ZPRÁVY
OVERVOLTAGE
FLOW METER
ALARM
Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
POPIS
Vznikla porucha v napájecí
sekci kontroléru, nebo
kontrolér dostal falešný
signál.
Alarm vztahující se na tok
purge. Hodnota toku
zůstala oproti hodnotě
nastavené na nižší
hodnotě po dobu vyšší
nebo rovnající se 10
vteřinám.
Návod k Použití
Chybné zprávy
KOREKCE
Stisknout dvakrát tlačítko START
pro opětné spuštění čerpadla. Po
opětné zprávě, z důvodu údržby je
nutné se obrátit na Agilent.
Zkontrolovat, zda plynový
napájecí obvod funguje správně.
13
167/260