Table des Matières
Publicité
PŘÍRUBA
POČET
ISO 160
10
ISO 200
8
Následující tabulka uvádí nezbytný počet šroubů pro každou
přírubu ISO-F a příslušný utahovací moment.
PŘÍRUBA
POČET
ISO 160 F
8
ISO 200 F
12
Třída ocelových šroubů pro přírubu "F" musí být >= 8.8
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit
k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické
informace".
Vývěvu TV 551/701 Navigator lze instalovat v libovolné poloze.
POZNÁMKA
Vývěvu TV 551/701 Navigator nelze připevnit pomocí její
podstavy.
!
VAROVÁNÍ
Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 551/701
Navigator do druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy.
Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu.
Vývěva TV 551/701 Navigator je vybavena vstupními a
výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci,
které se musí připojit k externím obvodům tak, aby žádná
elektrická součást nebyla přístupná.
Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV
551/701 Navigator byla přiměřená i v případě jediné poruchy
podle směrnice EN 61010-1.
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a
pneumatická připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí
překročit 120 °C.
VÝSTRAHA!
Turbomolekulární
vývěvu
přívodní příruba připojená k vakuové komoře.
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
!
VAROVÁNÍ
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn,
který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru
musí být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem). Pro
čerpání
agresivních
plynů
speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního
plynu (např. N
, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu
2
"Technické informace").
VÝSTRAHA!
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
UTAHOVACÍ MOMENT
35 Nm
35 Nm
UTAHOVACÍ MOMENT
5 Nm
5 Nm
nikdy
nepoužívejte,
nebude-li
jsou
tyto
vývěvy
vybaveny
Zapnutí a používání vývěvy TV 551/701
Navigator
Pro uvedení vývěvy TV 551/701 Navigator do provozu je nutné
přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky
zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede
vývěvu do provozu.
První spuštění vývěvy je v režimu "pozvolného rozběhu".
Jakmile bude rozběhový cyklus dokončen, režim "pozvolného
rozběhu" se automaticky vypne a další starty již budou probíhat
bez "pozvolného rozběhu". Chcete-li opět zapnout režim
"pozvolného
rozběhu",
programovým příkazem (viz odstavec "POPIS KOMUNIKACE
RS 232/485" v příloze "Technické informace").
Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy
TV 551/701 Navigator indikuje provozní stavy systému
blikáním:
•
bez blikání: vývěva se otáčí normálně;
•
pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna
rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu "čekání na
blokování";
•
rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
Vypnutí vývěvy TV 551/701 Navigator
Pro vypnutí vývěvy TV 551/701 Navigator je nutné přerušit
síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví.
Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla
Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka
dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně
schválenou). Používejte tento kabel se zástrčkou a patřičně
uzemněnou zásuvku, abyste předešli úrazu elektrickým
proudem a aby byly zaručené požadavky norem ES.
Vysoké napětí, které vzniká v controlleru může způsobit vážné
zranění, i smrtelné. Před prováděním zásahů údržby uvnitř
jednotky přívodní kabel odpojte.
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení vývěvy TV 551/701 Navigator
v nouzové situaci je třeba odpojit napájecí kabel ze síťové
zásuvky.
ÚDRŽBA
Vývěva TV 551/701 Navigator nevyžaduje žádnou údržbu.
Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné
osoby.
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.
V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy
Varian, které může dodat náhradní repasované zařízení
výměnou za porouchané.
Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za
repasovaný kus, musíte list
bezpečnost)
přiložený k tomuto návodu vyplnit a odeslat do kanceláře
místního prodejního oddělení. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
42
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
musíte
jej
aktivovat
VÝSTRAHA!
VÝSTRAHA!
POZNÁMKA
"Health and Safety" (Zdraví a
87-900-934-01(G)
patřičným
Publicité
Table des Matières
