Modes De Fonctionnement; Mode De Vide - Inficon UL1000 Fab Manuel Technique

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4.3

Modes de fonctionnement

4.3.1

Mode de vide

Comme évoqué plus haut (v. chapitre
l'éprouvette doit être évacué afin que l'hélium éventuellement pulvérisé par
l'extérieur puisse, le cas échéant, pénétrer dans l'éprouvette à travers les fuites sous
l'effet de la différence de pression.
En cas d'actionnement de la
contenu de l'éprouvette est pompé par la pompe à prévide (UL1000) ou la pompe
Scroll (UL1000 Fab). Simultanément, la vanne V2 est fermée afin d'empêcher une
augmentation inadmissible de la pression dans la turbopumpe et dans le spec-
tromètre de masse.
Lorsque la vanne V2 est fermée, la turbopumpe fonctionne sans l'assistance de la
pompe Scroll. Comme l'air contenu dans le spectromètre de masse a déjà été
évacué, aucun gaz n'y est plus pompé. La pression p
n'augmente que lentement.
Si la pression P
devait tout de même augmenter, par ex. en raison d'un pompage
2
prolongé, l'évacuation d'air serait interrompue dès que P
fermées) et la vanne V2 s'ouvrirait brièvement afin de rétablir un prévide adéquat
(P
< 1 mbar).
2
Les diagrammes suivants représentent le flux de gaz durant l'évacuation et les
modes de fonctionnement GROSS, FINE et ULTRA.
MS
V4b
V8
p
V6
V4a
2
V2
V1b
V5
Fig. 4-6 : à gauche : évacuation d'air (aucune mesure), à droite : mode GROSS
Les conditions pour l'évacuation décrite sont conservées jusqu'à ce que la pression
d'admission p
chute au-dessous de 15 mbar. La vanne V2 s'ouvre maintenant.
1
Le cas échéant, l'hélium présent peut maintenant affluer à contre-courant dans le
spectromètre de masse où il est alors détecté.
Le mode de fonctionnement s'appelle GROSS ; la limite d'affichage inférieure
-6
s'élève à 1×10
mbar l/s.
4.2.1 Système de
Touche
START, les vannes V1a et V1b s'ouvrent et le
V1a
V5
TL
p
V7
1
V8
p
2
Description et principe de fonctionnement
vide), l'air contenu dans
reste donc constante ou
2
> 10 mbar (V1a et V1b
2
V1a
V5
MS
TL
p
V4b
V7
1
V6
V4a
V2
V1b
V5
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