Varian 969-9059 Serie Mode D'emploi page 19

KontrollÈr, at pumpen er egnet til den konkrete brug. Pumpen
er projekteret til brug i pumpesystemer til PVD eller generelt til
anvendelse, der krÊver et "rent" vakuum. Kontakt Varian
Vacuum Technologies eller forhandleren, hvis pumpen skal
benyttes til andre former for brug.
Pumpen m ikke installeres eller bruges i omgivelser, der
udsÊtter den for forvitring (regn, frost, sne), st¯v, Êtsende
luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller
stor brandfare.
NEJ!
! ! ! !
ADVARSEL!
For at undg personskader m fingre eller andre
genstande aldrig indsÊttes i turbopumpens indl¯bsdysen.
Det anbefales at anvende beskyttelsesnettet (optional).
SÂfremt der anvendes en befugter eller en blÊsebÊlg af
metal p indl¯bsdysen, skal turbopumpen altid fastg¯res til
basen.
F¯lgende betingelser skal overholdes under driften:
- maksimaltryk: 2 bar (over atmosfÊrisk tryk)
- temperatur: fra +5RC til +35RC
- relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).
Hvis der findes magnetfelter m pumpen afskÊrmes. Se bilag
ìTechnical Informationî for yderligere detaljer.
TurbomolekulÊrpumperne i Turbo-V2000HT serien m kun
anvendes med en af de sÊrlige Varian kontrolapparater (serie
969-9462, 969-9562) og skal forbindes med en primÊr pumpe
(se skemaet i "Technical Information").
Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling.
! ! ! !
ADVARSEL!
Pumpens effektniveau skal tilpasses i forhold til den pumpede
gastype. Ved at benytte styreenheden (se brugsanvisningen for
styreenheden) er det muligt at vÊlge LUFT eller ARGON
(standardindstilling: ARGON). Kontakt venligst Varian, hvis
pumpen skal benyttes til andre gastyper.
Den fastspÊndes ved, at turbopumpens indgangsflange
fastg¯res til en fast modflange, der er i stand til at modst et
drejningsmoment p 30000 Nm omkring aksen.
Turbopumpen med ISOF indgangsflange skal monteres p va-
kuumkammeret ved hjÊlp af 12 M10 stÂlskruer (min. styrkek-
2
lasse 8,8 (σ = 800 N/mm )). Anbefalet tilspÊndingsmoment:
r
22 Nm.
Turbopumpen med indl¯bsflange ConFlat skal fastspÊndes til
vakuumkammeret ved hjÊlp af de specielle fastg¯relsesdele
fra Varian. For detaljer henvises til îTechnical Informationî.
Se "Technical Information" for montering af optionals.
ANVENDELSE
Al vejledning angÂende turbopumpens korrekte drift er
beskrevet i hÂndbogen til kontrolenheden.
LÊs den nÊvnte hÂndbog omhyggeligt f¯r brugen.
For at opn bedre grÊnsetryk kan pumpebeklÊdningen
opvarmes. I forbindelse
vakuumkammeret m temperaturen for indgangsflangen og
rotoren ikke overskride 120R C. Brug altid vandafk¯ling under
opvarmningen.
! ! ! !
R¯r ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbeh¯r under
opvarmningsman¯vrerne. Den h¯je temperatur kan forÂrsage
kvÊstelser p personer.
Til pumpens luftafl¯b anvendes luft eller en inaktiv luftart, der
er fri for st¯v og partikler. Indgangstrykket gennem den sÊrlige
Âbning skal vÊre under 2 bar.
Undg sammenst¯d, vibrationer eller bratte bevÊgelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
Til pumpning af Êtsende luftarter er disse pumper forsynet
med en sÊrlig Âbning, hvortil den passive luftart (argon eller
kvÊlstof) skal sluttes for at beskytte lejerne (se bilaget
ìTechnical Informationî).
! ! ! !
NÂr pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller
radioaktive gasser, skal de gÊldende forskrifter for den enkelte
gastype strengt overholdes.
Pumpen m ikke anvendes i eksplosionsfarlige milj¯er.
VEDLIGEHOLDELSE
Pumperne af Turbo-V2000HT typen beh¯ver ikke nogen
vedligeholdelse. Ethvert indgreb p pumpen skal foretages af
autoriseret personale.
! ! ! !
Inden der foretages noget som helst indgreb p turbopumpen,
skal str¯mmen f¯rst afbrydes og luften lukkes ud af pumpen
ved, at man Âbner den sÊrlige ventil og venter indtil rotoren er
standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end
50RC.
Hvis pumpen gÂr i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange
Service", hvorved man kan f en repareret pumpe i bytte for
den, der er gÂet i stykker.
Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller
til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne hÂndbog og tilsende den
til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlÊgges
i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.
Hvis en pumpe skal
overensstemmelse med det pÂgÊldende lands sÊrlige love.
14
BRUGSANVISNING
med eventuel opvarmning
ADVARSEL!
! ! ! !
VIGTIGT!
! ! ! !
VIGTIGT!
! ! ! !
VIGTIGT!
ADVARSEL!
ADVARSEL!
BEM5RK
skrottes, skal dette
87-900-969-01
af
foreg i