Varian 969-9059 Serie Mode D'emploi page 13

Verificar que la bomba sea adecuada para el uso que de ella
se desea hacer. La bomba ha sido proyectada para empleo en
sistemas de bombeo para PVD o para aplicaciones en las que
generalmente se requiere un vacÌo ìlimpioî. Respecto de otras
aplicaciones sÌrvase contactar
Technologies o con su proveedor.
No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a agentes
atmosfÈricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos, en
ambientes explosivos o con alto riesgo de incendio.
NO!
! ! ! !
°PELIGRO!
Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por
ning˙n motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada
de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de
protecciÛn (opcional). Si se utiliza un amortiguador de
vibraciones o un fuelle met·lico flexible en la boca de
entrada, fijar siempre la turbobomba a la base.
Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- presiÛn m·xima: 2 bar por encima de la presiÛn
atmosfÈrica
- temperatura: de +5TC a + 35TC
- humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora).
Cuando hay campos electromagnÈticos la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. VÈase el apÈndice
ìTechnical Informationî para m·s detalles.
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V2000HT se
deber·n utilizar sÛlo con uno de los controladores apropiados
Varian (serie 969-9462, 969-9562) y se deber·n acoplar a una
bomba primaria (vÈase esquema en "Technical Information".
La turbobomba se puede instalar en cualquier posiciÛn.
! ! ! !
°PELIGRO!
El nivel de potencia suministrado a la bomba debe ser
predispuesto en funciÛn del tipo de gas bombeado. Operando
mediante el controller (vÈase el manual del controller) es
posible seleccionar AIRE o ARGON (por defecto: ARGON).
Para utilizar la bomba con otros tipos de gases sÌrvase
contactar previamente con Varian.
Fijar la turbobomba en posiciÛn estable acoplando la brida de
entrada de la turbobomba a una falsa brida fija que pueda
soportar un par de 30000 Nm alrededor de su eje
La turbobomba con brida de entrada ISOF debe ser fijada a la
c·mara de vacÌo mediante 12 tornillos M10 de acero de clase
no inferior a 8.8 ( = 800 N/mm
s
r
apriete de 22 Nm.
La turbobomba con brida de entrada ConFiat ha de fijarse a la
c·mara de vacÌo mediante accesorios mec·nicos Varian. Para
m·s detalles vÈase el apÈndice ìTechnical Informationî.
Para la instalaciÛn de los opcionales, vÈase ìTechnical
Informationî.
con Varian Vacuum
2
). Se sugiere aplicar un par de
UTILIZACI"N
Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de
control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
Para obtener mejores presiones lÌmite, se puede calentar la
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.
Durante el eventual calentamiento de la c·mara de vacÌo, la
temperatura de la brida de entrada y del rotor no debe superar
nunca 120 kC. Utilizar siempre la refrigeraciÛn por agua
durante las operaciones de calentamiento.
! ! ! !
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante
las operaciones de calentamiento. La alta temperatura
puede provocar lesiones a las personas.
! ! ! !
Para el envÌo de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partÌculas. La presiÛn de entrada a travÈs de la puerta
apropiada deber· ser inferior a 2 bar por encima de la presiÛn
atmosfÈrica.
! ! ! !
EvÌtense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrÌan
daÒarse.
! ! ! !
Para bombear gases agresivos estas bombas est·n dotadas
de una puerta especÌfica mediante la cual es necesario
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (NitrÛgeno o
ArgÛn) para proteger los rodamientos (vÈase el apÈndice
ìTechnical Informationî).
! ! ! !
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tÛxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados tÌpicos de cada gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
MANTENIMIENTO
Las bombas de la serie Turbo-V2000HT no necesitan ning˙n
mantenimiento. Cualquier intervenciÛn deber· ser realizada
por personal autorizado.
! ! ! !
Antes de realizar cualquier intervenciÛn en la turbobomba,
desempalmar el conector de alimentaciÛn, enviar aire a la bomba
abriendo la v·lvula apropiada y esperar hasta que el rotor se pare
completamente y esperar a que la bomba estÈ por debajo de 50
kC.
En caso de averÌa se podr· utilizar el servicio de reparaciÛn
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.
Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparaciÛn o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina de Ventas m·s cercana la ficha de
"Seguridad y Salud"
instrucciones. Una copia de la misma se deber· introducir en
el embalaje de la bomba antes de enviarla.
En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su
eliminaciÛn respetando las normas nacionales especÌficas.
8
INSTRUCCIONES DE USO
°PELIGRO!
°ATENCI"N!
°ATENCI"N!
°ATENCI"N!
°PELIGRO!
°PELIGRO!
NOTA
adjunta al presente manual
87-900-969-01
de