Table des Matières
Publicité
‹berpr¸fen, dass die Pumpe f¸r die betreffende Anwendung
geeignet ist. Die Pumpe wurde f¸r den Gebrauch in PVD-
Pumpsystemen und im Allgemeinen f¸r Anwendungen, bei de-
nen ein ìsauberesî Vakuum erforderlich ist, konzipiert. F¸r an-
derweitige Anwendungen ist mit Varian Vacuum Technologies
oder mit Ihrem Lieferanten R¸cksprache zu halten.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die un-
gesch¸tzt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und ag-
gressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhˆhte
Brandgefahr besteht.
NEIN
!
!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschlieflen, darf auf auf keinen Fall
in die Einlaflˆffnung der Turbopumpe gegriffen oder ir-
gendwelche Gegenst‰nde eingef¸hrt werden. Es wird emp-
fohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehˆr). Bei
Installation eines Ersch¸tterungsd‰mpfers oder eines fle-
xiblen Metallbalges auf der Einlaflˆffnung mufl die Turbo-
pumpe immer am Unterteil fest installiert.
Beim Betrieb m¸ssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
-
Maximaldruck: 2 Bar ¸ber dem atmosph‰rischen Druck
-
Temperatur: von +5YC bis +35YC
-
Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend)
Sind Magnetfelder vorhanden, m¸ssen die Pumpen ¸ber Einsatz
eines entsprechend geeigneten Schutzschirms gesch¸tzt werden.
Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Informationî.
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V2000HT d¸rfen nur
mit einer der Varian-Spezial-Controller (Serie 969-9462, 969-
9562) benutzt werden und m¸ssen an eine Prim‰rpumpe ange-
schlossen werden (siehe Schema in "Technical Information"). Die
Turbopumpen kˆnnen in jeder Position installiert werden.
!
GEFAHR!
Die von der Pumpe gelieferte Leistungsst‰rke ist an den zu
pumpenden Gastyp anzupassen. ‹ber den Controller (siehe
Betriebsanleitung des Controllers) kann LUFT oder ARGON
(Default: ARGON) ausgew‰hlt werden. F¸r die Verwendung der
Pumpe mit anderweitigen Gasen ist mit Varian R¸cksprache zu
halten.
Installieren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie
den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge-
genflansch anschlieflen, der ein Drehmoment von 30000 Nm
um seine eigene Achse aush‰lt.
Die Turbopumpe mit ISOF Eintrittsflansch ist an der Vakuum-
kammer mit 12 Schrauben M10 aus Stahl mind. Klasse 8.8
2
(
= 800 N/mm
) zu befestigen. Es wird ein Schlieflmoment
s
r
von 22 Nm empfohlen.
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch m¸ssen mit dem
speziellen Varian- Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang
"Technical Information".
Installation Sonderzubehˆr: siehe "Technical Informationì.
ANWENDUNG
S‰mtliche Hinweise f¸r den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpen-
geh‰use mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt wer-
den. W‰hrend der eventuellen Erw‰rmung der Vakuumkammer
darf die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors
120YC nicht ¸berschreiten. Vakuumsystemen die TP mit Was-
serk¸hlung arbeiten.
!
W‰hrend des Ausheizens d¸rfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heifle Anschluflteile ber¸hrt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
!
F¸r die Bel¸ftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Bel¸f-
tungsanschlufl mufl kleiner als 2 bar ¸ber dem atmosph‰ri-
schen Druck sein.
!
W‰hrend des Betriebs sind Stofl- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager besch‰digt werden kˆnnten.
!
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit ei-
ner ÷ffnungsklappe ausgestattet, ¸ber die zum Schutz der La-
ger ausschliefllich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugef¸hrt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
!
Wenn die Pumpe zur Fˆrderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, m¸ssen die f¸r
das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorg‰nge und Maflnah-
men befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Pr‰senz von explosiven
Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V2000HT sind wartungsfrei. E-
ventuelle Eingriffe d¸rfen nur von autorisiertem Fachpersonal
ausgef¸hrt werden.
!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe ¸ber ÷ffnung des entsprechenden Ventils bel¸ften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpengheh‰use unter 50YC abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "Varian ad-
vanced exchange service" in Anspruch genommen werden.
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian mufl
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgef¸llt an Varian geschickt und best‰tigt wer-
den. Eine Kopie mufl den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung mufl unter Einhaltung der ein-
schl‰gigen landes¸blichen Vorschriften erfolgen.
4
GEBRAUCHSANLEITUNG
GEFAHR!
ACHTUNG
!
ACHTUNG
!
ACHTUNG
!
GEFAHR!
GEFAHR!
ANMERKUNG
87-900-969-01
Publicité
Table des Matières
