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前真空泵的连接 - Agilent TwisTorr 305-IC Manuel De L'utilisateur

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使用说明
前真空泵的连接
应使用 TwisTorr 305-IC 上提供的 KF 16 NW 法兰进行前级连接。与前级泵的连接可
以通过真空额定软管或管道进行。如果使用刚性管道，则必须使用波纹管来抑制机
械泵产生的任何振动。
TwisTorr 305-IC 的特点是它对油蒸气的高压缩比。使用机械油封泵时，建议在涡
注意
轮泵和前真空泵之间安装合适的疏水阀，以防止干泵的机油或颗粒回流。
Agilent TwisTorr 305-IC User Manual
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