Table des Matières
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9.5.4
Maintenance après 16 000 heures
Travaux à effectuer
Remplacer la tête Scroll (IWATA ISP-500B)
Remplacer la tête Scroll (Varian TS 620)
Effectuer une révision générale de la pompe à
prévide D16 (uniquement UL1000)
Remplacer la TMH 071
Démonter/nettoyer le bloc de vannes
Remplacer les joints des vannes
Contrôler/remplacer le filtre
Remplacement des paliers de la TMH 071
recommandé tous les 3 ans sans restriction de
durée ! v. chapitre
9.5.5
Contrôle et équilibrage
9.5.5
Remarques à propos de la maintenance de la TMH 071
La maintenance après 16 000 heures doit être confiée à un technicien SAV INFICON
ou à une personne autorisée par la société INFICON.
L'espérance de vie des paliers de la turbopompe et des différents types de pompes
à prévide est estimée à 16 000 heures de service.
Les modules Scroll (IWATA ISP 500 ou Varian TS 620) ainsi que la turbopompe
doivent être remplacés. Une révision générale est recommandée pour la D16 B dans
le UL1000.
Matériel requis
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La durée des travaux de maintenance s'élève à environ 10,0 heures lorsque la
TMH 071 est remplacée.
La pompe turbomoléculaire TMH 071 est remplie d'un lubrifiant pour la lubrification
des roulements à billes. Indépendamment du nombre d'heures de service de la
turbopompe, la réserve de lubrifiant doit être remplacée tous les 2 ans. Le rempla-
cement de la réserve de lubrifiant doit être confié à un technicien SAV INFICON ou
à une personne autorisée par la société INFICON.
Tête Scroll pour IWATA ISP-500B
Tête Scroll pour Varian TS 620
Révision générale de la pompe à prévide
D16 B
Turbopompe TMH 071
Jeu de joints bloc de vannes
Jeu de joints pour vannes
Cartouche filtrante de rechange pour le
ventilateur
Filtre de rechange pour la conduite
d'aération et de rinçage
Silencieux pour l'échappement
(uniquement UL1000 Fab)
Cartouche filtrante pour le filtre à huile
(10 pièces), uniquement UL1000
Remplacement de la turbopompe TMH 071 200000569R
N° de
commande
200000217R
200001665R
200000569R
200000593
200000594
200000685
200000683
20099183
200000694
Travaux de maintenance
105
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