TwisTorr 305-IC qui seraient causés par la chute. Veiller à entretenir le carton d’emballage afin de le réutiliser en cas de stockage de longue durée ou d’expédition.
  • Page 79 Mode d’emploi Figure 11 Emballage de la TwisTorr 305-IC Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 80: Configuration

    Mode d’emploi Configuration La TwisTorr 305-IC est un appareil électronique sensible aux ATTENTION décharges électrostatiques, et, à ce point, il est livré dans un sac de protection avec des capuchons sur le raccord USB ainsi que sur le raccord DB15. Retirer ces capuchons de protection uniquement lors du raccordement de la pompe au contrôleur.

  • Page 81: Montage De La Twistorr 305-Ic

    Câble d’alimentation : le cable destine au raccordement électrique doit avoir trois conducteurs (Phase+Neutre+Terre). La section du cable doit être de 0,75 mm² minimum (AWG18). La TwisTorr 305-IC ne peut pas être fixée par sa base ni par des brides autres ATTENTION que celles d’entrée.

  • Page 82: Raccordement De La Bride À Vide Élevé

    AVERTISSEMENT brides différentes de celles recommandées par Agilent, la TwisTorr 305-IC risque de se tordre ou de se déchirer en cas d’arrêt soudain du rotor. La combinaison de différents types de brides n’est pas autorisée. Agilent n’acceptera aucune responsabilité pour tous les dommages résultant d’une mauvaise fixation.

  • Page 83: Installation De La Bride Iso-K

    être utilisé en option). Figure 13 Utiliser le nombre requis de brides de serrage : 4 pour la bride ISO 100  4 pour la bride ISO 160  Serrez les boulons au couple de 22 Nm. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 84: Installation De La Bride Conflat

    Dans certains cas, les raccordements peuvent être faits seulement avec le boulon dans le côté inférieur. Faire preuve de prudence lors du serrage des écrous et des boulons pour éviter ATTENTION de créer des bosselures sur le boitier de la pompe turbomoléculaire. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 85: Raccordement De La Bride À Vide Préliminaire

    Le raccordement avant doit être effectué à l’aide de la bride KF 16 NW fournie sur la TwisTorr 305-IC. Le raccordement à la pompe de première ligne peut être fait par un tuyau ou conduit de vide. Si un tuyau rigide est utilisé, toute vibration générée par la pompe mécanique doit être amortie par l’utilisation de soufflets.

  • Page 86: Démarrage Et Utilisation De La Twistorr 305-Ic

    DB15 monté sur l’unité de commande. Il peut être utilisé, après câblage approprié, à la fois pour brancher le TwisTorr 305-IC à la source d’alimentation et aux accessoires (ventilateur de refroidissement, valves de purge) mais aussi à...
  • Page 87 305-IC Allumé, vitesse cible atteinte, constant statut : OP. NORMALE 305-IC Allumé, réduction de la vitesse, Allumé, clignotant statut : FREINAGE Jaune Éteint Aucune alerte Avertissement ALLUMÉ, voyant constant Rouge Éteint Aucun dysfonctionnement Dysfonctionnement ALLUMÉ, voyant constant Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 88 été résolue, lors de la réception de la nouvelle commande START, l’état du voyant rouge sera immédiatement désactivé et la TwisTorr 305-IC fonctionnera correctement, indiquant l’état (sur la comm. en série et par les indications LED vertes) qui est adapté à la condition de travail actuelle (RAMP, NORMAL, etc.).

  • Page 89: Démarrage Progressif

    Quand la LED VERTE reste allumée fixe (absence de clignotement), cela signifie que le mode Soft Start s’est achevé avec succès. Consulter la section «Démarrage et utilisation de la TwisTorr 305-IC » dans ce manuel pour de plus amples informations sur la signification des voyants LED.

  • Page 90: Arrêt De La Twistorr 305-Ic

    Pour arrêter la TwisTorr 305-IC, en dehors d’une situation d’urgence, il faut: a) si la TwisTorr 305-IC est configurée en REMOTE MODE et qu’INTERLOCK est paramétré sur CONTINUOUS MODE, intervenir sur le signal « START » ou sur le signal « INTERLOCK » ;...

  • Page 91: Entretien

    La pièce de rechange de la TwisTorr 305-IC est expédiée au moment de la commande. Il faut donc renvoyer la TwisTorr 305-IC défaillante dans la boîte qui contenait la pièce de rechange de la TwisTorr 305-IC.

  • Page 92: Nettoyage

    Mode d’emploi Nettoyage La surface extérieure de la TwisTorr 305-IC ne peut être nettoyée qu’avec un détergent doux. Élimination Signification du logo « DEEE » présent sur les étiquettes. Le symbole représenté ci-dessous est apposé conformément à la directive CE dite «...

  • Page 93: Service

    à: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de “Request for Return” pour retourner votre pompe à Agilent pour l’entretien (fourni à la fin du présent manuel). Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 94: Instrucciones De Uso

    Conexión de la brida de alto vaciado Instalación de la brida ISO-K Instalación de la brida ConFlat Conexión de la bomba pre-vaciado Puesta en marcha y funcionamiento de la TwisTorr 305-IC Arranque suave (“Soft Start”) Parada de la TwisTorr 305-IC Parada de emergencia...

  • Page 95: Acerca Del Manual

    Validez Este manual enumera las instrucciones para los usuarios de la bomba TwisTorr 305-IC, con particular referencia a la información relacionada con la seguridad, la operación y el mantenimiento de primer nivel que está limitado a las operaciones de mantenimiento que son responsabilidad del usuario.

  • Page 96: Definiciones Y Terminología

    Las notas están previstas para llamar la atención sobre información importante y NOTA proporcionar más detalles en relación con pasos específicos. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 97: Símbolos De Advertencia

    Símbolos de advertencia La siguiente es una lista de los símbolos que aparecen en conjunto con las advertencias en la bomba TwisTorr 305-IC. También se muestra el peligro que describen. Un símbolo triangular indica una advertencia. Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la documentación son los siguientes:...
  • Page 98 Puerto USB Terminal protectora de tierra No tocar Near Field Communication (antena de smartphone) Certificación CE Certificación CSA Certificación de Restricción de Sustancias Peligrosas Certificación China RoHS Equipo de Desecho Eléctrico y Electrónico Marca UK CA Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 99: Seguridad

    Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad por daños a la máquina o la seguridad física del operario o terceras partes derivados del incumplimiento de las reglas de seguridad indicadas en la documentación técnica.

  • Page 100: Uso Incorrecto

    Instrucciones de uso Uso incorrecto Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad derivada del uso incorrecto de la TwisTorr 305-IC. El uso incorrecto anulará todas las reclamaciones por responsabilidad y garantías. El uso incorrecto se define como: instalación de la bomba con el material de montaje incorrecto ...

  • Page 101: Equipo De Protección

    Además, debe cumplir con los requisitos de seguridad de la legislación vigente en el país en donde se utiliza el equipo. En general, el operador debe usar zapatos antiaccidentes durante la instalación y manipulación de la bomba TwisTorr 305-IC. Peligro para la salud debido a la presencia de sustancias peligrosas ADVERTENCIA durante el mantenimiento o la instalación.

  • Page 102: Pautas De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    La bomba está diseñada para bombear Nitrógeno, Argón y gases más livianos. En caso de que surja la necesidad de bombear gases más pesados que el Argón, se solicita contactar con la Asistencia Técnica de Agilent para obtener información. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 103: Transporte Y Almacenamiento

    Instrucciones de uso Transporte y almacenamiento Para garantizar el máximo nivel de rendimiento y fiabilidad de las bombas turbomoleculares de Agilent, las siguientes pautas deben seguirse para evitar la condensación. cuando se envíen, mueve o almacenen las bombas, no deberán excederse las ...

  • Page 104: Descripción Del Producto

    Este equipo está destinado a uso profesional y deberá ser utilizado por profesionales. La TwisTorr 305-IC es una bomba turbomolecular para aplicaciones de vacío ultra alto que puede bombear cualquier tipo de gas o compuesto de gas no corrosivo y oxidante.

  • Page 105: Instalación

    Evite impactos repentinos a la TwisTorr 305-IC que podrían ser causados al dejarla caer. Tenga cuidado de guardar la caja de embalaje para reutilizarla en caso de almacenamiento durante largos períodos de tiempo o en caso de envío.
  • Page 106 Instrucciones de uso Figura 16 Embalaje de la TwisTorr 305-IC Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 107: Puesta En Marcha

    Instrucciones de uso Puesta en marcha La TwisTorr 305-IC es un dispositivo electrónico sensible a las descargas PRECAUCIÓN electrostáticas y, por este motivo, está equipada con bolsas protectoras con tapas en la conexión USB y en la conexión DB15. Extraiga estas tapas protectoras solo cuando conecte la bomba al controlador.

  • Page 108: Montaje De La Twistorr 305-Ic

    La TwisTorr 305-IC puede ser instalada en cualquier posición. Fije la TwisTorr 305-IC en una posición estable, montando la brida de entrada de la turbobomba en el sistema de la contrabrida, con una conexión capaz de soportar una torsión de 1000 Nm alrededor de su eje.

  • Page 109: Conexión De La Brida De Alto Vaciado

    Si la bomba está fijada a una cámara de vacío con bridas diferentes a ADVERTENCIA las recomendadas por Agilent, es posible que la TwisTorr 305-IC se tuerza o se rompa si el rotor se detiene de repente. La combinación de diferentes tipos de bridas no está...

  • Page 110: Instalación De La Brida Iso-K

    Figura 18 Utilice el número de pinzas de garra requerido: 4 para brida ISO 100  4 para brida ISO 160  Ajustar los tornillos con un par de 22 Nm. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 111: Instalación De La Brida Conflat

    En algunos casos, las conexiones solo pueden hacerse con el tornillo en la cara inferior. Tenga cuidado cuando apriete las tuercas y tornillos para evitar abollar la PRECAUCIÓN carcasa de la bomba turbomolecular. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 112: Conexión De La Bomba Pre-Vaciado

    La TwisTorr 305-IC está caracterizada por su tasa de compresión alta y por sus NOTA vapores de aceite. Cuando utilice una bomba mecánica sellada con aceite, es aconsejable instalar un colector adecuado entre la turbobomba y la bomba de prevacío para evitar que se salga el aceite o el particulado de las bombas secas.

  • Page 113: Puesta En Marcha Y Funcionamiento De La Twistorr 305-Ic

    Puesta en marcha y funcionamiento de la TwisTorr 305-IC Para encender la TwisTorr 305-IC IC a través de los controladores abordo, proporcione la bomba con la tensión de alimentación y la acción en las señales "START" e "INTERLOCK". Una vez estas señales sean reconocidas el controlador iniciará la bomba.
  • Page 114 305-IC ON, velocidad meta alcanzada, estado: ON, luz continua NORMAL OP Encendido, 305-IC ON, reducción velocidad, estado: BRAKING parpadeando Amarillo Apagado No advertencia Advertencia ON, luz continua Rojo Apagado No avería Avería ON, luz continua Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 115 Cuando la razón de la advertancia haya sido resuelta, la luz led amarilla se apagará inmediatamente, y en la mayoría de los casos, el usuario no necesita realizar ninguna otra acción en la TwisTorr 305-IC. Solo en muy pocos casos, para poder reiniciar la señal de advertencia, el usuario tiene que apagar la unidad.

  • Page 116: Arranque Suave ("Soft Start")

    LED VERDE está fija (sin parpadear), significa que el modo soft start se ha completado con éxito. Por favor, consulte la sección "Puesta en marcha y funcionamiento de la TwisTorr 305-IC" de este manual para obtener mayor información sobre el significado de los indicadores LED.

  • Page 117: Parada De La Twistorr 305-Ic

    Para detener la TwisTorr 305-IC cuando no hay una emergencia, es necesario: a) si la TwisTorr 305-IC está configurada en REMOTE MODE, y el INTERLOCK está en CONTINUOUS MODE, actúe sobre la señal de "START" o actúe sobre la señal "INTERLOCK";...

  • Page 118: Mantenimiento

    50ºC. Si la bomba falla, puede utilizar el servicio de reparación de Agilent o el "servicio de intercambio avanzado de Agilent", que le proporcionará un sistema refabricado para sustituir el sistema averiado.

  • Page 119: Limpieza

    Instrucciones de uso Limpieza La superficie exterior de la TwisTorr 305-IC puede ser limpiada con detergente suave solamente. Eliminación Significado del logo “WEEE” que se encuentra en las etiquetas. El siguiente símbolo se aplica de acuerdo con la Directiva WEEE (Residuos de Aparatos Eléctricos y Electrónicos, por sus siglas en inglés) de la CE.

  • Page 120: Servicio

    Si un cliente necesita un servicio de intercambio avanzado o reparación, contacte con un distribuidor local o contacte por correo a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Es obligatorio completar la “Request for Return” para devolver su bomba a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual). Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 121: 使用说明

    定义与术语 小心、警告和注意的定义 警告符号 安全 正确使用 使用不当 防护设备 涡轮分子泵安全指南 运输及存储 产品描述 安装 安装准备 设置 TwisTorr 305-IC 的安装 高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 ConFlat 法兰的安装 前真空泵的连接 TwisTorr 305-IC 的启动和运行 慢启动 停止 TwisTorr 305-IC 紧急停止 维护 转子寿命 清洗 处置 服务 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 122: 关于本手册

    使用说明 关于本手册 有效性 本手册列出 TwisTorr 305-IC用户说明，特别注意与安全、操作和一级维护有关的注 意事项，受用户负责的维护操作限制。 维护操作在特定章节中说明，对于更高等级的维护设有具体规定（接受过维护操作 专门培训的人员），用户不得执行此类操作。 要正确安装和启动/停止，请参考“Technical Information”章节。 本手册包含有用信息，确保所有使用 TwisTorr 305-IC 的人员可以安全操作， 在设备整个寿命期内发挥完美效率。 注意 将本手册和所有相关出版物放置在所有操作员、维护人员方便访问的位置。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 123: 定义与术语

    使用说明 定义与术语 小心、警告和注意的定义 本手册的一些重要参考内容用背景色突出显示。 程序开始前，提示小心消息，如果不遵守过程指示，可能导致设备损坏。 小心 警告消息提醒操作员注意特定过程或做法，如果执行错误，可能导致人员重 警告 伤。 注意旨在让人注意重要信息，提供具体步骤的更多详细信息。 注意 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 124: 警告符号

    使用说明 警告符号 以下是在 TwisTorr 305-IC 上与警告一起显示的符号列表。还显示了这些符号所指 的危险。 三角形符号表示警告。在文档或仪器警告旁边可能出现的符号含义如下： 直流 欧洲符合性声明 请勿触摸 电源关闭 生产现场 一般危险 UK CA 打標 电源开启 保护接地端子 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 125 使用说明 以下符号可用作附在仪器上的警告标签。当您看到此符号时，请参阅相关操作或维 修手册，了解该警告标签所指的正确操作过程。 以下符号会出现在仪器上以供您参考。 电源开启 如果为红色，则表示故障 如果为黄色，则表示警告 USB 端口 保护接地端子 请勿触摸 近场通信（智能手机天线） CE认证 CSA 认证 有害物质认证限制 RoHS中国认证 废弃电气和电子设备 UK CA 打標 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 126: 正确使用

    使用说明 安全 本节包含机械指令 2006/42/EC 规定的信息，这些信息对于遵守常规安全法规以及 机器特定用途相关安全法规至关重要。 不遵守这些说明或本手册的其他说明，将导致设计阶段设想的安全条件无效，操作 员可能发生事故。 对于不遵守技术文档中的安全规定而导致的机器损坏或者操作员或第三方人身伤 害，Agilent Technologies 不承担任何责任。 正确使用 本手册包含机器安全工作需要遵守的重要警告和安全说明。 本手册所述产品仅用于本手册指定的应用领域。手册还规定了产品应用和操作基本 要求相关的说明，以及可确保正常运行的安全措施。对于将产品用于非本手册介绍 的用途或者产品使用过程中不遵守基本要求和安全措施，Agilent Technologies 不承 担任何责任。 必须由能够采取必要安全措施，不会导致损坏或受伤的具备资质人员使用产品。产 品的配套配件和设备必须由 Agilent Technologies 提供或授权使用。 必须由了解相关风险的专业技术人员执行任何调整或维护操作。 必须由 Agilent 授权人员执行产品维修。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 127: 使用不当

    使用不当将导致所有责任保证和索赔保证失效。 使用不当的定义为： 使用未指定的安装材料安装泵  泵送氧化性、腐蚀性气体，但没有适当的废液排空  泵送爆炸气体  泵送冷凝蒸汽  泵送液体  泵送粉尘  气体产量过高的情况下作业  前真空压力过高的情况下作业  使用与实际使用的气体不同的选定气体方式进行操作  高热输入运行  磁场过高的情况下作业  使用过高的通风速率进行通风  使用真空泵来产生压力  在电离辐射区域运行设备  在潜在爆炸区作业  明知系统会受其影响，依然在应力和振动导致周期性重复出现冲击和力作用的  环境中使用系统。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 128: 防护设备

    使用说明 防护设备 进行或执行泵送系统维护的操作员必须始终使用适合操作类型的防护设备。 此外，它必须符合使用机器所在国家的现行立法安全要求。 通常，操作员在操作TwisTorr 305-IC时和安装过程中必须穿防事故鞋。 维护或安装时危险物质导致的健康危险。 警告 • 根据流程特性，真空泵、组件或工作流体可能被有毒、反应性或放射性物质污 染。 • 维护维修或重新安装时，穿戴合适防护设备。 掉落物体导致受伤的风险 警告 手动运输真空泵时，存在重物滑动和掉落的危险。 • 双手搬运中小型真空泵。 • 如果设备重量超过 20 kg，应使用合适的起吊设备运输。 • 穿着符合指令 EN 347，并带有铁鞋头的安全鞋。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 129: 涡轮分子泵安全指南

    使用说明 小心 锋利边缘导致受伤的风险 涡轮泵的转子和定子盘具有非常锋利的边缘 • 在维修泵之前，或在泵从系统中执行任何安装/拆卸操作之前，等待泵完全停止。 • 不要直接在高真空法兰内操作。 • 如有必要，请按照 EN 420 佩戴防护手套。 涡轮分子泵安全指南 以下操作手册中描述的涡轮分子泵包含大量动能，因为旋转速度高，加上转子拥有 特定质量。 在泵的机械部件发生故障的情况下，旋转能量可能会释放到泵所固定的任何位 （見段落“ConFlat 法兰的安装” “ISO-K 法兰的安装”）。 为避免损坏设备并防止操作人员受伤，应严格遵守本手册中提供的安装说 警告 明！ 当使用泵抽吸有毒、易燃或放射性气体时，请遵循每种气体处理所需的程 警告 序。该泵旨在泵送高吞吐量的 N2 Ar 和较轻的气体. 如果您需要泵送比氩气 Ar 重的气体，请联系安捷伦技术支持以获取信息。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 130: 运输及存储

    使用说明 运输及存储 为了保证安捷伦涡轮分子泵的最高性能和可靠性，必须遵循以下准则以避免出现冷 凝的情况. 运输、移动和存储泵时，不应超出以下环境条件:  温度范围： -40 °C 至 70 °C  相对湿度范围：0至90%（非冷凝状态）。  涡轮分子泵的保质期从发货日期起为12个月.  涡轮分子泵在首次由客户接收和操作时必须进行慢启动.  涡轮分子泵必须在泵处于非活动状态的 60天月后进行慢启动.  如果由于任何原因超过保质期，必须将泵退回工厂。请联系当地的安捷伦真空销 小心 售和服务代表以了解相关信息。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 131: 产品描述

    使用说明 产品描述 本设备用于专业用途，供专业人员使用。 TwisTorr 305-IC 是一款涡轮分子泵，适用于高真空和超高真空应用，能够泵送任何 类型的非腐蚀性和氧化性气体或气体化合物。 泵送作用通过由高性能电机驱动的高速涡轮（最大 60600 rpm）获得。它不含污染 剂，因此适用于需要"清洁"真空的应用。 详细信息可参考"技术信息"章节。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 132: 安装准备

    使用说明 安装 安装准备 TwisTorr 305-IC 具有特殊的保护包装。如果表现出在运输过程中可能发生损坏的迹 象，请联系您当地的销售办事处。 避免因放下 305 FSQ & SF而对 305 FSQ & SF造成突然撞击。请注意保存好包装 盒，以便在存放时间过长或运输时重复使用。 请勿以未经授权的方式处理包装材料。该材料是100%可回收的，符合EEC指令 94/62号和随后颁布的修正案。. 为了防止出现漏气问题，不要徒手处理将暴露在真空中的部件。始终使用手套或 小心 其他合适的防护装置。 正常暴露于环境中不会损坏 TwisTorr 305-IC。不过，还是建议将其密封在塑料袋 注意 中，直到安装到系统中为止，从而防止灰尘对其造成任何形式的污染。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 133 使用说明 图 21 TwisTorr 305-IC 包装 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 134 TwisTorr 305-IC 是一种对静电放电敏感的电子设备，因此，它被装在一个保护袋 小心 中，该保护袋的 USB 连接和 DB15 连接均带有保护盖。 仅在将泵连接到控制器时 才卸下这些保护盖。 在准备好将涡轮泵安装到系统中之前，请勿拆下粘合剂和保护盖。 小心 图 22 仅将本设备安装在室内，请勿在暴露于大气物质（雨、冰、雪）、灰尘、腐蚀性气 体或爆炸性环境或高火灾风险的环境中使用泵。 在操作过程中，必须遵守以下环境条件，以避免冷凝： 最大环境压力： 比大气压力高 2 bar  温度：从 +5 °C 到 +35 °C  相对湿度： 0 ~ 90 % （非冷凝状态）。  Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 135: Twistorr 305-Ic 的安装

    使用说明 TwisTorr 305-IC 的安装 如果不遵守这些安装说明可能会导致泵在转子发生故障时与系统分离，从而 警告 导致财产损失或严重伤害或死亡。 TwisTorr 305-IC可安装在任何位置。将TwisTorr 305-IC固定在稳定位置，将涡轮泵 的进气法兰安装到系统对接法兰上，其连接能够承受其轴周围 1000 Nm的扭矩。 带有ConFlat 和 ISO K 入口法兰的涡轮泵必须通过适当的安捷伦硬件固定在真空室 上。 有关详细信息，请参阅" ConFlat 和 ISO K的安装"章节。 电源线：正确的电线电缆是三芯 (Ph+N+Earth) 电缆。电线截面必须至少为 0.75 mm2 (AWG18). TwisTorr 305-IC 不能通过其底座或其他非入口法兰固定。 小心 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 136: 高真空法兰的连接

    使用说明 高真空法兰的连接 如果转子突然停止，则必须通过紧固高真空法兰的硬件来吸收产生的扭矩。 螺栓或硬件必须符合以下规格。. 必须以承受“TwisTorr 305-IC 的安装”章节中指定的扭矩的方式连接泵。特 警告 别要注意夹具设计、夹具和螺栓的材料以及螺栓固定扭矩。 仅使用高电阻级夹具（或螺栓） = 8.8。 如果泵固定在真空室上，其法兰与安捷伦推荐的法兰不同，则转子突然停止 警告 时，TwisTorr 305-IC 将会有 扭曲或撕裂的可能性。不允许将不同法兰类型 组合使用。安捷伦对因紧固不当造成的所有损害不承担任何责任。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 137: Iso-K 法兰的安装

    使用说明 ISO-K 法兰的安装 对于ISO-K法兰连接，请使用下图所示的IC63250DCMZ型夹具或等效夹具固定两个 法兰（可选使用保护屏）。 图 23 使用所需数量的夹钳： 4 表示 ISO 100 法兰  4 表示 ISO 160 法兰  用22 Nm的扭矩拧紧螺栓 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 138: Conflat 法兰的安装

    使用说明 ConFlat 法兰的安装 对于ConFlat法兰连接，请如下图所示用螺钉固定两个法兰（可以选择使用保护屏） 图 24 使用所需数量的螺钉 : 16 表示 CFF 6”  20 表示 CFF 8”  连接装置并依次拧紧每个螺钉。重复顺序拧紧，直到法兰面相重合。以 20 Nm 的扭 矩拧紧螺钉。 对于 ConFlat 法兰，我们建议仅使用高强度钢螺栓。 为了便于组装和拆卸，可以选择将Felpro C-100高温润滑剂涂在法兰突出的螺母上 以及螺母与法兰之间的螺纹上。 在某些情况下，只能使用下侧的螺栓进行连接. 擰緊螺母和螺栓時要小心，以免在渦輪分子泵殼上產生凹痕。 小心 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 139: 前真空泵的连接

    使用说明 前真空泵的连接 应使用 TwisTorr 305-IC 上提供的 KF 16 NW 法兰进行前级连接。与前级泵的连接可 以通过真空额定软管或管道进行。如果使用刚性管道，则必须使用波纹管来抑制机 械泵产生的任何振动。 TwisTorr 305-IC 的特点是它对油蒸气的高压缩比。使用机械油封泵时，建议在涡 注意 轮泵和前真空泵之间安装合适的疏水阀，以防止干泵的机油或颗粒回流。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 140: Twistorr 305-Ic 的启动和运行

    如果要在关闭 IC 系统后断开连接，请等到所有 LED 灯都熄灭后再继续将用 户电缆与系统断开。 如果不遵循此警告可能会损坏 IC 系统或与其连接的设备。 仅当紧急停止时，才能在用户电缆带电的情况下断开用户电缆与 IC 系统的 连接。 为了查找电源电压输入引脚的位置（在输入/输出和电源连接器上），以及输 注意 入电压允许值，请参阅本说明手册中的"技术规格"章节和" 输入/输出和电源"章 节。 为了查找启动/停止和互锁输入引脚的位置（在输入/输出和电源连接器上）， 以及相关的电气额定值，请参阅本说明手册的"输入/出站和电源"部分. 要查找有关如何连接启动/停止和互锁信号的详细信息，请参阅本说明手册中 的"如何连接控制器的集电极开路输入"章节。 TwisTorr 305-IC 配有 DB15 配对连接器，而不是预接线。该 DB15 配对连接器 适合承受控制器供电所需的电流水平，并且与安装在控制单元上的 DB15 连接 器完全兼容。在正确布线后，它既可用于将 TwisTorr 305-IC 连接到电源，也可以连接到附件部件（冷却风扇、排气阀） 以及串行通信。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 141 LED 灯 LED 状态 含义 象征 关 电源关闭 绿色 305-IC 打开，目标速度尚未达到，状态：正在启动（RAMP）/ 开，闪烁 自动调谐 305-IC 打开，目标速度尚未达到，状态：正在启动（RAMP）/ 开，反向闪烁 自动调谐 305-IC ON, 打开，达到目标速度，状态：正常 操作。 开，实心光 305-IC ON, 打开，减速，状态：制动 开，闪烁 关 无警告 黄色 警告 开，实心光 红色 关 无故障 故障 开，实心光 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 142 这是因为警告与泵功能的任何停用条件均无关。 解决警告的原因后，黄色 LED 指示灯将立即关闭，在大多数情况下，用户不需要在 TwisTorr 305-IC 上进行任何进一步的操作，仅在极少数情况下， 需要正确重置 警告信号，用户必须关闭设备电源.。 如果 USB 端口操作不当，例如试图通过 USB 端口操作电子设备并关闭 24vdc 电源，黄色和绿色 LED 将同时闪烁，而红色 LED 将常亮。 在这种情况下，应 断开 USB 电缆与电子设备的连接，等待所有 LED 关闭，打开 24vdc 电源，连 接 USB 电缆并操作电子设备。 有关 USB 端口操作的详细信息，请参阅“通过 USB 端口连接”的章节。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 143: 慢启动

    用户无法停用此自动操作模式。用户可以决定始终以"慢启动模式"来启动产 品，按照下面指定的相应串行命令来进行操作。 在长时间不活动之后，“软启动”模式可以正确分配轴承中存在的润滑脂。 在以下情况下，将自动激活"慢启动"模式： 初次启动; 在达到“全速”状态的最后一刻起的60天后。 软启动模式在泵达到全速值时完成，并且能够将该值保持稳定一段时间 注意 （大约 2 分钟）。 是否完成软启动可以通过控制器盖板上的绿色 LED 来轻松查看。 当绿色 LED 灯常亮（不闪烁）时，表示软启动模式已成功完成。 有关 LED 指示灯含 义的更多信息，请参阅本手册中的“TwisTorr 305-IC 的启动和运行”章节。 警告 此模式可以使用串行命令 WIN100 进行手动激活。 WIN 100 对于初次启动和在达到“全速”状态的最后一刻起的 60 天后的自 动慢启动没有影响。 请参阅"Windows 协议"章节。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 144: 停止 Twistorr 305-Ic

    使用说明 停止 TwisTorr 305-IC 如要在紧急情况下停止TwisTorr 305-IC，必须： a) 如果TwisTorr 305-IC被配置“远程模式”，并且“互锁”设置为“连续模 式”，则打开“启动”或“互锁”信号； b) 如果TwisTorr 305-IC被配置“远程模式”，并且“互锁”设置为“脉冲模 式”，则打开“启动”信号； c) 如果TwisTorr 305-IC被配置“串行模式”，则将“停止”命令发送到TwisTorr 305-IC。 紧急停止 通过卸下电源可以实现紧急停止 此模式仅在紧急情况下使用。使用此停止模式可能导致泵出现故障和/或损 警告 坏。不正确使用此停止模式可能会使保修失效。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 145: 转子寿命

    无需维护。 如果出现错误情况或需要注意的情况，红色 LED（错误）或黄色 LED （注意）会亮起。 如要验证需要注意的错误或条件，可以通过串行通信读取代码。 如果泵长时间放置，建议目视检查 DB15 连接以确保其没有出现氧化得情况。 任何其他维护必须由授权人员执行。 在对系统进行任何操作之前，将其从电源断开，用排气阀向泵排气，在转子 警告 完全停止后，等待泵的表面温度降低到 50°C 以下。 如果泵发生故障，您可以使用安捷伦维修服务或 "安捷伦高级替换服务"，它会为您提供一个再制造系统，以取代故障的系统。 TwisTorr 305-IC的备件会在下订单时发货。 然后要使用原来装着TwisTorr 305-IC备件 的箱子来退还没用的TwisTorr 305-IC. 注意 在将泵退回给制造商进行维修或使用高级替换服务之前，必须填写并发送本说明手 册上随附的"退货请求"表格。在装运前，必须在系统包装中插入相同的副本。 如果需要废除系统，请确保在遵守当地法规的情况下进行适当处置. 转子寿命 在理论的基础上估计，TwisTorr 305-IC涡轮分子泵转子的抗疲劳性为从停止到全速 再回到停止的405000次循环。 考虑到泵的通常使用情况以及安全限制，作为预防措施，安捷伦建议在使用 17 年 后退回泵以进行维护。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 146 使用说明 清洗 TwisTorr 305-IC 的外表面只能用温和的洗涤剂清洗。 处置 标签中的“WEEE”徽标含义。 按照 EC WEEE（废电子电气设备）指令应用以下符号。 此符号（仅在欧盟国家有效）表示所适用产品不得与家庭或工业垃圾一起处置，必 须送至专门废弃物回收系统。因此，欢迎最终用户联系设备供应商（无论是母公司 还是零售商），在检查销售合同条款后启动回收和处置流程。 图 25 “WEEE”徽标 有关更多信息，请参考： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 147 使用说明 服务 如果客户需要高级替换或维修服务，请联系当地经销商或直接发送邮件至 vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 需要填写 ”Request for Return” 表才能将泵退回到 Agilent 维修部门（在本手册末尾 会提供）。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 148: 取扱説明書

    定義と用語 警告・注意・注の定義 警告の記号 安全性 適切な使用 不適切な使用 保護用装備 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 移送＆保管 製品説明 取り付け 取り付けの準備 セットアップ TwisTorr 305-IC 実装 高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け ConFlat フランジの取り付け フォア真空ポンプの接続 TwisTorr 305-IC の起動開始と操作 ソフトスタート TwisTorr 305-IC を停止する 緊急停止 メンテナンス ローターの寿命 クリーニング 処分 サービス Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 149: この説明書について

    取扱説明書 この説明書について 有効期 本説明書には、特に安全、操作手順およびユーザーに必要なメンテナンス手順の みの簡易メンテナンスに関連する考え方を参考に、TwisTorr 305-IC の使用方法 をユーザーに説明します。 高度なメンテナンス（メンテナンス手順の個別訓練を受けた人員）に関連した各 条項とあわせて、各セクションで説明するメンテナンス手順は、ユーザーは行わ ないでください。 正しい取付および始動/停止については、「Technical Information」セクションを 参照してください。 本説明書には、 TwisTorr 305-IC を使用する人員がすべて安全に使用でき、また機器使用寿 注 命中に効率よく使用できるのに、役立つ情報が記載されています。 本説明書は、関連するすべての刊行物とあわえて、オペレータ/メンテナン ス要員に分かりやすい、取り扱いしやすい場所に保管してください。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 150: 定義と用語

    取扱説明書 定義と用語 警告・注意・注の定義 このマニュアルのいくつかの重要な参照部は、対比色でハイライトされ枠で囲っ てあります。 注意」のメッセージは、もし監視されていない場合に装置に損害が生じる可能 注意 性を示しています。 警告」のメッセージは、もし正しく操作されない場合に、重大な人身障害 警告 につながる可能性がある特定の操作や実行への操作者の注意の必要性を示 しています。 「注」は、重要な情報への注意喚起と特定の工程に関してのより詳細な情報を 注 提供しています。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 151: 警告の記号

    取扱説明書 警告の記号 下記は、TwisTorr 305-IC上の警告と併せて表示される記号のリストです。危険性 の説明も記載されています。 三角の記号は警告を示しています。説明書内または装置上の警告記号と供に示さ れうる記号の意味は下記の通りです： CE適合宣言書 直流 触らないでください 製造所 電源オフ 包括的な危険 UK CAマーキング 電源オン 保護接地端子 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 152 取扱説明書 下記の記号は、装置に貼り付けられた警告ラベル上に使用されることがありま す。もしこの記号を目視した場合、その警告ラベルに関する正しい工程のため に、関連する操作またはサービスマニュアルを参照してください。. 参考情報として、下記の記号は装置上に示されます。. 主要電源オン もし赤い場合、機能不良を意味します もし黄色い場合、警告を意味します USB ポート 保護接地端子 触らないでください 近距離無線通信(スマートフォンのアンテナ) CE認証 CSA 認証 EU RoHS指令認証 中国RoHS 指令認証 廃電気・電子製品に関するEU WEEE指令 UK CAマーキング Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 153: 安全性

    取扱説明書 安全性 このセクションは、一般的、かつ機械の特定の使用に関する安全規定の遵守と監 督に必須である機械指令（Machinery Directive 2006 / 42/ EC）の情報を含みま す。 これらの指示とこのマニュアル内のその他の指示に従わなかった場合、設計時に 予測された安全状態が非効率に損なわれ、機械を操作する者へ事故が生じる可能 性があります。 アジレント・テクノロジー株式会社は、技術的な参照書に示された安全規定の不 順守により派生した、機械または操作者もしくは第三者の身体的安全への損害・ 損傷の責任を全て拒否します。 適切な使用 このマニュアルは、装置一式が安全に機能するために遵守されるべき重要な警告 と安全の手引きを含みます。 このマニュアルに説明されている製品は、説明書に特記されている分野への活用 に限定した目的のものです。マニュアルはまた、製品の活用と操作に必須の要件 に関する指示と標準の操作を保証するために適用される安全対策を提供します。 アジレント・テクノロジー株式会社は、このマニュアル内説明されているもの以 外の適用、または必須の要件や安全対策に注意が払われていない場合にいかなる 保証も提供せず、またはいかなる責任も負いません。 製品は、損傷や怪我を生じさせない状況下において必要な安全対策を講じること ができる有資格者のみ使用することができます。製品と供に使用されたいかなる 付属品や機器も、アジレント・テクノロジー株式会社により共有もしくは承認さ れたものでなければなりません。 いかなる調整またはメンテナンスの操作は、リスクについて承知している専門家 の技術者により実行されなければいけません。 製品の修理は、専らアジレント・テクノロジー株式会社により行われなければな りません。。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 154: 不適切な使用

    不適切な使用は、責任と保証への全ての請求権が喪失します。不適切 な使用は下記の通り定義されます： 不特定の取り付け用具を使用したポンプの取り付け  適切な廃棄フローの排出なしに、酸化性ガス、腐食性ガスを汲み上げること.  爆発性のガスをポンプすること  凝縮した蒸気をポンプすること  液体をポンプすること  粉末をポンプすること  不適切な高ガス量での操作  不適切な高圧補助真空での操作  実際に使用されるガスのものとは異なる選択されたガスのモダリティでの操作  高レベルの入熱での操作  不適切な高い磁界での操作  不敵な高い通気率での通気  圧力を生じさせるための真空ポンプの使用  電離放射線の範囲内での機器の操作  潜在的に爆発性がある範囲での操作  圧力と振動が、システムに影響を与える定期的に繰り返される衝撃と力につ  ながる環境でシステムを使用すること。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 155: 保護用装備

    取扱説明書 保護用装備 ポンプシシテムのメンテナンスを操作または実行している操作者の保護装置は、 実行される操作タイプに常に適切なものでなければなりません。 更に、それは機械が使用される該当国の法律に準拠する安全上の必要条件に従う ものでなければなりません。一般的に。 一般的に、操作者は TwisTorr 305-IC を操作している時や取り付けの時に事故防 止の靴を着用しなくてはなりません。 メンテナンスまたは取り付け時に、有害物質による健康への危険。 警告 • 過程の異常な点により、真空ポンプ、構成部分、または操作液は、有害物 質、反応性物質、もしくは放射性物質に汚染される場合があります。 • メンテナンスや修理、もしくは再度取り付け時には適切で十分な保護装備を 着用してください。 装置の落下による損傷のリスク。 警告 真空ポンプを手で運搬する場合、荷重が滑り落ちる危険があります。 • 両手で小型・中型の真空ポンプを運んでください。 • 20 kg 以上のいかなる装置も、適切なリフトの機器を使用して運搬されなけ ればなりません。 • 指令 EN 347 にしたがって、爪先が鋼製の安全長靴を着用してください。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 156: ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン

    ターボポンプのローターと固定子ディスクは、縁が非常に鋭くなっています。 • ポンプを修理する前、またはシステムからポンプのいかなる取り付け/取り 外しをする前に、ポンプの完全な静止をお待ちください。 • 高真空フランジ内で直接操作しないでください。 • 必要に応じて、指令 EN 420 に従った保護手袋を着用してください。 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 下記の操作マニュアルに説明されるターボ分子ポンプは、それらローターのt特定 の質量との組み合わせで高回転速度により大量の運動エネルギーを含有します。 ポンプの機械的な部分の機能不良の場合、回転エネルギーはポンプが固定されて いるどの部分へも放出されています（セクションを参照 “ConFlatフランジの取 り付け” と “ISO-K フランジの取り付け”）。 装置の損傷と操作者の怪我を避けるために、このマニュアルに記載された 警告 取り付けの指示に厳密に従ってください！ 有毒ガス、可燃性ガス、または放射性ガスをポンプするためにポンプを使 警告 用する場合は、各ガス処理に必要な手順に従ってください。ポンプは、 N2 Ar とより軽いガスの高スループットをポンプするように設計されてい ます. Ar より重いガスをポンプする必要がある場合は、詳細情報に関して Agilent の技術サポートへお問い合わせください. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 157: 移送＆保管

    取扱説明書 移送＆保管 アジレントのターボ分子ポンプの最大レベルの性能と責任を保証するため、凝縮 を避けるために下記のガイドラインに従わなければなりません： ポンプを輸送、移動、保存する時は、下記の環境仕様を超過してはいけません：  温度範囲： -40 °C から 70 °Cまで  相対湿度範囲： 0 から 90 %まで（結露なし）  ターボ分子ポンプの保存可能期間は出荷日から12ヶ月です.  お客様がポンプを受け取ってから最初に操作する際には、ターボ分子ポンプ  は常にゆっくりと開始されなければなりません. ポンプを60日間月以上使用していない場合、ターボ分子ポンプは常にゆっく  りと開始されなければなりません. もしいかなる理由により保存可能期間を超過した場合、ポンプは工場へ返送さ 注意 れなければなりません。アジレントの現地の販売者やサービス担当者へ情報を お問い合わせください。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 158: 製品説明

    取扱説明書 製品説明 この装置は専門家の使用向けで専門家により使用されることを対象としています。 TwisTorr 305-ICは、腐食性でないガスや酸化性でないガス、またはガス混合物の どんなタイプでもポンプ可能な、高真空・超高ターボ真空装置です。 ポンプの動作は、高性能電子モータにより駆動し高速タービン（最大60600 rpm） により得られます。 汚染物質がなく、ゆえに「清潔な」真空を必要とする活用に最適です。 より詳細な情報は、「技術的情報」のセクションに記載されています。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 159: 取り付け

    取扱説明書 取り付け 取り付けの準備 TwisTorr 305-ICは、特別に保護された梱包により供給されます。もしこれに輸送 中に発生した可能性のある損傷の跡がある場合、現地の販売営業所へお問い合わ せください。 落下等によるTwisTorr 305-ICへの突然の衝撃は避けてください。長期間の保存ま たは輸送の場合のために、梱包ボックスを保持するようにご注意ください。 許可されていない方法で梱包材料を破棄しないでください。材料は100% リサイ クルが可能で、EEC指令94/62とそれに準ずる改正を遵守しています。. ガス放出の問題を避けるために、真空に露出される構成部を素手で取り扱わな 注意 いでください。常に手袋やその他適切な保護製品をご使用ください。 通常環境への露出は、TwisTorr 305-IC を損傷しません。しかしながら、ちり・ホコ 注 リによるいかなる種類の汚染を防ぐので、システムに取り付けられるまでビニール の袋に密閉して保管することが推奨されます。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 160 取扱説明書 图 26 TwisTorr 305-IC の梱包 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 161: セットアップ

    TwisTorr 305-IC は、静電放電に敏感な電子機器であり、この点において USB 注意 接続と、また DB15 接続上でキャップ付きの保護バッグに入って提供されてい ます。ポンプをコントローラーに接続する時にのみ、これらの保護キャップを 取り外します。 システムへターボポンプを取り付ける準備ができるまで、粘着材と保護キャッ 注意 プを取り外さないでください。 图 27 この機器は屋内でのみ取り付けてください。また、ポンプを大気物質（雨、氷、 雪）、ちり・ホコリ、侵略的ガスなどに露出する環境、または爆発の可能性があ る環境、または燃えやすい環境下では使用しないでください. 操作中、凝縮をさけるために下記の環境状況は遵守されなければいけません： 最大環境気圧：大気圧上 2 バール  温度：+5 °C から +35 °C まで  相対湿度： 0 – 90 % （結露なし）  Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 162: Twistorr 305-Ic 実装

    TwisTorr 305-IC 実装 これらの取り付け説明が遵守されなかった場合、ローターの故障の際にシ 警告 ステムからのポンプの分離を引き起こし、それにより土地建物が損害を受 けるか、重大な損傷や死亡事故につながる可能性があります。 TwisTorr 305-ICはどんな位置でも取り付けることができます。 TwisTorr 305-ICを暗転した位置に固定し、軸回りに1000 Nmトルクの耐荷重の接 続でターボポンプの吸気フランジをシステムの対フランジへはめます。 ConFlat と ISO K 吸気フランジのターボポンプは、適切なアジレントのハードウ ェアを用いて真空チェンバーへ固定されなければなりません。 更なる詳細は、「ConFlatとISO Kの取り付け」セクションをご覧ください。 電源コード： 電気配線用の正しいケーブルは、3線（Ph + N + Earth）ケーブルで す。 線の部分は、少なくとも0.75 mm (AWG18) ある必要があります。 TwisTorr 305-IC は、その基部またはインレットではない他のフランジを介して 注意 固定することはできません。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 163: 高真空フランジの接続

    取扱説明書 高真空フランジの接続 もしローターが突然停止した場合、結果として生じるトルクは高真空フランジを 留めているハードウェアにより吸収されなければいけません。 ボルトまたはハードウェアは下記の仕様に適合していなければいけません. 必ず「使用の説明」セクションに指定されているトルクに耐える方法でポ 警告 ンプを接続しなくてはいけません。特に、クランプのデザイン、材料、ボ ルト、ボルトの固定トルクに注意してください。 “TwisTorr 305-IC 実装”のセクションで指定されたトルクに耐えられるよ うにポンプを接続する必要があります。特にクランプの設計、クランプと ボルトの材質、ボルトの固定トルクに注意してください。 高い耐荷重性クラスのクランプ（またはボルト）を使用してください ≥ 8.8。 もしポンプが、アジレントが推奨するものとは異なるフランジで真空チェ 警告 ンバー上に締め付けられた場合、ローターが突然停止した際に TwisTorr 305-IC がねじ曲がるまたは引き裂かれる可能性があります。異な るフランジタイプの組み合わせは禁止されています。アジレントは不適切 な締め付けにより生じた全ての損害・損傷にいかなる責任も負いません。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 164: Iso-K フランジの取り付け

    取扱説明書 ISO-K フランジの取り付け ISO-K フランジの接続には、下記の図に示される通り、クランプのモデル IC63250DCMZ または同等のもので2つのフランジを固定します（オプションとし て保護スクリーンを使用できます）。 图 28 必要な個数のクロウクランプを使用してください： ISO 100 フランジ – 4個  ISO 160 フランジ – 4個  22 Nmのトルクでボルトを締めます。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 165: Conflat フランジの取り付け

    取扱説明書 ConFlat フランジの取り付け ConFlat フランジの接続には、 下記の図に示される通り、2つのフランジをネジで 固定します（オプションとして保護スクリーンを使用できます）。 图 29 必要な個数のネジを使用してください : CFF 6” – 16個  CFF 8” – 20個  ユニットをくっつけ、交互に各ネジを締めます。フランジの面が合うまで引き続 き締め付けを繰り返します。20 Nm のトルクでネジを締めます。 ConFlatフランジには、当社は高強度のスチールボルトのみを使用することを推奨 します。 組み立てと解体を円滑にするため、オプションとしてFelpro C-100 高温潤滑剤を フランジから突き出ているネジ山と、ナットとフランジの間へ注入できます。 場合によっては、下側ではボルトでのみ接続できます. ターボ分子ポンプのケーシングにへこみが生じないように、ナットとボルトを 注意 締めるときは注意してください。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 166: フォア真空ポンプの接続

    取扱説明書 フォア真空ポンプの接続 フォアラインの接続は、TwisTorr 305-IC上に提供されるKF 16 NW フランジを使 用して行ってください。フォアラインポンプの接続は、真空定格ホースまたはパ イプで行うこともできます。もし硬いパイプが使用された場合、機械ポンプによ り発生したいかなる振動も、下記の使用により減衰されなければなりません。 TwisTorr 305-IC は、 その高圧縮比とオイル蒸気が特徴的です。機械油密封式ポ 注 ンプを使用する時、 オイルまたは微粒子が乾燥したポンプより逆流するのを避けるために、 ターボポンプと補助真空ポンプの間に適切なトラップを取り付けることを推奨し ます。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 167: Twistorr 305-Ic の起動開始と操作

    を切断する前にすべての LED がオフになるまで待ってください。 もしこの警告が順守されない場合、IC システムまたはそれに接続された機器 が破損する可能性があります。 緊急停止の場合にのみ、ユーザーケーブルに電源が入った状態でユーザーケ ーブルを IC システムから切断できます。 供給ボルテージの出力ピン（イン/アウトと電源供給コネクター上）の場所、また 注 出力ボルテージの許容値を見つけるには、「技術仕様」とこの説明マニュアルの 「イン/アウトとパワー供給」のセクションを参照してください。 開始/停止」と「連動」出力ピン（イン/アウトと電源供給コネクター上）の場 所、また関連する電気定格を見つけるには、この説明マニュアルの「イン/アウト とパワー供給」のセクションを参照してください。 「開始/停止」と「連動」信号の接続の仕方の詳細を見つけるには、この説明マニ ュアルの「コントローラーのオープンコレクタ出力を接続する方法」のセクショ ンを参照してください。 TwisTorr 305-IC は 、組み合わせコネクタの DB15 が付属しており、プレ配線は されていません。この DB15 組み合わせコネクタは、コントローラーに供給する のに必要な電流レベルに耐えるのに最適で、またコントロールユニットに備え付 けられた DB15 コネクタに完全に互換性があります。 TwisTorr 305-IC と供給ソースへの接続や付属部品（冷却ファン、通気弁）への 接続両方、またシリアル通信への接続など、適切な配線の後に仕様できます。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 168 TON/TOFF LED の状態 記号 意味 オフ 電源オフ 緑 305-IC オフ、状態： 停止/連動待機/故障 オン、点滅 305-IC オン、目的速度にまだ到達していません、状態： 開 オン、逆点滅 始中（ランプ）/自動チューニング 305-IC オン、目的速度に到達しました、状態： オン、固定の点灯 正常 OP. 305-IC オン、速度減退、状態：制動 オン、一定点滅 黄色 オフ 警告なし 警告 オン、固定の点灯 赤 オフ 機能不良なし 機能不良 オン、固定の点灯 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 169 アル通信上と緑 LED の表示）を表示します。 これは、警告はポンプの機能にいかなるブロッキング状態にも関係していない からです。警告の事由が解決された後は、黄色の LED ライトがすぐに消え、だ いたいの場合には、使用者は TwisTorr 305-IC に何もそれ以上のアクションを 行う必要はありません。ごくまれな場合に、警告信号を適切にリセットするた めに、使用者はユニットの電源をオフにしなければなりません。 USB ポート経由で電子機器を操作しようとしたり、24vdc 電源がオフになっ ているなど、USB ポートの不適切な操作の場合には、黄色と緑色の LED が 同時に点滅し、赤色の LED が点灯します。 このような状況の場合、USB ケ ーブルを電子機器から外し、すべての LED の点灯がオフになるのを待ち、 24vdc 電源をオンにし、USB ケーブルを接続して、電子機器を操作します。 USB ポートの操作の詳細については、「USB ポート経由の接続」の章を参 照してください。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 170: ソフトスタート

    ソフトスタート」モードは、長期間の不稼働後に、軸受部内の油の正確な再分配 を可能にします。 ソフトスタート」モードは、下記の場合に自動的にアクティベートされます： 最初の起動時； 最大速度」状態になった最後の瞬間に達してから60 日後。 ソフトスタートモードは、ポンプがフルスピード値に達した時に完了し、この値 注 を一定時間（約 2 分）安定して維持することができます。 ソフトスタートの完了 は、コントローラーカバー上の緑色 LED で簡単に確認できます。緑色により表示 されるライトが点灯している（点滅していない）場合は、ソフトスタートモード が正常に完了したことを意味します。 LED インジケーターの意味の詳細について は、このマニュアルの「TwisTorr 305-IC の起動開始と操作」のセクションを参照 してください。 このモードは、シリアルコマンドの WIN100 を使用して手動でアクティ 警告 ベートできます。 WIN 100 は、最初の起動開始時と「最大速度」の最後の瞬間から 60 日後の自動ソフトスタートには無効です。「ウィンドウズ プロトコ ル」のセクションをご覧ください。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 171: Twistorr 305-Ic を停止する

    取扱説明書 TwisTorr 305-IC を停止する TwisTorr 305-ICを停止するには、緊急時でない場合、下記を行う必要がありま す： a) もしTwisTorr 305-ICがリモートモードに設定されている場合、またインター ロックが継続モードに設定されている場合、「開始」または「インターロッ ク」の信号を開きます； b) もしTwisTorr 305-IC がリモートモードに設定されている場合、またインター ロックがインパルスモードに設定されている場合、「開始」の信号を開きま す; c) もしTwisTorr 305-IC がシリアルモードに設定されている場合、TwisTorr 305-ICへ 停止コマンドを送信してください。 緊急停止 電源供給を切ることにより緊急停止します. これは緊急時にのみ使用されるべきモードです。この停止モードの使用 警告 は、ポンプに障害及び/または損害が生じる可能性があります。この停止モ ードの不適切な使用は、保証が無効となりえます。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 172: メンテナンス

    メンテナンス メンテナンスは必要ありません。 エラー状態または注意が必要な状態の場合、赤 いLED（エラー）または黄色のLED（注意）が点灯します。エラーや 注意が必要 な状態を確認するために、シリアルコミュニケーションでコードを読み取ること ができます。ポンプが長時間放置されている場合は、DB15接続を目視で確認し て、ポンプが酸化していないことを確認することをお勧めします。 その他のメンテナンスは、専門の担当者が実行する必要があります。 システム上でいかなる動作を実行する前に、電源供給を切り、通気弁でポ 警告 ンプを通気し、ローターが完全に停止して待ちポンプの表面温度が 50° C 以下になるまで待ってください。 ポンプが故障した場合、アジレントの修理サービスまたは、故障したシステムを 取り替えてお客様へ再製造のシステムを提供する「アジレント最新交換サービ ス」を利用することができます。交換のTwisTorr 305-ICは、ご注文がなされた時 に郵送されます。そして、交換のTwisTorr 305-ICが届いた箱に故障したTwisTorr 305-ICを入れて返送してください。 製造者へ修理または最新交換サービスのためにポンプを返送する前に、この説明 注 マニュアルに添付されている「返品の申請」フォームを記入し、現地の販売事務 所へ送信する必要があります。システムの梱包に、郵送する前に同フォームのコ ピーを入れてください。 もしシステムを廃棄する必要がある場合、適切な破棄のために現地の条例に従う ようご確認ください. ローターの寿命 理論的評価によるTwisTorr 305-ICターボ分子ポンプローターの疲労抵抗は、停止 状態から最大速度、さらに停止までの、ランプの405000サイクルです。 予防措置として、典型的なポンプの使用と安全制限を考慮に入れると、アジレン トは17年間の使用後にメンテナンスのためポンプを返品することを推奨します。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 173: クリーニング

    取扱説明書 クリーニング TwisTorr 305-ICの外側表面 は中性洗剤でのみ、お手入れをすることができます。 処分 ラベルに記載の "WEEE" ロゴの意味。 下記の記号は、EC WEEE (電気電子機器廃棄物) 指令にしたがって適用されま す。 この記号 (EC 諸国内のみで有効) は、この記号が適用される製品は、通常の家 庭ゴミとあわせて処分してはいけないこと、また個別廃棄物回収システムに送付 しなければならないことを表します。そのため、エンドユーザーは、親会社か小 売業者かに関係なく、当該機器のサプライヤに連絡の上、契約上の販売条件の確 認後、回収および処分プロセスを開始することが求められます。 図 30 ロゴ "WEEE" 詳細は、下記サイトを参照してください。 http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 174: サービス

    取扱説明書 サービス お客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は、現地代理店もし くは下記まで直接ご連絡ください： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com “Request for Return”の申請の完了には、サービス提供のためにお客様のポンプを Agilentへ返送する必要があります。(このマニュアルの最後に提供されています）。 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 175: Instructions For Use

    TwisTorr 305-IC Mounting Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange Installation of ConFlat Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump Startup and Operation of the TwisTorr 305-IC Soft Start Stopping the TwisTorr 305-IC Emergency stop Maintenance Rotor life...

  • Page 176: About This Manual

    About this manual Validity This manual lists the instructions for the users of the TwisTorr 305-IC, with particular reference to the notions relating to safety, operation and first level maintenance, limited to maintenance operations for which the user is responsible.

  • Page 177: Definitions And Terminology

    Warning messages draw the operator's attention to a specific procedure or WARNING practice which, if not performed correctly, could result in serious personal injury. Notes are intended to call attention to important information and provide more NOTE detail regarding specific steps. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 178: Warning Symbols

    Warning Symbols The following is a list of symbols that appear in conjunction with warnings on the TwisTorr 305-IC. The hazard they describe is also shown. A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may appear alongside warnings in the documentation are as follows:...
  • Page 179 If yellow, it means warning USB port Protective Ground Terminal Do Not Touch Near Field Communication (smartphone's antenna) CE certification CSA certification Restriction of Hazardous Substances certification RoHS China certification Waste Electrical and Electronic Equipment UK CA Marking Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 180: Safety

    Agilent Technologies declines all responsibility for damage to the machine or for the physical safety of the operator or third parties deriving from the non-observance of the safety rules indicated in the technical documentation.

  • Page 181: Improper Use

    Instructions for Use Improper use Agilent Technologies declines all responsibility, deriving from the improper use of the TwisTorr 305-IC. Improper use will cause all claims for liability and warranties to be forfeited. Improper use is defined as: installation of the pump with unspecified mounting material ...

  • Page 182: Protective Equipment

    In general, the operator must wear accident-prevention shoes while handling the TwisTorr 305-IC and during installation. Danger to health by hazardous substances during maintenance or WARNING installation.

  • Page 183: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    The pump is designed to pump high throughput of N2, Ar and lighter gas. Should you need to pump gases heavier than Ar, please contact Agilent technical support for informations.

  • Page 184: Transport & Storage

    Instructions for Use Transport & Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed to avoid condensation. when shipping, moving and storing pumps, the following environmental ...

  • Page 185: Product Description

    This equipment is intended for professional use and to be used by professionals. The TwisTorr 305-IC is a turbomolecular pump for high and ultrahigh vacuum applications which is able to pump any type of non corrosive and oxidizing gas or gas compound.

  • Page 186: Installation

    Avoid sudden impacts to the TwisTorr 305-IC that would be caused by dropping it. Be aware to maintain the packaging box in order to reuse it in case of storage for a long period of time or in case of shipping.
  • Page 187 Instructions for Use Figure 31 TwisTorr 305-IC packaging Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 188: Set-Up

    Instructions for Use Set-up The TwisTorr 305-IC is an electronic device sensitive to electrostatic CAUTION discharges, and, to this point, it is supplied in a protective bag with caps on the USB connection as well as on the DB15 connection. Remove these protective caps only when connecting the pump to the controller.

  • Page 189: Twistorr 305-Ic Mounting

    The TwisTorr 305-IC can be installed in any position. Fix the TwisTorr 305-IC in a stable position, mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter-flange, with a connection capable of withstanding a torque of 1000 Nm around its axis.

  • Page 190: Connection Of The High Vacuum Flange

    WARNING from those recommended by Agilent, there is the chance of the TwisTorr 305-IC twisting or tearing-off in case the rotor suddenly stops. The combination of different flange types is not allowed. Agilent will not accept any liability for all damages resulting from improper fastening.

  • Page 191: Installation Of Iso-K Flange

    IC63250DCMZ or equivalent, as shown in the following figure (a protective screen can optionally be used). Figure 33 Use the required number of claw clamps: 4 for ISO 100 flange  4 for ISO 160 flange  Tighten the bolts with a torque of 22 Nm. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 192: Installation Of Conflat Flange

    In some cases, the connections can be made only with the bolt in the lower side. Be careful when tightening nuts and bolts to avoid creating dents on the CAUTION turbomolecular pump casing. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 193: Connection Of The Fore-Vacuum Pump

    The foreline connection should be made using the KF 16 NW flange provided on the TwisTorr 305-IC. The connection to the foreline pump can be made by a vacuum rated hose or pipe. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be damped through the use of bellows.

  • Page 194: Startup And Operation Of The Twistorr 305-Ic

    Instructions for Use Startup and Operation of the TwisTorr 305-IC To turn on the TwisTorr 305-IC via the on board controllers, supply the pump with the proper supply voltage and then act on the "START" and "INTERLOCK" signals. Once these signals are recognized the controller will start the pump.
  • Page 195 305-IC is running, target speed achieved, status: normal ON, Solid light operation. 305-IC is running, ramp-down due to speed reduction On, blinking command, status: BRAKING. Yellow No Warning. Warning. ON, Solid light No Malfunction. Malfunction. ON, Solid light Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 196 TwisTorr 305-IC. Only in a very few cases, in order to properly reset the warning signal, the user has to power off the unit.

  • Page 197: Soft Start

    When the light displayed by the GREEN Led is solid (no blink), it means that the soft start mode has been completed successfully. Refer to the section “Startup and Operation of the TwisTorr 305-IC” in this manual to get further information about the LED indicators meaning.

  • Page 198: Stopping The Twistorr 305-Ic

    Stopping the TwisTorr 305-IC To stop the TwisTorr 305-IC, not in emergency, it is necessary to: a) if the TwisTorr 305-IC is configured in REMOTE MODE, and the INTERLOCK is set to CONTINUOUS MODE, then open the "START” or the "INTERLOCK" signals;...

  • Page 199: Maintenance

    50° C. In the event the pump fails, you can use the Agilent repair service or the “Agilent advanced exchange service”, which gets you a remanufactured system to replace the failed system.

  • Page 200: Cleaning

    Instructions for Use Cleaning The exterior surface of the TwisTorr 305-IC may be cleaned with mild detergent only. Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive.

  • Page 201: Service

    Should a customer need an advanced exchange or repair service, please contact local distributor or directly mail to vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Completion of the “Request for Return” form is required to return your pump to Agilent for service (provided at the end of this manual). Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 202: Technical Information

    Technical Information Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC Technical specification TwisTorr 305-IC Outline Pump Operations Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation (only for air cooled pumps) Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps)

  • Page 203: Description Of The Twistorr 305-Ic

    Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC The TwisTorr 305-IC consists of a high frequency induction motor driving a turbine fitted with 9 bladed stages and 3 MacroTorr drag stages. The turbine rotates in a counterclockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
  • Page 204 Technical Information The TwisTorr 305-IC is available in various models that differ in the high vacuum flange. The TwisTorr 305-IC models are: Code Model X3513-64000 TWISTORR 305-IC ISO100K 485AGI AIR COOLING X3513-64001 TWISTORR 305-IC CFF6 485AGI AIR COOLING X3513-64002 TWISTORR 305-IC ISO160K 485AGI AIR COOLING...
  • Page 205 Technical Information The following figures shows the 24 models. The optional air cooling fan is shown in the drawings. TwisTorr 305-IC Figure 36 Model X3513-64000, X3513-64016, X3513-64024 TwisTorr 305-IC Figure 37 Model X3513-64001, X3513-64017, X3513-64025 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 206 Technical Information TwisTorr 305-IC Figure 38 Model X3513-64002, X3513-64018, X3513-64026 TwisTorr 305-IC Figure 39 Model X3513-64003, X3513-64019, X3513-64027 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 207 Technical Information TwisTorr 305-IC Figure 40 Model X3513-64004, X3513-64020, X3513-64028 TwisTorr 305-IC Figure 41 Model X3513-64005, X3513-64021, X3513-64029 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 208 Technical Information TwisTorr 305-IC Figure 42 Model X3513-64006, X3513-64022, X3513-64030 TwisTorr 305-IC Figure 43 Model X3513-64007, X3513-64023, X3513-64031 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 209: Technical Specification

    Technical Information Technical specification The following tables list the main technical data of the TwisTorr 305-IC. Table 1 TwisTorr 305-IC Technical Specification TwisTorr 305-IC - Technical data Pumping speed ISO 100/ CF 6" / ISO 160 / CF 8" 250 l/s...
  • Page 210 Technical Information TwisTorr 305-IC - Technical data Operating position Operating ambient temperature +5 °C to +35 °C Relative humidity of air From graph in Figure 13 (non condensing) ** Bakeout temperature ISO flange: 75°C at inlet flange max CFF flange: 100°C at inlet flange max Note: Measure a point close to the sealing element.
  • Page 211 1.5V). USB communication as per USB 1.0 When the TwisTorr 305-IC has been stored at a temperature less than 5°C, wait NOTE until the system has reached the above mentioned temperature before switch the TwisTorr 305-IC on.

  • Page 212: Twistorr 305-Ic Outline

    Technical Information TwisTorr 305-IC Outline The following figures show the TwisTorr 305-IC (dimensions are in mm [inches]). Figure 45 TwisTorr 305-IC ISO 100 (X3513-64000, X3513-64016, X3513-64024), + AIR COOLING KIT) On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 213 Technical Information Figure 46 TwisTorr 305-IC CFF6, (X3513-64001, X3513-64017, X3513-64025), + AIR COOLING KIT On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 214 Technical Information Figure 47 TwisTorr 305-IC ISO 160K (X3513-64002, X3513-64018, X3513-64026) + AIR COOLING KIT) On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 215 Technical Information Figure 48 TwisTorr 305-IC CFF8 (X3513-64003, X3513-64019, X3513-64027) + AIR COOLING KIT On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 216 Technical Information Figure 49 TwisTorr 305-IC ISO 100K (X3513-64004, X3513-64020, X3513-64028) On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw Water Cooling Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 217 Technical Information Figure 50 TwisTorr 305-IC + CFF6 (X3513-64005, X3513-64021, X3513-64029) On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw Water cooling Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 218 Technical Information Figure 51 TwisTorr 305-IC ISO 160K (X3513-64006, X3513-64022, X3513-64030) On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw Water cooling Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 219 Technical Information Figure 52 TwisTorr 305-IC + CFF8 (X3513-64007, X3513-64023, X3513-64031) On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw Water cooling Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 220 Technical Information Figure 53 Graph of Pumping Speed vs. Inlet Pressure for TwisTorr 305-IC pump Figure 54 Graph of Compression ratio vs. Foreline Pressure for TwisTorr 305-IC pump Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 221 Technical Information Figure 55 Graph of Iso Flow-Iso Power for TwisTorr 305-IC with Nitrogen gas (water cooling version with water temperature in range 15°C-20°C, backing pump 11.6 m Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 222: Pump Operations

    Inlet screens help prevent damage to the blades by preventing foreign objects from entering the pump. The following part numbers belong to the corresponding flange: 9699302 (CFF 6’’)  9699304 (CFF 8’’)  X3500-68000 (ISO 100)  X3500-68001 (ISO 160  Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 223 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. Figure 58 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 224 Technical Information Figure 59 The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump do not change as the inlet screen remains integrated into the center-ring. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 225: Air Cooling Kit Installation (Only For Air Cooled Pumps)

    Figure 60 The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump. To fix the fan to the TwisTorr 305-IC case execute the following procedure (see the following figure): Mount the TwisTorr 305-IC Fan/Vent Adapter kit P/N X3514-68001 (the adapter is provided with two extension cables, suitable for mounting of the cooling fan and the vent kit).

  • Page 226: Assembling Procedure Air Cooling Kit X3500-68010

    Technical Information Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 To mount the air cooling Kit on the TwisTorr 305-IC pump, proceed as follows: Fix the fan (1) to the bracket (2) using the furnished screws (3). Figure 61 Mounting the fan on the bracket...
  • Page 227 Technical Information Now fix the air cooling bracket/fan assembly to the pump body. Figure 62 On board CNTR Foreline flange KF16 VENT screw Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 228 (see figure on the next page) of the pump and then connect the air cooling kit connector to the adapter connector (6), by the way of the extension cable which is provided to together with the adapter P/N X3514-68001. Figure 63 Overview of TwisTorr 305-IC adapter Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 229 Technical Information Figure 64 Connector DB15 (item 5) on pump edge The picture shows the pump with the optional cooling fan. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 230: Water Cooling Kit Connection (Only For Water Cooling Pumps)

    Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 9699337 (metallic model), and 9699347 (plastic model). Figure 65 Model 9699337 Figure 66 Model 9699347 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 231 Figure 67 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended torque of 5 Nm. The metallic model is assembled as shown in the following figure. Figure 68 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 232 50 l/h (0.22 GPM). The max water inlet pressure must be lower than 5 bar. The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductivity is NOTE higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is recommended. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 233: Vent Accessories

    To perform the venting of the turbo pump, the vent valve and the related device are needed. The Twistorr 305-IC compatible vent kits are the following models: 9699834, 9699834M006 (which are Normally Open devices) and 9699834M010, 9699834M011 (which are Normally Closed devices).
  • Page 234 STATUS condition (refer to chapter Technical Information, Window Description and look for the meaning of PUMP STATUS – Win205; VENT VALVE OPENING DELAY– Win126; VENT VALVE OPENING TIME– Win147). When AUTOMATIC modality is selected, the ON COMMAND modality is inactive. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 235 Time Win. 147 Figure 70 Vent diagram example, for a Normally Open vent kit, in case of Stop Speed Reading function not active (refer to chapter Technical Information, Window Description and look for the Win167 meaning) Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 236 To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). Figure 71 Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. Figure 72 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 237 Fan/Vent Adapter kit P/N X3514-68001, when the assembly is completeted. Figure 73 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 238: Pump Used With Corrosive And Oxidizing Gases

    Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s. To prevent bearing damage, Agilent suggests a minimum purge gas flow rate of CAUTION 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements.
  • Page 239 Technical Information Figure 74 Purge layout Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 240: Purge Valve Installation

    Figure 75 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. Figure 76 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 241: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    9699345 for ISO 160 flange;  model 9699334 for CFF 6” flange;  model 9699335 for CFF 8” flange.  They typically reduce the vibration transmitted from the TwisTorr 305-IC to the system by a factor of 20. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 242: Controller Operations

    Technical Information Controller Operations Interconnections The following figure shows the TwisTorr 305-IC on board interconnections. Figure 77 In the picture it is shown the adapter P/N X3514-68001 connected to the pump. Vent valve connector. Cooling fan connector. Connector DB15 for power supply and serial communication and remote inputs and outputs control.

  • Page 243: Vent

    DB15 connector of the fan/vent adapter kit X3514-68001 are the ones shown by the following table: Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 244: Technical Information

    X3514-68001, the DB15 connector that is located on the electronic controller (shown by the figure 64) carries all the input and output signal to remote control the 305-IC system; all the signals are detailed in the table below (ref.Table 5). Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 245 RS232 COM PORT For RS485 communication: RS485 COM PORT Standard RS485, 8 bit no parity bit, n.1 start bit, n.1..2 stop bit RS485 COM PORT Supply Voltage Input Note: All potentials refer to pin 15 (GND). Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 246: Signal Description

    PWM duty cycle >75% will ensure a rotational frequency equal to the one that has been set via the serial command; the default factory setting for the rotational target frequency is 1010 Hz. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 247 When the reference size is Power, the relation is: ANALOG OUTPUT Vout =10V --> Output power = 200W When the reference size is Temperature, the relation is ANALOG OUTPUT Vout =10V --> Pump Body Temperature = 125°C Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 248 24 Vdc and becomes 0 Vdc when activated). Moreover, if the reference quantity is the frequency or the current drawn, it is possible to set the hysteresis (in % of the threshold value) to avoid bouncing. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 249  threshold: 909 Hz  hysteresis: 2 %  activation type: high level  delay time: 0 second.  The TwisTorr 305-IC Software (optional) allows the operator to set all the NOTE programmable feature. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 250: How To Connect The Open Collector Inputs Of The Controller

    Figure 84 Reference connection circuit for digital input WARNING If the power supply for the digital input is supplied by an external power supply then pin 15 on the controller should be connected to ground. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 251: How To Connect The Controller Outputs

    Technical Information How to Connect the Controller Outputs The following figure shows a typical logic output connection for pin 8, 9, 10 or 11. Figure 85 Reference connection circuit for digital output circuit Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 252: Rs485/Rs232 Communication Description

    Depending on the model of the pump, either the RS485 or the RS232 interface is available. The list of part numbers with RS485 is the following: Code Model X3513-64000 TWISTORR 305-IC ISO100K 485AGI AIR COOLING X3513-64001 TWISTORR 305-IC CFF6 485AGI AIR COOLING X3513-64002 TWISTORR 305-IC ISO160K 485AGI AIR COOLING...
  • Page 253 X3513-64022 TWISTORR 305-IC ISO160K 485P WATER COOLING  X3513-64023 TWISTORR 305-IC CFF8 485P WATER COOLING  Please contact Agilent Technical Support for details on the type of communication protocol to be used on the serial interface and relative command format. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 254: Windows Protocol

    Data type Data Type Field Length Valid Characters Logic (L) ‘0’ = OFF ‘1’ = ON Numeric (N) ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right justified with ‘0’ Alphanumeric (A) from blank to ‘_’ (ASCII) Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 255 1 byte Win Disabled (0x35) the specified window is Read Only or temporarily disabled (for example you can’t write the Soft Start when the Pump is running) Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 256: Example

    Technical Information Example Command: START Source: PC Destination: Pump ADDR WINDOW Source: Pump Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Pump ADDR WINDOW Source: Pump Destination: PC ADDR Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 257 Technical Information Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Pump ADDR WINDOW Source: Pump Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Pump ADDR WINDOW Source: Pump Destination: PC ADDR Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 258: Technical Information

    It defines the Low Speed frequency value Frequency 1010Hz Always Always Target Frequency It defines the target excitation frequency Maximum 1010Hz Always Always It defines the maximum frequency settable by WIN120 frequency Always Always Set vent valve Set vent valve Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 259 6 = Fault DRV8305 5 = Vdc (supply) Over Voltage 4 = Thermalpad Overtemp 3 = Vdc (supply) Under Voltage 2 = Controller Over Temp 1 = Pump Over Temp 0 = No connection to pump Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 260 Always It indicates the pump temperature filter value with T=1hour Temperature Always Average Current It indicates the bus current filter value with T=1hour Always Average Power It indicates the power supplied filter value with T=1hour Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 261 RS485 Address (accessible with every serial address) Always Always Run Up time Run Up time Always Always RUTimeCtrl Run Up time control Read Data/Time 12 char for Read Data/Time RTC in the next format: Always DDMMYYhhmmss Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 262 Low Level 11 chars 11 chars Reset 4 chars Impulse Continuous 10 chars 10 chars 10 chars 10 chars °C 65535 0,2s Normally Normally Closed Open °C 65535 0,2s 1/10V °C °C °C °C hours °C Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 263 E: Thermal pad over temperature F: Vdc over voltage G: Fault DRV8305 H: Too high load I: Rotor locked L: RFU/Not used (RFU=Reserved for Future Use) M: Body HW over temperature N: Run Up Time Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 264: Nfc Function

    NFC icon on the controller. WARNING Before downloading the dedicated App, check the compatibility with the operating system of the device used. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 265 NFC icon on the controller and take the smartphone at a distance less than 2 cm (1 in). Figure 88 NFC connection with 305-IC and mobile devices NOTE This function can also be used when the pump is off. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 266: Screenshot App

    Technical Information Screenshot APP Figure 89 Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 267: Connection Through Usb Port

    The USB port should be used as a communication port for service purposes only (for example: firmware update performed by Agilent service personnel). Do not use the USB port for any other purpose like to control the electronic unit under the normal operating conditions.

  • Page 268: Error Messages

    Check for the pump rotor can spin freely. Restart the pump. Fault DRV8305 Mosfet bridge driver Contact Agilent to get ON, Solid ON, Inv failure appropriate directions. Flash Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...
  • Page 269 Gas Load selection, application. as shown below: Wait for the pump (Ar) --> 50°C temperature to return ) --> 55°C below the related (He) --> 60°C threshold. Restart the pump. Agilent TwisTorr 305-IC User Manual...

  • Page 270: Warning Messages

    If YES, reconnect the load. If NO, contact Agilent to get the DO2 THERMALFAIL DO2 Digital Output shut down appropriate directions. due to its overtemperature...
  • Page 271 DO1 OVERLOAD DO1 Digital Output is ACTIVE, OFF/ON ON, Solid Blinking/ insulation. too high load is connected to Solid Flashing/ If NO, contact Agilent to get the the output Inv.Flashing/ appropriate directions Solid DO2 OVERLOAD DO2 Digital Output is ACTIVE, OFF/ON...

  • Page 272: Accessories And Spare Parts

    Vent Valve N.O. 1, 2 mm (Kit X3514-68001 is required) 9699834 Vent Valve N.O. 0,5 mm (Kit X3514-68001 is required) 9699834M006 DB15 Mating Connector not wired 7.5A X3514-68000 TwisTorr 305-IC Fan/Vent Adapter kit X3514-68001 Inlet screen ISO 100 X3500-68000 Inlet Screen CFF 6” 9699302...
  • Page 278 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109...
  • Page 279 The manual describes the following: Istruzioni per l’uso  Bedienungshandbuch  Notice de mode d’emploi  Manual de istrucciones  用户手册  ユーザーマニュアル  Instruction for Use  Technical information  www.agilent.com © Agilent Technologies, Inc. 2022 Edition C.00, 11/22 *87-901-058-01* *87-901-058-01* 87-901-058-01...

Table des Matières