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Introduction
Tableau 2 Abréviations (continued)
Abréviation
Débitmètre
massique
MSD
NCI
OFN
PCI
PFDTD
PFHT
PFTBA
Quad
RF
RFPA
Torr
Turbo
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Définition
Débitmètre massique
Détecteur de masse
Négative, CI
Octafluoronaphthalène (composé de référence)
Ionisation chimique positive (Positive CI)
Perfluoro-5, 8-diméthyl-3, 6, 9-trioxydodécane (composé de référence)
2, 4, 6-tris(perfluoroheptyl)-1, 3, 5-triazine (composé de référence)
Perfluorotributylamine (étalon)
Filtre de masse quadripolaire
Radiofréquence
Amplificateur d'alimentation RF
Unité de pression, 1 mmHg
Turbomoléculaire, pompe turbomoléculaire
Manuel d'utilisation du détecteur de masse (MSD) série 5977B HES