Table des Matières
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NO!
! ! ! !
°PELIGRO!
Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por
ning˙n motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada
de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de
protecciÛn (opcional). Si se utiliza un amortiguador de
vibraciones o un fuelle met·lico flexible en la boca de
entrada, fijar siempre la turbobomba a la base.
Cuando hay campos electromagnÈticos la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. VÈase el apÈndice
ìTechnical Informationî para m·s detalles.
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V 250SF han
de utilizarse exclusivamente con uno de los controladores
Varian (serie 969-9423, 969-9504, 969-9523, 969-9425 Û 969-
9866) y se conectar·n a una bomba primaria (vÈase esquema
en ìTechnical Informationî).
La turbobomba se puede instalar en cualquier posiciÛn. Fijar la
turbobomba en posiciÛn estable uniendo la brida de entrada de
la turbobomba con una contrabrida fija capaz de resistir a un
par de 1000 Nm alrededor de su eje, o utilizando el kit opcional
apropiado para la fijaciÛn a la base.
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de ir fijada a la
c·mara de vacÌo mediante mordazas dobles o mordazas
individuales. La tabla siguiente describe el n˙mero de
mordazas necesarias y el par de apriete al que han de
apretarse.
BRIDA
TIPO DE MORDAZA
ISO 100
Mordaza doble
con rosca M10
Mordaza
individual
con rosca M8
La turbobomba con brida de entrada ConFiat se fijar· a la
c·mara de vacÌo mediante los accesorios mec·nicos Varian.
Para m·s detalles vÈase el anexo ìTechnical Informationî.
Para fijar la bomba mediante su base, es necesario utilizar tres
tornillos M4 fijados en los orificios correspondientes que se
encuentran en la base de la bomba. Los tornillos utilizados han
de tener una carga de deformaciÛn el·stica de 500 N/mm
han de fijarse a un par de 0,9 Nm.
Para instalar los accesorios opcionales, vÈase ìTechnical
Informationî.
UTILIZACION
Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de
control.
Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
Para obtener mejores presiones lÌmite, se puede calentar la
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.
Durante el posible calentamiento de la c·mara de vacÌo, la
temperatura de la brida de entrada no deber· superar 120UC.
N.
PAR DE
APRIETE
4
22 Nm
8
11 Nm
2
y
8
INSTRUCCIONES DE USO
Utilizar siempre la refrigeraciÛn por agua durante las
operaciones de calentamiento.
! ! ! !
°PELIGRO!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
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°ATENCION!
Para el envÌo de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partÌculas. La presiÛn de entrada a travÈs de la puerta
apropiada deber· ser inferior a 2 bar.
! ! ! !
°ATENCION!
EvÌtense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrÌan
daÒarse.
! ! ! !
°ATENCION!
Para bombear gases agresivos utilizar sÛlo las versiones
especiales de la bomba Turbo - V 250SF. Estas bombas van
dotadas de una puerta a travÈs de la cual es preciso
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte comprendido
entre 0.4 y 1 mbar l/s.
MANTENIMIENTO
Las bombas de la serie Turbo-V250SF no necesitan ning˙n
tipo de mantenimiento. Cualquier operaciÛn tendr· que ser
realizada por personal autorizado.
! ! ! !
°PELIGRO!
Antes de realizar cualquier intervenciÛn en la turbobomba,
desempalmar el conector de alimentaciÛn, enviar aire a la
bomba abriendo la v·lvula apropiada y esperar hasta que el
rotor se pare completamente.
En caso de averÌa se podr· utilizar el servicio de reparaciÛn
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.
NOTA
Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparaciÛn o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina de Ventas m·s cercana la ficha de
"Seguridad
y
Salud"
adjunta
instrucciones. Una copia de la misma se deber· introducir en
el embalaje de la bomba antes de enviarla.
En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su
eliminaciÛn respetando las normas nacionales especÌficas.
al
presente
manual
de
87-900-881-01(B)
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