Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Procedure di uso 20 Manutenzione 20 Smaltimento 21 Messaggi di errore 22 Gebrauchsanleitung 25 Allgemeines 26 Lagerung 26 Vor der Installation 27 Installation 28 Gebrauch 29 Bedienung 32 Wartung 32 Entsorgung 33 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 5/260...
Page 6
Manual de istrucciones 49 Información general 50 Almacenamiento 50 Preparación para la instalación 51 Instalación 52 Uso 52 Procedimientos de uso 56 Mantenimiento 56 Eliminación 57 Mensajes de error 58 6/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 7
Mensagens de erro 70 Bedrijfshandleiding 73 Algemene informatie 74 Opslag 74 Voorbereiding voor installatie 75 Installatie 76 Gebruik 77 Gebruiksprocedures 80 Onderhoud 80 Afvalverwerking 81 Foutmeldingen 82 Istruktionsbog 85 Generel Information 86 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 7/260...
Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual Istruzioni per l’uso Informazioni Generali 14 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 15 Installazione Comandi, Indicatori e Connettori del Controller 18 Procedure di uso 18 Accensione del Controller Avvio della Pompa 20 Arresto della Pompa Manutenzione...
Immagazzinamento Durante il trasporto e l’immagazzinamento dei controller devono essere soddisfatte le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da -20 °C a +70 °C umidità relativa: 0 – 95 % (senza condensa) 14/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
869-9447 per 220 Vac il modello 869-9547 per 120 Vac Verificare che sia stata selezionata la tensione corretta e quindi ricollegare il cavo di alimentazione. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 15/260...
Per il collegamento del controller con la relativa pompa utilizzare il cavo specifico del controller stesso. Per gli altri collegamenti e I'installazione degli accessori opzionali, vedere la sezione "Technical Information". 16/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Il connettore di richiusura J1 deve essere lasciato collegato con il suo ponticello NOTA se non viene effettuato alcun collegamento esterno. La pompa di pre-vuoto e la pompa Turbo-V possono essere accese contemporaneamente. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 17/260...
Premendo assieme i pulsanti 3 e 4 per almeno 2 secondi viene attivato un programma con il quale è possibile selezionare alcuni parametri operativi. Display alfanumerico a cristalli liquidi: matrice di punti, 2 linee x 16 caratteri. 18/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 19
Modulo di ingresso dell’alimentazione per il Controller. Comprende il fusibile di protezione, il cambia tensione, la presa di alimentazione di potenza ed il filtro EMC. Interruttore di linea. Collegamento di terra. Connettore cavo pompa. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 19/260...
Per arrestare la pompa occorre premere il pulsante STOP del pannello frontale. Manutenzione I controller della serie Turbo-V 3K-T non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Agilent o del "Agilent advanced exchange service", che permette di ottenere un controller rigenerato in...
Attendere che la CONTROLLER trasformatore del controller ha temperatura ritorni al di OVERTEMPERATURE superato i 90 °C. sotto della soglia. Premere due volte il pulsante START per riavviare la pompa. 22/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 23
Il valore del flusso è funzionamento del circuito rimasto ad un valore inferiore di alimentazione del gas. alla soglia impostata, per un tempo maggiore o uguale a 10 secondi. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 23/260...
Page 24
Istruzioni per l’uso Messaggi di errore 24/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Lagerung Beim Transport und bei der Lagerung der Controller müssen folgende klimatische Verhältnisse eingehalten werden: Temperatur: von -20 °C bis +70 °C Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 95 % (nicht kondensierend) 26/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Alle Agilent-Controller sind werkseitig für eine bestimmte Anschlußspannung ausgelegt: Modell 869-9447 für 220 VWs Modell 869-9547 für 120 VWs Sicherstellen, daß die korrekte Spannung gewählt wurde, und das Netzkabel wieder anschließen. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 27/260...
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95 % (nicht kondensierend). Für den Anschluß des Controllers an die Pumpe muß das zum Controller gehörende Kabel benutzt werden. Für weitere Hinweise bezüglich Anschlüsse und Montage des bestellbaren Zubehörs siehe "Technical Information". 28/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Schließflansch abgedeckt ist. Der Wiederverschließ-Verbinder J1 muß mit seiner Brücke angeschlossen HINWEIS bleiben, wenn kein externer Anschluß erfolgt. Die Vorvakuumpumpe und die Turbo-V-Pumpe können gleichzeitig eingeschaltet werden. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 29/260...
Betriebsmodus. Bei gemeinsamer, mindestens 2 Sekunden langer Betätigung der Tasten 3 und 4 wird ein Programm aktiviert, mit dem einige Betriebsparamter programmiert werden können. Alphanumerisches Flüssigkristall-Display: Punktmatrix, 2 Zeilen mit 16 Stellen. 30/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 31
Ansteuerfrequenzen. Platz für den Verbinder des seriellen Anschlusses RS-232 – RS-485 (Option). Reinigungsverbinder. Versorgungseingangsmodul für den Controller. Umfaßt die Schutzsicherung, den Spannungswandler, die Leistungsanschlußbuchse und den EMC-Filter. Hautptschalter. Erdungsanschluß. Pumpenkabelverbindung Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 31/260...
Zum Stoppen der Pumpe muß die STOPP-Taste an der Fronttafel gedrückt werden. Wartung Die Controller der Serie Turbo-V 3K-T sind wartungsfrei. Eventuell erforderliche Eingriffe müssen von dazu befugtem Fachpersonal ausgeführt werden. Bei einem Defekt kann der Agilent- Reparaturdienst bzw. der "Agilent advanced exchange service" in Anspruch genommen werden, der für die Erneuerung defekter...
Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 33/260...
FAULT: Die Temperatur des Controller- Warten bis die Temperatur CONTROLLER Trafos hat 90 °C überschritten. unter den Schwellenwert OVERTEMPERATURE gesunken ist. Die Pumpe durch zweimalige Betätigung der START-Taste neustarten. 34/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 35
Alarm hinsichtlich Einwandfreien Betrieb des ALARM Auswurffluß. Der Flußwert Gasversorgungskreises befindet sich für die Dauer von überprüfen. mehr als oder gleich 10 Sekunden auf einem Wert unterhalb der eingestellten Schwelle. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 35/260...
Page 37
Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual Mode d’emploi Indications generales 38 Emmagasinage Preparation pour l‘installation 39 Installation Utilisation Commandes, Indicateurs et Connecteurs du Contrôleur 42 Procedures d'utilisation Allumage du Contrôleur 44 Mise en marche de la Pompe Arrêt de la Pompe 44...
Les contrôleurs de la série Turbo-V 3K-T sont des convertisseurs de fréquence, contrôlés par un microprocesseur, réalisés avec des éléments à l'état solide et ayant des capacités d'autodiagnostic et d'autoprotection.
Chaque contrôleur est fourni par Agilent pré-équipé pour une certaine tension d'alimentation: le modèle 869-9447 pour 220 Vca le modèle 869-9547 pour 120 Vca. S'assurer que la tension correcte a été sélectionnée, puis reconnecter le câble d'alimentation. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 39/260...
Pour la connexion du contrôleur à la pompe correspondante, utiliser le câble du contrôleur prévu à cet effet. Pour les autres connexions et pour l'installation des accessoires en option, voir la section "Technical Information". 40/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Laisser le connecteur de réenclenchement J1 connecté à sa barrette s'il n'est NOTE procédé à aucune connexion extérieure. La pompe à pré-vide et la pompe Turbo- V peuvent être mises en marche simultanément. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 41/260...
3 et 4 pendant 2 secondes au moins, on active un programme avec lequel il est possible de sélectionner certains paramètres opérationnels. Ecran alphanumérique à cristaux liquides: matrice de points, 2 lignes x 16 caractères. 42/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 43
RS-232 – RS485 (fournie en option). Purge-vent connector. Connecteur pour le câble d’alimentation du heater jacket. Interrupteur de ligne. Connexion de mise à la terre. Connecteur pour le câble de la pompe. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 43/260...
Pour arrêter la pompe, presser l'interrupteur STOP du tableau frontal. Entretien Les contrôleurs de la série Turbo-V 3K-T n'exigent aucun entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel agréé. En cas de panne, il est possible de s'adresser au Ser-vice de réparation Agilent ou bien au "Agilent advance exchange service"...
La température du Attendre que la CONTROLLER transformateur du contrôleur a température retourne au- OVERTEMPERATURE dépassé 90 °C. dessous du seuil. Presser deux fois l'interrupteur START pour remettre la pompe en marche. 46/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 47
Vérifier le bon ALARM purge. La valeur du flux est fonctionnement du circuit restée au dessous du seuil d’alimentation du gaz. défini pour une période supérieure ou égale à 10 secondes. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 47/260...
Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual Manual de istrucciones Información general Almacenamiento 50 Preparación para la instalación 51 Instalación Mandos, Indicadores y Conectores del Controler Procedimientos de uso Encendido del controler56 Puesta en marcha de la Bomba 56 Parada de la Bomba Mantenimiento Eliminación...
Los controlers de la serie Turbo-V 3K-T son convertidores de frecuencia, controlados por un microprocesador, realizados con componentes en estado sólido y con capacidad de autodiagnosis y autoprotección.
869-9447 por 220 Vac el modelo 869-9547 por 120 Vac Comprobar que se ha seleccionado la tensión correcta y luego volver a conectar el cable de alimentación. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 51/260...
En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Para más detalles y para procedimientos que impliquen conexiones u opcionales especiales, les remitimos al apartado “Use” del anexo “Technical Informations”. 52/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 53
El conector di cierre J1 ha de dejarse conectado con su conector puente si no se NOTA efectúa ninguna conexión exterior. La bomba pre-vacío y la bomba Turbo-V pueden encenderse simultáneamente. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 53/260...
3 y 4 durante 2 segundos por lo menos, se activa un programa con el cual se pueden seleccionar algunos parámetros operativos. Display alfanumérico de cristales líquidos: matriz de puntos, 2 líneas x 16 caracteres. 54/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 55
Módulo de entrada de la alimentación para el controler. Comprende el fusible de protección, el cambiador de tensión, la toma de alimentación de potencia y el filtro EMC. Interruptor de línea. Conexión de tierra. Conector del cable de la bomba. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 55/260...
Para detener la bomba hay que apretar el pulsador STOP del panel frontal. Mantenimiento Los controlers de la serie Turbo-V 3K-T no necesitan ningún mantenimiento. Cualquier operación ha de ser efectuada por personal autorizado. En caso de avería es posible utilizar el servicio de reparación Agilent o del “Agilent advance exchange service”, que...
éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 57/260...
CONTROLLER transformador del controler ha temperatura vuelva por OVERTEMPERATURE superado los 90 ºC. debajo del umbral. Apretar dos veces el pulsador START para volver a poner en marcha la bomba. 58/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 59
(purge). El valor del funcionamiento del circuito flujo se ha quedado a un valor de alimentación del gas. inferior deI limen impostado durante un tiempo mayor o igual de 10 segundos. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 59/260...
Page 60
Manual de istrucciones Mensajes de error 60/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual Manual de Istruções Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Comandos, Indicadores e Conectores do Controller 66 Procedimentos de uso 68 Acendimento do Controller 68 Activação da bomba Paragem da bomba 68 Manutenção...
às normas nacionais específicas. Os controllers da série Turbo-V 3K-T são conversores de frequência, controlados por um microprocessador, realizados com componentes em estado sólido e com capacidade de autodiagnóstico e autoprotecção.
869-9447 para 220 Vac o modelo 869-9547 para 120 Vac Verificar se foi seleccionada a tensão correcta e, a seguir, ligar novamente o cabo de alimentação. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 63/260...
Para a ligação do controller à respectiva bomba, utilizar o cabo específico do próprio controller. Para as outras ligações e a instalação dos acessórios opcionais, ver a secção "Technical Information". 64/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
O conector de fecho J1 deve permanecer ligado à sua ponte se não é efectuada NOTA nenhuma ligação externa. A bomba de pré-vácuo e a bomba Turbo-V podem ser ligadas simultaneamente. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 65/260...
3 e 4 por, no mínimo, 2 segundos, é activado um programa com o qual é possível programar alguns parâmetros operativos. Mostrador alfanumérico a cristais líquidos: matriz por pontos, 2 linhas x 16 caracteres. 66/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 67
Módulo de entrada da alimentação para o Controller. Compreende o fusível de protecção, o transformador de tensão, a tomada de alimentação de potência e o filtro EMC. Interruptor de linha. Ligação à terra. Conector do cabo da bomba. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 67/260...
Para parar a bomba, é necessário premer o botão STOP do painel frontal. Manutenção Os controllers da série Turbo-V 3K-T não requerem qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. Em caso de defeito é possível utilizar o serviço de reparação Agilent ou o "Agilent advanced exchange service", que permite obter um...
A temperatura do transformador Aguardar até que a CONTROLLER do controller superou os 90 ºC. temperatura volte ao limite OVERTEMPERATURE estabelecido. Premer duas vezes o botão START para reactivar a bomba. 70/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 71
Verificar se o circuito de ALARM descarga. O valor do fluxo alimentação do gás permaneceu num valor inferior funciona correctamente. ao limite estabelecido, durante um tempo maior ou igual a 10 segundos. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 71/260...
Page 72
Manual de Istruções Mensagens de erro 72/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 73
Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual Bedrijfshandleiding Algemene informatie 74 Opslag 74 Voorbereiding voor installatie Installatie Gebruik Bedieningsorganen, Controlelampjes en Connectoren van de Controller 78 Gebruiksprocedures Inschakelen van de controller Starten van de pomp Stoppen van de pomp 80 Onderhoud...
Tijdens het transport en de opslag van de controllers moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: temperatuur: van -20 °C tot +70 °C relatieve vochtigheid: 0 – 95 % (niet condenserend) 74/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Agilent heeft elke controller voorbereid voor een bepaalde voedingsspanning: het model 869-9447 voor 220 Vac het model 869-9547 voor 120 Vac Controleer of de juiste spanning is gekozen en sluit de voedingskabel weer aan. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 75/260...
Gebruik voor aansluiting van de controller op de pomp de speciale kabel van de controller. Voor de overige aansluitingen en de installatie van de accessoires wordt verwezen naar het hoofdstuk "Technical Information". 76/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
De connector J1 moet met zijn jumper aangesloten blijven als geen externe OPMERKING aansluiting tot stand wordt gebracht. De pre-vacuümpomp en de Turbo-V pomp mogen beide gelijktijdig ingeschakeld zijn. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 77/260...
3 en 4 gelijktijdig gedurende ten minste 2 seconden in te drukken, wordt een programma gestart waarmee enkele bedrijfsparameters kunnen worden geprogrammeerd. Alfanumeriek display met vloeibare kristallen (LCD): puntjespatroon, 2 lijnen x 16 78/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 79
Ruimte bestemd voor de connector van de seriële communicatiepoort RS-232 – RS-485 (geleverd als optie). Ontluchtingsconnector. Ingangsmodule van de voeding voor de controller. Omvat zekering, spanningswisseling, krachtcontact- stop en EMC filter. Hoofdschakelaar. Aardaansluiting. Connector voor pompkabel. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 79/260...
Voor het stoppen van de pomp de STOP knop op het frontpaneel bedienen. Onderhoud De controllers van de serie Turbo-V 3K-T zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Agilent of de "Agilent advanced exchange service"...
Controleer of de pomprotor vrij kan LOAD ligt de door de pomp draaien. Bedien twee maal de geabsorbeerde stroom START-knop om de pomp weer op hoger dan de te starten. geprogrammeerde waarde (8 A). 82/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 83
FLOW METER Alarm betreffende de Controleer of het gastoevoercircuit ALARM reinigingsstroom. De correct functioneert. stromingswaarde is gedurende 10 of meer seconden beneden de ingestelde drempelwaarde gebleven. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 83/260...
Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual Istruktionsbog Generel Information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Anvendelse Kontroller, Indikatorer og Kontakter på Styreenheden 90 Instruktion Start af styreenheden 92 Start af pumpen Stop af pumpen Vedligeholdelse 92 Bortskaffelse Fejlmeddelelser Oversættelse af originalinstruktionerne...
Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK Opbevaring Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved transport og opbevaring af styreenheden: temperatur: fra -20 °C til +70 °C relativ luftfugtighed: 0 – 95 % (ikke kondenserende) 86/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Styreenheden leveres fra Agilent forindstillet til en vis strømforsyning: modellen 869-9447 til 220 V vekselstrøm modellen 869-9547 til 120 V vekselstrøm Kontrollér at den valgte spænding er korrekt. Tilslut strømkablet. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 87/260...
0 – 95 % (ikke kondenserende) Pumpen og styreenheden tilsluttes med det specielle kabel, der leveres med styreenheden. For øvrige tilslutninger og installation af tilbehør henvises til afsnittet "Technical Information". 88/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Start aldrig pumpen, hvis pumpetilløbet ikke er tilsluttet systemet eller er blokeret. Afbryderkontakten J1 skal forblive tilsluttet med aktuel bro, når der ikke udføres BEMÆRK eksterne tilslutninger. Forvakuumpumpen og Turbo-V-pumpen skal fungere samtidigt. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 89/260...
Når trykknapperne 3 og 4 holdes trykket ind samtidigt i mindst 2 sekunder, starter et program, der gør det muligt, at programmere visse driftparametre. LCD-display med tal og bogstaver: punktmatrice, 2 rader med 16 tegn. 90/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 91
Tilgængelig plads til kontakt til serieport RS-232 – RS-485 (leveres som tilbehør). Udløbskonnektor. Spændingsindgangsmodul til styreenheden. Modulet omfatter hovedsikringer, spændingsomkobler, udtag til hovedledning og EMC-filter. Linieafbryder.Kontakt til forsyningskabel til heater jacket. Jordforbindelse. Kontakt til pumpens kabel. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 91/260...
ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på styreenheden, skal strømmen først afbrydes. Skrotning af pumpen skal foregå i overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. 92/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 93/260...
START for at starte pumpen igen. FAULT: SHORT Under normal drift (efter Kontrollér forbindelserne mellem CIRCUIT startfasen) er pumpe og styreenhed. Tryk to udgangseffekten kortsluttet. gange på START for at starte pumpen igen. 94/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 95
FLOW METER Alarm for udluftningsventil. Kontrollér, at kredsløbet til ALARM Værdien for gasforsyning fungerer korrekt. gennemstrømningen er under den indtastede tærskelværdi i et tidsrum på min. 10 sekunder. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 95/260...
Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual Bruksanvisning Allmän Information Förvaring Förberedelser för installation Installation Användning Kontroller, Indikatorer och Kontakter på Styrenheten Instruktioner för bruk 104 Start av styrenheten Start av pumpen Stopp av pumpen 104 Underhåll Bortskaffning Felmeddelanden 106 Översättning av originalinstruktionerna...
Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA Förvaring Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport och förvaring av styrenheten: temperatur: från -20 °C till +70 °C relativ luftfuktighet: 0 – 95 % (utan kondens) 98/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Styrenheten levereras från Agilent med förinställning för en viss matningsspänning: modellen 869-9447 för 220 V växelström modellen 869-9547 för 120 V växelström Kontrollera att den valda matningsspänningen är korrekt. Återanslut strömkabeln. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 99/260...
0 – 95 % (utan kondens) Pumpen och styrenheten ansluts med den speciella kabeln, som levereras med styrenheten. Beträffande övriga anslutningar och installation av tillbehör hänvisas till avsnittet "Technical Information". 100/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
är kopplad till systemet eller är blockerad på plats med låsflänsen. Stängningskontakten J1 måste lämnas ansluten med aktuell brygga om ingen OBSERVERA extern anslutning utförs. Förvakuumpumpen och Turbo-V-pumpen kan fungera samtidigt. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 101/260...
Tryckknappen fungerar alltid, oavsett det valda styrsättet. När tryckknapparna 3 och 4 hålls samtidigt intryckta i minst 2 sekunder, startas ett program som tillåter att programmera vissa driftparametrar. LCD-display med siffror och bokstäver: punktmatris, 2 rader med 16 tecken. 102/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 103
Tillgängligt utrymme för kontakt till seriell port RS-232 –RS-485 (levereras som tillbehör). Dräneringskoppling. Spänningsingångsmodul för styrenheten. Modulen omfattar skyddssäkring, spänningsomkopplare, uttag för spänningsmatning och EMC-filter. Nätbrytare. Jordanslutning. Pumpens kontaktkabel. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 103/260...
Agilent utbytesservice, som kan ersätta styrenheten med en renoverad styrenhet. VARNING! Innan något arbete utförs på styrenheten måste dess strömförsörjning brytas. Skrotning av pumpen ska ske enligt gällande lagstiftning. 104/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 105/260...
Under normal drift förbrukar Kontrollera att pumpens LOAD pumpen en större effekt än det rotor kan rotera fritt. Tryck programmerade värdet. två gånger på knappen START för att starta om pumpen. 106/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 107
Agilent för underhåll. FLOW METER Larm angående Kontrollera korrekt funktion ALARM rengöringsflödet. Värdet är av gasens matningskrets. under det inmatade tröskelvärdet under 10 sekunder eller längre. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 107/260...
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK Lagring Når styreenhetene transporteres eller lagres, må følgende forhold være oppfylt: temperatur: fra 20 °C til +70 °C relativ fuktighet: 0 – 95 % (uten kondens) 110/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Styreenheten leveres fra Agilent med forhåndsinn-stillinger for en viss nettspenning: modellen 869-9447 for 220 V vekselstrøm modellen 869-9547 for 120 V vekselstrøm Kontroller at den valgte nettspenningen er korrekt, og kople maskinen til strømnettet. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 111/260...
"Use" i vedlegget "Technical Information”. Før styreenheten tas i bruk bør samtlige elektriske og pneumatiske tilkoplinger gjøres. Les brukerveiledningen for pumpen som er tilkoplet. 112/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 113
Lukkekontakten J1 må være tilkoplet aktuell brygge dersom det ikke skjer en MERK annen ekstern tilkopling. Forvakuumpumpen og Turbo-V-pumpen må fungere sammen. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 113/260...
Trykknappen fungerer alltid, uavhengig av styremåten. Når trykknappene 3 og 4 trykkes ned samtidig i minst to sekunder, startes et program som tillater utvelging av visse driftsparametre. LCD-display med siffer og bokstaver: punktmatrise, 2 rader med 16 tegn. 114/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 115
Tilgjengelig plass for kontakt til seriekanal RS-232 – RS-485 (leveres som ekstrautstyr). Koplingsstykke for drenering. Spenningsinngangsmodul for styreenheten. Modulen omfatter vernesikring, spenningsomkopler, uttak for spenningsmåling og EMC-filter. Hovedbryter. Jordkopling. Pumpens kabelkopling. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 115/260...
ødelagte styreenheten. ADVARSEL! Før noe arbeid utføres på styreenheten, må den frakoples strømnettet. Dersom en styreenhet skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser. 116/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 117/260...
START for å starte pumpen. FAULT: SHORT Ved normal drift (etter Kontroller tilkoplingene CIRCUIT startmomentet) er utgangen mellom pumpe og kortsluttet. styreenhet. Trykk to ganger på knappen START for å starte pumpen. 118/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 119
Agilent for vedlikehold. FLOW METER Alarm for purgestrømningen. Kontroller at ALARM Strømningsverdien har i 10 gassmatekretsen fungerer sekunder eller mer, blitt riktig. liggende på en verdi som er lavere enn innstilt terskel. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 119/260...
Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 125 Valvojan Säätimet, Osoittimet ja Liittimet 126 Käyttötoimenpiteet Valvojan käynnistys Pumpun käynnistys Pumpun pysäyttäminen 128 Huolto 128 Hävittäminen Vianetsintä Alkuperäisen ohjeiden käännös 121/260...
Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM Varastointi Valvojan kuljetuksen ja varastoinnin aikana tulevat seuraavat ympäristövaatimukset olla täytettyinä: lämpötila: -20 °C ja +70 °C asteen välillä suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ilman lauhdetta) 122/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Kuva 1 Valvojan pakkaus Jokainen valvoja on Agilentilla säädetty tietylle sähköjännitteelle: malli 869-9447 220 V:n vaihtovirralle malli 869-9547 120 V:n vaihtovirralle Tarkistakaa, että valittu jännite on oikea ja kytkekää virtakaapeli uudelleen. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 123/260...
0 °C ja +40 °C välillä suhteellinen kosteus: 0 - 95% välillä (ilman lauhdetta) Valvojaa kytkettäessä sille tarkoitettuun pumppuun käyttäkää valvojalle tarkoitettua erityiskaapelia. Muiden kytkentöjen ja valinnaisten lisälaitteiden asennusten suorittamiseksi, katsokaa kappaletta "Tekniset tiedot". 124/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Sulkimen J1 liitin tulee jättää yhdyskaapelilla kytketyksi, mikäli ulkoisia HUOM kytkentöjä ei suoriteta. Esityhjiöpumppu ja Turbo-V-pumppu voidaan käynnistää samanaikaisesti. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 125/260...
Tämä on aina käytössä riippumatta valitusta toiminnosta. Painettaessa painonappeja 3 ja 4 vähintään kahden sekunnin ajan aktivoituu ohjelma, jonka avulla on mahdollista valita joitakin toimintaparametrejä. Aakkosnumeerinen nestekidenäyttö : pistematriisi, 2 riviä x 16 merkkiä. 126/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 127
Logiikkasignaalien poistokytkentä ja pumpun sähkövirran ja herätetaajuuden tarkistus. Tila, joka on tarkoitettu viestintäportin sarjakytkennälle RS-232 – RS-485 (toimitetaan lisävarusteena). Epäpuhtauksien poistoliitin. Valvojan sähkövirran tulomoduuli. Käsittää suojasulakkeen, jännitteenmuuntajan, sähkövoiman pistorasian ja EMC suodattimen. Virtakatkaisin. Maadoitusliitäntä. Pumpun kaapelin liitin. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 127/260...
Pumpun pysäyttäminen Pumppu pysähtyy painettaessa etupaneelissa olevaa STOP- painonappia. Huolto Turbo-V 3K-T valvojia ei tarvitse huoltaa millään tavoin. Mahdolliset valvojaan tehtävät toimenpiteet tulee jättää aina valtuutetun henkilön tehtäviksi. Toimintahäiriön sattuessa on mahdollista käyttää Agilentin korjauspalvelua tai "Agilent advance exchange service" -palvelua, jolloin on mahdollista vaihtaa rikkoontunut valvoja ladattuun valvojaan.
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 129/260...
Painakaa START-painonappia kaksi kertaa, jolloin pumppu käynnistyy. FAULT: Valvojan muuntajan lämpötila Odottakaa, että lämpötila CONTROLLER on ylittänyt 90 °C:tta. palaa kynnysarvon OVERTEMPERATURE alapuolelle. Painakaa START-painonappia kaksi kertaa, jolloin pumppu käynnistyy. 130/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 131
Jos viesti ilmaantuu uudelleen, ottakaa yhteys Agilentiin huoltoa varten. FLOW METER Puhdistusvirtaukseen liittyvä Tarkista kaasun syöttöpiirin ALARM hälytys. Virtausarvo on jäänyt asianmukainen toiminta. asetettua kynnysarvoa alhaisemmaksi vähintään 10 sekunnin ajaksi. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 131/260...
Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual Felhasználói Kézikönyv Általános információk 134 Tárolás A telepítésre való előkészítés Telepítés Használat A vezérlő parancsai, kijelzői és csatlakozói Használati eljárások A vezérlő bekapcsolása 140 A szivattyú beindítása 140 A szivattyú leállítása Karbantartás Megsemmisítés 141 Hibaüzenetek...
A megjegyzések fontos, a szövegből kivonatolt információkat tartalmaznak. MEGJEGYZÉS Tárolás A vezérlők szállítása és tárolása során az alábbi környezeti feltételeket kell biztosítani: hőmérséklet: -20 °C és +70 °C között relatív nedvességtartalom: 0 – 95 % (nem lecsapódó). 134/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Valamennyi vezérlő meghatározott tápfeszültségre előkészítve kerül a Agilent által leszállításra: a 869-9447 modell 220 Vac a 869-9547 modell 120 Vac számára. Ellenőrzendő, hogy a megfelelő feszültség került-e kiválasztásra, majd csatlakoztatni kell a hálózati kábelt. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 135/260...
0 °C és +40 °C között; relatív nedvességtartalom: 0 – 95 % (nem lecsapódó). A többi összekötéssel és az opcionális kiegészítő felszerelések telepítésével kapcsolatosan lásd a ”Technical Information” című alfejezetet. 136/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
üzemeltetni. A J1 lezáró csatlakozó össze kell maradjon kötve a megfelelő átkötéssel MEGJEGYZÉS (jumper), ha nincs semmiféle külső összeköttetés. Az elő-vákuum és a Turbo-V szivattyú egyidejűleg is be lehetnek kapcsolva. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 137/260...
Mindig aktív, függetlenül a kiválasztott üzemmódtól. A 3-as és 4-es nyomógombot együtt legalább 2 másodpercig nyomva tartva, egy program kerül aktiválásra, melynek segítségével kiválasztható néhány üzemi paraméter. Folyadékkristályos alfanumerikus kijelző: pont-mátrixos, 2 sor x 16 karakter. 138/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 139
Rekesz az RS 232 – RS 485 soros kommuni-kációs portok csatlakozói számára (opcióként szállítva). Leengedő nyílás csatlakozója. Bementei tápellátó modul, a vezérlő számára. Magában foglalja a védőbiztosítékot, a feszültségváltót, a tápfeszültség dugós csatlakozóját és az EMC-szűrőt. Vonali megszakító. Földösszeköttetés. Szivattyúkábel csatlakozója. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 139/260...
VESZÉLY! A vezérlőn való bármely beavatkozás végrehajtása előtt ki kell húzni a hálózati csatlakozót. Amikor egy vezérlőt le kell selejtezni, megsemmisítésekor a tárgykörbe tartozó nemzeti normáknak megfelelően kell eljárni. 140/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 141/260...
FAULT: TOO HIGH Normál üzem közben a Ellenőrizni, hogy a szivattyú LOAD szivattyú által felvett áram forgórésze szabadon foroghat-e. nagyobb a programo- A szivattyú újraindításához zottnál. kétszer megnyomni a START nyomógombot. 142/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 143
FLOW METER A tisztítóáramhoz Ellenőrizni a gáz tápláló körének ALARM kapcsolódó vészjelzés. Az helyes működését. átáramló mennyiség, 10 másodpercig vagy azt meghaladó időtartamig a beállított küszöbérték alatt maradt. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 143/260...
Przypisy zawieraja najwazniejsze informacje wyciagniete z tekstu. PRZYPIS Magazynowanie Kontrolery podczas transportu i przechowywania w magazynie powinny miec nastepujace warunki otoczenia: temperatura: od -20 °C do +70 °C wilgotnosc wzgledna: od 0-95 %(nie kondensujaca). 146/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Opakowanie kontrolerow Kazdy kontroler dostarczony przez Agilent posiada juz uregulowanie napiecie zasilania: model 869-9447na 220 Vac model 869-9547 na 120 Vac Sprawdzic czy posiada prawidlowe napiecie i podlaczyc kabel zasilania Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 147/260...
0 °C do +40 °C wilgotnosc wzgledna: 0 – 95 % (nie kondensujaca). Do polaczenia kontrolera z pompa nalezy uzywac jego specjalnego kabla. Sposob polaczenia i instalowania akcesoriow jest opisany w rozdziale “Technical Information”. 148/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
W przypadku kiedy nie zostanie wykonane zadne polaczenie zewnetrzne lacznik PRZYPIS zamykajacy J1 powinien pozostac polaczony ze swoim mostkiem.Pompa wstepnej prozni i pompa Turbo-V moga byc uruchomione jednoczesnie. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 149/260...
3 I 4 przez conajmniej 2 secundy uruchamia sie program przy pomocy ktorego jest mozliwe programowanie niektorych parametrow operatywnych. Display alfanumeryczny na cieklych krysztalach: matryca punktowana, 2 linie x 16 czcionek. 150/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 151
485 (dostarczany jako dodatkowy na zyczenie). Łącznik ujścia odpowietrzającego. Wejsciowy modul zasilania kontrolera zawiera bezpiecznik chroniacy, zamiennik napiecia gniazdko wtyczkowe do zasilania mocy i filtr EMC. Wylacznik linii. Uziemienie. Wejscie dla kabla pompy. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 151/260...
Do zatrzymania pompy wystarczy nacisnac przycisk STOP znajdujacy sie na pulpicie frontalnym. Konserwacja Kontroler z serii Turbo-V 3K-T nie wymaga zadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja moze byc dokonywana wylacznie przez osoby autoryzowane.W przypadku uszkodzenia mozliwe jest korzystanie z serwisow naprawczych Agilent lub “Agilent advance exchange service”, w ktorym mozna otrzymac kontroler...
. Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 153/260...
Sprawdzic czy wirnik nie ma LOAD (po fazie rozruchu) przeszkod w swobodnym obrocie. zuzycie pradu przez Nacisnac dwa razy przycisk pompe jest wieksze od START dla ponownego zaprogramowanego. uruchomienia pompy. 154/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 155
FLOW METER Sygnal alarmowy Skontrolowac prawidlowe ALARM dotyczacy przeplywu funkcjonowanie obwodu zasilania strumienia gazu. przeczyszczajacego. Wartosc strumienia pozostala na poziomie nizszym od ustalonego progu i osiagnela szybkosc wieksza/rowna 10 secund. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 155/260...
Page 156
Podrecznik Instrukcji Bledne informacje 156/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual Návod k Použití Všeobecné informace 158 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 161 Ovládání, indikátory a konektory Kontroléru Používané procedury 164 Zapalování Kontroléru 164 Spouštění čerpadla 164 Zastavení čerpadla 164 Údržba 164 Likvidace Chybné zprávy Překlad originálního návodu...
Poznámky, vyjmuté z textu obsahují velmi důležité informace. POZNÁMKA Uskladnění Během dopravy a skladování kontrolérů, se musí dbát na následující podmínky prostředí: temperatura: od -20 °C do +70 °C relativní vlhkost: 0 – 95 % (nesmí kondenzovat). 158/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Každý kontrolér, dodaný podnikem Agilent, je připraven na jisté elektrické napětí: model 869-9447 pro 220 Vac model 869-9547 pro 120 Vac Prověřit, zda bylo zvoleno správné napětí a kabel musí být napojen na elektrickou síť. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 159/260...
Aby se kontrolér mohl napojit na relativní čerpadlo, je třeba použít specifický kabel, který je přidán k samotnému kontroléru. Pro ostatní napojení a instalaci opčního příslušenství se obrátit na sekci "Technical Information". 160/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
čerpadlo se nesmí spustit do provozu. Uzavírající konektor J1, jestliže nebude uskutečněno žádné vnější spojení, musí POZNÁMKA zůstat propojený se svým můstkem. Čerpadla pre-prázdna a Turbo-V se mohou zapnout současně. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 161/260...
Společným stisknutím tlačítek 3 a 4 na alespoň 2 sekundy, bude aktivován program, dle kterého se mohou naprogramovat některé operativní parametry. Alfanumerický displej na tekuté krystaly: bodová matice, 2 linky x 16 charakterů. 162/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 163
Místo předurčené na konektor komunikačních seriálních dveří RS-232 – RS-485 (opční dodávka). Výpustný konektor. Vstupní modul napájení pro Kontrolér. Obsahuje ochrannou pojistku, meniče napětí, napájecí zásuvku výkonu a filtr EMC. Síťový vypínač. Uzemnění. Konektor kabelu čerpadla. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 163/260...
"Agilent advanced exchange service", kde poškozený kontrolér bude vyměněn za nový. NEBEZPEČÍ! Nejdříve, před jakýmkoliv zásahem na kontroléru, se musí odpojit elektrický kabel. Bude-li zapotřebí kontrolér likvidovat, musí se postupovat dle platných specifických státních norem. 164/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 165/260...
čerpadla. FAULT: SHORT Během normálního Prověřit propojení mezi CIRCUIT provozu výstupní spojení čerpadlem a kontrolérem. se nachází ve zkratu. Stisknout dvakrát tlačítko START pro opětné spuštění čerpadla. 166/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 167
Alarm vztahující se na tok Zkontrolovat, zda plynový ALARM purge. Hodnota toku napájecí obvod funguje správně. zůstala oproti hodnotě nastavené na nižší hodnotě po dobu vyšší nebo rovnající se 10 vteřinám. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 167/260...
Page 168
Návod k Použití Chybné zprávy 168/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual Návod na Obsluhu Všeobecné informácie 170 Uskladnění Príprava pre inštaláciu 171 Inštalácia Použitie Povely, Ukazovatele a Prípojky “Controller” Postup pri použití 176 Zapnutie “Controller”176 Naštartovanie čerpadla 176 Zastavenie čerpadla Údržba 176 Likvidácia Oznamy vád Preklad originálneho návodu...
Poznámky zahrňujú dôležité informácie, vytiahnuté z textu. POZNÁMKA Uskladňovanie Počas prepravy a uskladňovania “Controllers” musia byť dodržané tieto podmienky prostredia: teplota: od -20 °C do +70 °C relatívna vlhkosť: 0 – 95 % (bez kondenzátu). 170/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Každý “Controller”, dodaný firmou Agilent je prispôsobený na určité napätie: model 869-9447 pre 220 Vac model 869-9547 pre 120 Vac Skontrolujte, či bolo zvolené správne napätie a len potom napojte na elektrinu. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 171/260...
O °C do +40 °C; relatívna vlhkosť: 0 – 95 % (nekondenzovaná). Pre napojenie “Controller” na príslušné čerpadlo použite jeho príslušný kábel. Pre ostatné napojenia a inštaláciu zvoliteľného príslušenstva viď časť "Technical Information". 172/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Uzavierajúca prípojka J1 sa musí nechať napojená na jej mostík vtedy, keď nie je POZNÁMKA prevedené žiadne vonkajšie napojenie. Pred-prázdnové čerpadlo a čerpadlo Turbo-V môžu byť zapnuté súčasne. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 173/260...
Stlačiac spolu tlačidlá 3 a 4 na aspoň 2 sekundy, sa spustí program, s ktorým je možné zvoliť niektoré operatívne parametre. Alfanumerický displej na tekutý kryštál: bodová matica, 2 línie x 16 písmen. 174/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 175
(dodaný na požiadavku). Výpustný konektor. Vstupný modul napájania pre “Controller”. Má v sebe ochrannú poistku, menič napätia, napájaciu zásuvku výkonu a filter EMC. Vypínač siete. Uzemnenie. Spojka pre kábel čerpadla. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 175/260...
“controller”. NEBEZPEČÍE! Pred akýmkoľvek zásahom na “controller” vytiahnite šnúru z elektrickej siete. V prípade, že “controller” musí ísť do zberu, riaďte sa platnými príslušnými národnými normami. 176/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 177/260...
START pre naprogramovaná. znovunaštartovanie čerpadla. FAULT: SHORT Počas bežného chodu (po Skontrolujte napojenia medzi CIRCUIT naštartovaní) východzie čerpadlom a “controller”. Stlačte napojenie je v skrate. dvakrát tlačidlo START pre znovunaštartovanie čerpadla. 178/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 179
FLOW METER Alarm, vzťahujúci sa na Skontrolujte, či obvod napájania ALARM tok purge. Hodnota toku plynu funguje správne. zostala pod nastavenou hodnotou na dobu vyššiu, alebo rovnajúcu sa 10.-tim sekundám. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 179/260...
Page 180
Návod na Obsluhu Oznamy vád 180/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual Priročnik za Navodila Splošne informacije Skladiščenje Priprava za montažo Montaža Uporaba Komande, indikatorji in konektorji Controllera 186 Postopki uporabe 188 Vklopitev Controllera Zagon črpalke 188 Zaustavitev črpalke 188 Vzdrževanje Odlaganje opadkov Obvestilo o napaki...
Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila. OPOMBA Skladiščenje Med prevozom in skladiščenjem controllerjev morate zagotoviti naslednje pogoje okolice: temperatura: od -20 °C do +70 °C relativna vlaga: 0 – 95 % (bez kondenzacije). 182/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Vsak Controller Agilent je napravljen za določeno napajalno napetost: model 869-9447 za 220 Vac model 869-9547 za 120 Vac Preverite, da ste izbrali pravilno napetost in ponovno priključite napajalni kabel. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 183/260...
0 – 95 % (ne-kondezna). Za priključitev controllera s črpalko uporabite kabel, ki spada k controlleru Za ostale priključke in montažo drugih dodatnih delov, si lahko ogledate poglavje "Technical Information". 184/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Konektor za zapiranje J1 mora ostati priključen k svojemu mostičku, če niste OPOMBA izvršili nikakršne druge zunanje priključitvije. Črpalko predhodnega črpanja in črpalko Turbo-V lahko istočasno vklopite. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 185/260...
Če skupaj pritisnite tipki 3 in 4 za vsaj 2 sekundi boste aktivirali program, s katerim lahko nastavite nekaj operativnih programov. Alfaštevilčni zaslon od tekočih kristalov: prebijalo bodov, 2 linije x 16 znakov. 186/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 187
Odprtina za konektor komunikacijskih serijskih vrat RS-232 – RS-485 (kot opcija). Čistilni konektor. Vhodni napajalni modul Controller-a. Vsebuje zaščitno varovalko, menjalca napetosti, močno napajalno vtičnico in filter EMC. Linijsko stikalo. Ozemljitev. Konektor za kabel črpalke. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 187/260...
V slučaju okvare obrnite se servisu Agilent ali "Agilent advanced exchange service", ki Vam bo dal na razpolago obnovljeni controller. SVARILO! Pred katerikoli posegom, izklopite iz controller-a. napajalni kabel Controller zavrzite kot industrijski odpadek v skladu z državnimi predpisi. 188/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 189/260...
FAULT: SHORT Med navadnim Preverite priključke črpalke in CIRCUIT delovanjem (po zagonu) je controllera. priklopitev na izhodu v Dvakrat pritisnite tipko START za kratkem stiku. ponoven zagon črpalke. 190/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 191
Agilent za pravilno vzdrževanje. FLOW METER Alarm glede toka purge. Preverite, da napajalno vezje plina ALARM Vrednost toka je manjša dobro deluje. od nastavljenega vrednostnega praga, za daljše ali isto obdobje od10 sekund. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 191/260...
Page 192
Priročnik za Navodila Obvestilo o napaki 192/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual Instructions for Use General information Storage Preparation for installation 195 Installation Controller Controls, Indicators and Connectors 198 Use procedure Controller Startup 200 Starting the Pump 200 Pump Shutdown Maintenance Disposal Error Messages Original Instructions...
Each controller is factory set for a specific power supply: model 869-9447 is factory set for 220 Vac operation model 869-9547 is factory set for 120 Vac operation Check voltage selector window for correct set and connect power cord. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 195/260...
To connect the controller to the pump use the specific cable supplied with the controller. See the appendix “Technical Information” for detailed Information about the above mentioned and the other connections, and about the options installation. 196/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
The input signal J1 connector should be left in position including the shipping NOTE links if no external connections are made. The forepump and Turbo-V pump can be switched on at the same time. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 197/260...
2 seconds put the controller in a routine where it is possible to select some operation parameters. LCD back-lighted alphanumeric display: dot matrix 2 lines x 16 characters. 198/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 199
Provision for RS-232 - RS-485 communication port connector (provided as an option). Purge vent connector. Purge vent connector. Controller power entry module consisting of mains fuses, voltage change over, mains socket and EMC filter. Power swirch. Ground connection. Pump cable socket. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 199/260...
To shutdown the pump press the STOP push-button on the controller front panel. Maintenance The Turbo-V 3K-T Rack Controller does not require any maintenance. Any work performed on the controller must be carried out by authorized personnel. When a fault has occurred it is possible to use the Agilent repair service.
Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 201/260...
In normal operation (after Check connections and CIRCUIT the starting phase) the shortages between pump and output connection is controller. Press the START shorted. push-button twice to start the pump. 202/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 203
Alarm relating to the purge Check the correct operation of ALARM flow. The flow value the gas supply circuit. remained at less than the set threshold for 10 seconds or more. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 203/260...
Page 204
Instructions for Use Error Messages 204/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
The controller can be operated via: Front panel switches Remote signals via rear panel connectors RS 232/485/422 serial link (option) Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 207/260...
EN 6100-4-8 EN 6100-4-11 EN 6100-3-2 Max altitude 3000 m Max line voltage variation +/- 10% Internal use only Weight (both models) 12,5 kg (28 lbs) Installation category Pollution degree Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 209/260...
Remove the assembly by levering in position A with a small screwdriver. Replace the fuse. Use only T-type fuses of the following characteristics: - 100/120 Vac 10 A - 220/240 Vac Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 211/260...
The following figure shows the Controller interconnections. PURGE SERIAL PORT VENT OUTPUT DEVICES MAINS F USE T YPE INPUT DEVICES TURBO PUMP Figure 8 Controller models 869-9447 and 869-9547 interconnection 212/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
When the contact is closed, the turbopump and the interconnected devices are stopped until the operator: give the Start command (Local Mode); give the Stop command and Start command (Remote Mode). Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 213/260...
The following figure shows a typical contact logic input connection and the related simplified circuit of the controller. Figure 10 Typical logic input connection Connection J2 - Logic Output Interconnections Figure 11 Logic output connector 214/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 215
The output Voltage will be present when the START push-button on front panel is pressed or the remote start is present, or the function has been requested by or RS 232/RS 485, until NORMAL operation is reached. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D) 215/260...
Analog output voltage (0 – 10 V) proportional to pump speed (pin 9 positive, pin 1 negative). Connection J7 Purge-Vent VENT VALVE PURGE VALVE +24VDC Figure 13 J7 connectors 216/260 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 (D)
Page 217
“purge-vent valves cable” reported in the “ordrable parts” table. The Turbo-V 3K-T pump can integrate the purge and vent valves. The two valves are Normally Closed so if a power fail occur, the valves will remain closed.
Insert the flat cable through the rear panel and plug it into the socket P1 located on the Interface board. Restore the main board into its original position. Install and tighten the connector screws and turrets. Replace the cover. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 219/261...
Agilent cannot guarantee compliance with FCC regulations for radiated NOTE emissions unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shroud on the O-subconnector. The cable should be secured to the connector with screws. 220/261 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01...
1 bit protocoll: master (PC) / slave (converter) In this case the value to be assigned to the ADDRESS field must be 80 hex (for RS 232). Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 221/261...
<ETX> = 0x03 <CRC> = XOR among all the characters following <STX> = (with exception of <STX>), including the end character <ETX> hexadecimally encoded by two ASCII characters. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 223/261...
Page 224
The different types are: Tab. 5 Length Characters Permitted Logic (L) ‘0’=OFF ‘1’=ON Numeric (N) ‘0’...’9’ (Justifield to the right with ‘0’) Alphanumeric (A) max 10 ‘ ‘...’_’ 224/261 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01...
Technical Information Examples Examples Command: START Source: PC Destination: Inverter ADDR WINDOW Source: Inverter Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Inverter ADDR WINDOW Source: Inverter Destination: PC ADDR Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 225/261...
Page 226
Technical Information Examples Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Inverter ADDR WINDOW Source: Inverter Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Inverter ADDR WINDOW Source: Inverter Destination: PC ADDR 226/261 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01...
Page 227
Examples Command: LOW SPEED (ON) Source: PC Destination: Inverter ADDR WINDOW Source: Inverter Destination: PC ADDR Command: LOW SPEED (OFF) Source: PC Destination: Inverter ADDR WINDOW Source: Inverter Destination: PC ADDR Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 227/261...
Page 228
Technical Information Examples Command: CURRENT Source: PC Destination: Inverter ADDR WINDOW Source: Inverter Destination: PC WINDOW 000.00 Command: FREQUENCY Source: PC Destination: Inverter ADDR WINDOW Source: Inverter Destination: PC WINDOW 000038 228/261 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01...
Page 229
RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR> field in this case can be any hex value, while for the RS 232 this value must be set to 80 hex. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 229/261...
VENT OPEN TIME (1 sec/bit, 0=always open, max 65535 sec) STOP SPEED READING CURRENT [A] VOLTAGE [V] POWER [W] DRIVING FREQUENCY [Hz] STATUS [0=stop; 1= waiting interlock; 2=starting; 3=normal; 4=high load; 5=failure; 6=approaching] 230/261 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01...
Page 231
PROGRAM LISTING CODE & REVISION PARAMETER LISTING CODE & REVISION ENTER USER MODE ENTER TEST MODE (exit with password) WIN = Window T = Type L = Logical N = Numeric A = Alphanumeric Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 231/261...
The forepump and the Turbo-V 3K-T pump can be switched on at the same time. When the Turbo-V 3K-T Racl Controller pump is baked by a membrane pump, the NOTE Soft Start mode should be deselected.
If the Soft Start mode is deselected, the ramp- up will be done within 360 seconds and the display changes as follows: Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 233/261...
Page 234
“Interconnections”. Press the PUMP CURRENT push-button and the display shows (e.g.): With reference to two temperature sensors T1 and Tb. ° X.° ° Turbo-V 3K-T Figure 18 234/261 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01...
Page 235
V = is the pump voltage Press the PUMP CURRENT push-button and the display shows Where: N2 = Gas flow (Nitrogen or Argon) expressed in SCCM (Standard cubic centimeters per minute) Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 235/261...
Page 236
= is the elapsed time related to the cycle number displayed (range 0 to 99999 minutes) PUMP LIFE = is the total operation time of the pump (range 0 to 99999 hours). 236/261 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01...
XXX = 510 ÷ 530 Hz Confirm the flasing digit by pressing the PUMP CURRENT key. Where: XXX = 510 ÷ 530 Hz Confirm the flashing digit by pressing the PUMP CURRENT key. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 237/261...
Page 238
Turbo-V 3K-T Figure 20 Press the PUMP CURRENT push-button and the display shows: Select the type of purge gas, the default is air. Argon can be seleted if needed. 238/261 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01...
Page 239
The controller is factory-set for FRONT panel operation. SER will only be displayed if the optional serial card is installed. Choose the desired selection by pressing the CYCLE push-button. Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 239/261...
Page 240
BAUD RATE XXXX = means 600, 1200, 2400, 4800, 9600 baud rate for the host computer or printer communication. The controller is factory-set for 9600 baud rate operation. The value which corresponds to the board installed will be assigned to RSXXX. 240/261 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01...
Page 241
Press PUMP CURRENT push-button and the display shows: Turbo-V 3K-T Figure 23 This message will only be displayed if the RS 485module is installed. Where: XX = 00 ÷ 31 is the unit address Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 241/261...
Page 242
The available data are listed in the read mode in the serial protocol table. With the serial module installed, the data can also be read in the FRONT or NOTE REMOTE mode. 242/261 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01...
Page 243
In this way you enter into an operating phase named "Monitor Relay Programming" described later. Enter the value by pressing the PUMP CURRENT push-button. Turbo-V 3K-T Figure 25 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 243/261...
The speed threshold will condition the R1 and R2 operation (see the following cycle diagram] and it is factory-set to 36 Hz. Press the CYCLE NUMBER push-button to select the first number. Turbo-V 3K-T Figure 26 244/261 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01...
Page 245
= pump speed < threshold value before run-up time R1 operation R2 operation delay even after YES R2 operation delay even after NO RUN-UP TIME Figure 27 Cycle diagram Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 245/261...
Page 246
Technical Information Enter the value by pressing the PUMP CURRENT push-button. Turbo-V 3K-T Figure 28 Press the CYCLE NUMBER push-button to select the second number. Turbo-V 3K-T Figure 29 246/261 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01...
Page 247
Select the run-up time according to the chamber volume and/or operating cycle feature (see the preceding cycle diagram) by pressing the CYCLE NUMBER push-button to select the desired number. Turbo-V 3K-T Figure 31 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 247/261...
Page 248
(see the preceding cycle diagram). This function is factory-set to YES. 248/261 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01...
Page 249
AUTO MODE, the display shows: Delay time of the vent valve from 0 to 999999 Press the PUMP CURRENT push-button. If VENT VALVE MODE = AUTO MODE, the display shows: Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 249/261...
Page 250
hours. RESET XXX = YES or NO. The controller is factory-set to NO. When PUMP LIFE is reset to 000, the CYCLE number is also reset to 000. NOTE 250/261 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01...
Turbo-V 3K-T Figure 35 Where the sign minus (-) become a square ( ) when the pump finish the ramp-up step. The active step is indicated by a flashing square ( ). Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 251/261...
Page 252
After the run up time and when the normal rotational speed is reached, the display will be as follows, even if any previous display selection was made, and the normal condition has been reached. 252/261 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01...
In the event of a power failure (momentary or long term), the Turbo- V 3K-T controller will stop the turbopump and all the interconnected pumps/devices. The Turbo-V 3K-T vent valve dev3KT, if used, will vent the turbopump only if the power failure is longer than the preset delay time.
Turbo-V 3K-T Rack Controller 220 V 869-9447 Pump-controller connection cable 969-9953 Turbo-V 3K-T Rack valves cable (5 m) 969-9938 RS 485 computer communication kit 969-9856 RS 232 computer communication kit 969-9857 Turbo-V 3K-T Rack Controller User Manual / 87-900-988-01 255/261...
Page 261
Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...