Table des Matières
Publicité
NEE!
! ! ! !
GEVAAR!
Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen
enkele
reden,
de
vingers
inlaatopening van de turbompomp worden gestoken. Men
raadt gebruik van het beschermgaasje aan (optional). Als
een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de
inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan
de basis bevestigen.
De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V 250SF
mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een van de
speciale Varian controllers (serie 969-9423, 969-9504, 969-
9523, 969-9425, of 969-9866) en moeten aangesloten zijn op
een primaire pomp (zie schema in ìTechnical Informationî).
De turbopomp kan in alle standen worden geÔnstalleerd.
Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die
een koppel van 1000 Nm rondom de eigen as kan verdragen,
of gebruik het speciale optie-pakket voor bevestiging aan de
basis.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacu¸mkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde
klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten
worden.
FLENS
KLEMTYPE
ISO 100
Dubbele klem
met M10
schroefdraad
Enkelvoudige
klem met M8
schroefdraad
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacu¸mkamer worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor
meer informatie de bijlage ìTechnical Informationî.
Om de pomp met behulp van zijn basis te bevestigen, zijn drie
M4 bouten nodig die in de gaten in de basis van de pomp
worden ingebracht. Deze bouten moeten een vloeisterkte van
2
500 N/mm
bezitten en met een koppel van 0,9 Nm worden
aangehaald.
Zie ìTechnical Informationî voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp
zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld.
Lees aandachtig deze handleiding vÛÛr ingebruikname door.
Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis
verwarmd
worden
met
verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de
vacu¸mkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer
dan 120T C bedragen.
of
voorwerpen
in
de
NR.
AANHAALKOPPEL
4
22 Nm
8
11 Nm
behulp
van
een
optionele
Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe.
! ! ! !
Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
! ! ! !
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort
moet
atmsoferische druk) bedragen.
! ! ! !
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen
anders beschadigd raken.
! ! ! !
Gebruik voor het pompen van agressieve gassen alleen de
speciale uitvoeringen van de Turbo-V250SF pomp. Deze
pompen zijn voorzien van een speciale poort, waardoor een
stroom inert gas moet worden geleverd die varieert tussen 0.4
en 1 mbar lt/s.
ONDERHOUD
De pompen van de serie Turbo-V250SF zijn onderhoudsvrij.
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel
worden uitgevoerd.
! ! ! !
Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart
"Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het
plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van
deze kaart moet vÛÛr versturing bij de pomp in de verpakking
worden gevoegd.
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
12
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
GEVAAR!
ATTENTIE!
minder dan 2 bar (boven de
ATTENTIE!
ATTENTIE!
GEVAAR!
OPMERKING
87-900-881-01(B)
Publicité
Table des Matières
