Manuels Connexes pour Inficon UL1000 Fab
Sommaire des Matières pour Inficon UL1000 Fab
- Page 1 T E C H N I Q U E iina70f1-k (1108) Traduction Catalogue no. UL1000: 550 - 000A 550 - 001A 550 - 002A UL1000 Fab: 550 - 100A 550 - 101A Version de logiciel V4.4 UL1000 Fab et UL1000 Détecteur de fuites à hélium...
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Page 3: Table Des Matières
Raccords de vide 2.4.1 Admission 2.4.2 Échappement 2.4.3 Raccord d’aération 2.4.4 Raccordement gaz de rinçage (UL1000 Fab) / lest (UL1000) 31 État à la livraison Contrôles avant la mise en service Pièces requises Première mise en service Table des matières... - Page 4 3.2.1 Montée en régime et mesure 3.2.2 Calibrage interne 3.2.3 Vérification Description et principe de fonctionnement Introduction Structure des détecteurs UL1000 et UL1000 Fab 4.2.1 Système de vide 4.2.2 Unité de commande 4.2.2.1 Écran LCD 4.2.2.2 Touche START 4.2.2.3 Touche STOP 4.2.2.4...
- Page 5 Taux de fuites proportionnel 6.4.7.3 Valeur nominale 6.4.7.4 Alarme Trigger Calibrage Réglages 6.6.1 Réglages paramètres vide 6.6.1.1 Rinçage automatique (UL1000 Fab) 6.6.1.2 Temporisation aération 6.6.1.3 Interval. mode Vide 6.6.1.4 Fuite étalon interne 6.6.1.5 Facteur machine 6.6.1.6 Réglages Auto Leak Test 6.6.2...
- Page 6 Remplacement de la cartouche filtrante 9.10 Surveillance, appoint du niveau d’huile de la pompe D16 B 9.11 Vidange de la pompe D16 B 9.12 Pompe turbomoléculaire TMH 071 9.13 Pompes Scroll (uniquement UL1000 Fab) TPR265 (P1, P2) Déclaration de conformité Index Table des matières...
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Page 7: Généralités
Ce manuel technique contient des informations importantes à propos du fonction- nement, de l’installation, de la mise en service et de l’exploitation des UL1000 et UL1000 Fab. Généralités Nous nous réservons le droit de modifier la construction et les informations fournies. -
Page 8: Remarques
La plage d’amplification du préamplificateur et les plages de vide sont automati- quement sélectionnées. La sélection automatique de la plage de mesure du UL1000 et du UL1000 Fab couvre la plage entière ou la plage entière de taux de fuites en fonction du mode de fonctionnement sélectionné... - Page 9 « Standby » et déduite du signal mesuré. (Voir ci-dessus : réglage automatique du point zéro) Taux minimal de fuites décelable Taux minimal de fuites pouvant être décelé par le UL1000 et le UL1000 Fab (≤ 5x10 mbar l/s).
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Page 10: Assistance Sav Inficon
Assistance SAV INFICON Pour le cas où vous retourneriez un appareil à la société INFICON ou à l’un de ses représentants autorisés, vous devrez impérativement indiquer si l’appareil est exempt de substances nocives ou s’il est contaminé. S’il devait être contaminé, veuillez également indiquer la nature du danger. -
Page 11: Centres Sav Dans Le Monde Entier
Tél. +33 160137695 Cologne Fax : +49 221 56788-9112 Tél. : +33.4.76.72.52.15 Canada reachus@vpcinc.ca Grande-Bretagne et Irlande reach.unitedkingdom@inficon.com Vacuum Products Canada Fax : +1 905 672 7704 INFICON Ltd. Tél. : +44 1254 678 250 Ltd. Fax : +1 905 672 2249... - Page 12 Castelnuovo Fax : +39 045 6 40 24 21 Cologne Fax : +49 221 56788-9112 Japon reach.japan@inficon.com Singapour reach.singapore@inficon.com INFICON Co. Ltd. Tél. : +81.45.471.3396 INFICON PTE LTD. Tél. : +65890.6250 Singapour Yokohama Fax : +81.45.471.3387 Fax : +65890.6266 Lettonie leakdetection.service@inficon.com...
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Page 13: Introduction
Avec la méthode de détection de fuites par le vide, l’air contenu dans l’éprouvette est d’abord évacué puis l’éprouvette est aspergée d’hélium par l’extérieur. À cet effet, une liaison de vide doit être établie entre le UL1000 ou le UL1000 Fab et l’éprouvette. - Page 14 à définir des règles de décontamination appropriées. En cas de contact de l’appareil avec des gaz dangereux, vous devez compléter la déclaration de conta- mination et la renvoyer avec l’appareil à la société INFICON. Lorsque certaines pièces de l’appareil doivent être nettoyées, vous devez contacter le fabricant. En tel cas, envoyez d’abord une copie dûment complétée de la déclaration de contami-...
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Page 15: Caractéristiques Techniques
Remarque: Avant d’atteindre la plage qui correspond au taux minimal de fuites détectable, plusieurs conditions préalables doivent être remplies : • Le UL1000 et le UL1000 Fab doivent avoir atteint la température de service. • Les conditions ambiantes doivent être stables (température, sans vibrations ni chocs). -
Page 16: Autres Caractéristiques Techniques
S’assurer que l’emballage d’expédition ne soit pas endommagé. Retirer l’intégralité du matériel d’emballage. Contrôler si la livraison du UL1000 ou du UL1000 Fab est complète puis soumettre le UL1000 et le UL1000 Fab à un contrôle visuel minutieux. En présence de dommages, immédiatement les signaler au transporteur et à la compagnie d’assurance. -
Page 17: Étendue De La Livraison
Documentation – Manuel technique et nomenclature des pièces de rechange du UL1000 et du UL1000 Fab – Nomenclature des pièces de rechange du UL1000 et du UL1000 Fab • Crochet d’enroulement du câble d’alimentation (avec vis) (voir n° 6) •... -
Page 18: Accessoires Et Options
1.4.2.4 Natte antistatique Ce natte se positionne sur le plan de travail du UL1000 / UL1000 Fab et se fixe et se met à la terre au moyen de l’anneau de la bride d’admission. La natte permet d’éviter les décharges électriques entre le plan de travail et les éprouvettes sensibles. -
Page 19: Télécommande Rc1000
1.4.2.5 Télécommande RC1000 La télécommande sans fil RC1000 permet d’utiliser l’UL1000 / UL1000 Fab depuis une distance de jusqu’à 100 m. La télécommande permet de commander les fonc- tions START, STOP/VENT (STOP/aération), ZERO (fond), elle affiche les taux de fuites mesurés sur l’écran sous forme de graphique à barres, de valeurs numériques ou de diagramme (voir manuel technique de la télécommande RC1000). -
Page 20: Chambre De Test Tc1000
1.4.2.6 Chambre de test TC1000 Cette chambre de test transforme le UL1000 ou le UL1000 Fab en un poste de travail complet qui permet de tester les composants hermétiquement clos. Elle permet également de réaliser des contrôles rapides et précis, conformes au standard MIL-STD 883. -
Page 21: Installation
Installation Transport Prudence Le UL1000 et UL1000 Fab ne sont pas équipés d’anneaux à vis et ne doivent donc pas être transportés à l’aide de dispositifs de levage. Advertissement Le UL1000 / UL1000 Fab doit uniquement être poussé ou tiré par la poignée prévue à... - Page 22 Fig. 2-1 Les vis fixées sur le bas du châssis sécurisent l’appareil durant le transport. Les vis doivent être retirées avant la mise en service du UL1000 Fab. Pour ce faire, d’abord desserrer les contre-écrous (v. mot clé ). Fig. 2-2...
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Page 23: Site D'implantation
Durant le transport, resserrer les vis à fond et les fixer à l’aide des contre-écrous. Site d’implantation Positionner le UL1000 / UL1000 Fab à l’emplacement souhaité puis bloquer les roulettes. Remarque: Un film de protection est collé sur les roulettes du détecteur de fuites. - Page 24 Advertissement Il est interdit d’exploiter le UL1000 / UL1000 Fab dans de l’eau stagnante. Il ne doit pas non plus être exposé aux éclaboussures. Ceci s’applique à tous les liquides. Advertissement Éviter tout contact avec les bases, acides et solvants. Ne pas non plus exposer l’appareil aux conditions climatiques extrêmes.
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Page 25: Raccordements Électriques
électriques. Advertissement Avant de raccorder le UL1000 / UL1000 Fab à l’alimentation électrique, s’assurer que la tension indiquée sur le UL1000 / UL1000 Fab corresponde à la tension d’alimentation locale disponible. L’appareil est uniquement homologué pour le raccordement aux réseaux monophasés avec dispositifs de protection (coupe-circuit automatique max. -
Page 26: Raccords Pour Accessoires Et Signaux De Commande
Fig. 2-4 Afin d’éviter que le câble ne soit débranché par inadvertance, il est peut être sécurisé de la manière indiquée sur la figure Fig. 2-5 Lorsque l’appareil n’est pas en marche, le câble peut être enroulé sur les supports prévus à cet effet. 2.3.2 Raccords pour accessoires et signaux de commande Prudence... -
Page 27: Accessoires (Accessories)
9. Raccord pour la fixation du câble 10. Haut-parleur Raccord d’aération Raccordement gaz de rinçage (UL1000 Fab) / lest (UL1000) Fig. 2-6 Conseil: Sur les raccords Accessories (Accessoires), Digital Out (sortie numérique), Digital In (entrée numérique) et Recorder (enregistreur), la broche 1 se trouve en haut. -
Page 28: Sortie Numérique (Digital Out)
2.3.2.2 Sortie numérique (Digital Out) Les sorties suivantes du relais sont disponibles pour le traitement ultérieur des signaux. La capacité maximale des contacts du relais s’élève à env. 25 V CA/1 A. Contact Signal Contact Signal +24V, relié au contact 1 de la prise CAL Request «... -
Page 29: Entrée Numérique (Digital In)
2.3.2.3 Entrée numérique (Digital In) Ces entrées peuvent uniquement être utilisées pour exploiter le UL1000 / UL1000 Fab avec une commande programmable (PLC). Contact Signal Contact Signal +24V, relié au contact 1 de la prise « OUT » Purge (sortie numérique) Libre GND_24V (potentiel de référence pour la Libre... -
Page 30: Enregistreur (Recorder)
Remarque: Les sorties d’enregistreur sont isolées électriquement des autres raccords. Si des parasitages devaient toutefois être constatés, il est recommandé d’exploiter le UL1000 / UL1000 Fab et l’enregistreur sur la même phase du réseau. Si cela n’est pas possible, il faut alors s’assurer que les masses des deux appareils ont le même potentiel. -
Page 31: Raccords De Vide
Raccords de vide 2.4.1 Admission L’admission se trouve sur le haut du UL1000 / UL1000 Fab. Il s’agit ici d’une bride DN 25 KF. Advertissement Risque de blessures dues à l’aspiration par la bride d’entrée. Si la fonction de vide du Modul1000 est activée, il y a risque d’aspiration des parties des corps qui bouchent la bride d’entrée. -
Page 32: État À La Livraison
État à la livraison Les paramètres suivants doivent être définis en sélectionnant la rubrique « Charger valeurs par défaut » dans la rubrique Réglages → Charger/sauvegarder paramètres dans le menu du UL1000 / UL1000 Fab : Auto-graduation : Activée Graduation : logarithmique Plage d’affichage :... -
Page 33: Contrôles Avant La Mise En Service
UL1000 et UL1000 Fab doivent être mis en marche, comment effectuer les mesures et comment se déroule un calibrage interne. Remarque: Si le UL1000 / UL1000 Fab ne se comportent pas de la manière attendue lors de la première mise en service ou s’il se comporte bizarrement, le détecteur de fuites peut être éteint à... - Page 34 La procédure de démarrage dure env. 3 minutes et une brève tonalité retentit dès qu’elle est achevée. Le UL1000 / UL1000 Fab se trouve alors en mode Standby (veille). Fig. 3-1 Vue du UL1000 et UL1000 Fab N°...
- Page 35 2 … 3 secondes. Appuyer sur la Touche STOP Fig. 3-2/13, le UL1000 et UL1000 Fab bascule en mode de veille (Standby). Une pression prolongée sur la touche STOP permet d’aérer l’admission du UL1000 / UL1000 Fab. Pour arrêter la montée en régime, poursuivre à l’étape Nr. 16. Pour effectuer un calibrage, poursuivre à...
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Page 36: Calibrage Interne
3.2.2 Calibrage interne Poursuivre maintenant avec le calibrage interne (v. chapitre 7.2.1 Calibrage interne). Pour obtenir des résultats de meilleure qualité, il est recommandé d’attendre (15 … 20 minutes) jusqu’à ce que l’appareil ait atteint sa température de service. • Appuyer sur la touche CAL (Calibration) (n°... -
Page 37: Description Et Principe De Fonctionnement
évacuée lors du contrôle. Le vide est généré à l’aide du système de pompage intégré. Un autre mode de fonctionnement du UL1000 / UL1000 Fab est le mode renifleur qui ne peut être utilisé qu’en liaison avec une conduite de reniflage (v. - Page 38 Fig. 4-1 : Diagramme de vide UL1000 et UL1000 Fab N° Description MS : spectromètre de masse, capteur d’hélium (spectromètre de masse à secteurs magnétiques 180°) Pompe turbomoléculaire (TMP, génère le vide poussé requis par le spec- tromètre de masse) V1a …...
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Page 39: Unité De Commande
Une pression sur la Touche START Fig. 4-2/6 active le UL1000 / UL1000 Fab afin que ce dernier démarre les mesures. Une nouvelle pression sur la touche START en mode de mesure active l’affichage du taux de fuites maximal (fonction de maintien). -
Page 40: Touche Stop
4.2.2.3 Touche STOP Une pression sur la Touche STOP Fig. 4-2/13 interrompt les mesures. En cas de pression prolongée sur cette touche, l’admission est aérée conformément aux condi- tions définies dans le menu Retard mise à l‘air. Pour régler les paramètres de la durée d’aération, v. -
Page 41: Touche Menu (Menu)
Fig. 4-4 Annulation de la suppression du fond Pour que le signal de mesure soit visible, la touche ZERO doit être enfoncée pendant env. 3 secondes. La valeur enregistrée est remise à zéro, le signal de fond n’est plus supprimé. Remarque: Activez uniquement la fonction ZERO lorsque le signal de taux de fuites est stable. -
Page 42: Saisies Numériques
4.2.2.7 Saisies numériques Lorsqu’un menu permettant d’effectuer des saisies numériques est ouverte, procéder de la manière suivante : • Si aucun changement ne doit être effectué, appuyer sur la touche n° 1 Annuler. • La couleur des valeurs pouvant être modifiées est inversée. Les touches (n°... -
Page 43: Modes De Fonctionnement
START, les vannes V1a et V1b s’ouvrent et le contenu de l’éprouvette est pompé par la pompe à prévide (UL1000) ou la pompe Scroll (UL1000 Fab). Simultanément, la vanne V2 est fermée afin d’empêcher une augmentation inadmissible de la pression dans la turbopumpe et dans le spec- tromètre de masse. - Page 44 À moins de 2 mbar, le UL1000 / UL1000 Fab bascule en mode FINE, cela signifie que la vanne V4a s’ouvre et que la vanne V1b se ferme. Le flux de gaz parvient maintenant à un niveau intermédiaire dans la pompe turbo- moléculaire.
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Page 45: Mode Renifleur
4.3.2 Mode renifleur Pour le mode renifleur, une conduite de reniflage (de préférence la conduite de reniflage standard 14005 de INFICON) doit être raccordée à la bride d’entrée. Dès que la Touche START est actionnée, le système commence à pomper de l’air à... -
Page 46: Fonctionnement Du Ul1000 Et Ul1000 Fab
(Standby) et est ainsi prêt pour la mesure. Raccordez l’éprouvette à contrôler sur la bride d’entrée puis appuyez sur la touche START. Le UL1000 et UL1000 Fab évacue alors l’air contenu dans l’éprouvette. La durée d’évacuation dépend du volume de l’éprouvette. La pression d’admission est constamment affichée sur l’écran durant l’évacuation de l’air. -
Page 47: Écrans En Mode Standby
5.3.1 Opération de rinçage À chaque fois que le UL1000 / UL1000 Fab bascule en « Standby », un rinçage est automatiquement effectué pendant 20 secondes. Pendant ce rinçage, la pompe Scroll est rincée par le raccord Purge (Fig. 2-6/11). -
Page 48: Volume Sonore Pour Le Signal Acoustique
Mode de fonctionnement sélectionné (v. chapitre 6.3 Mode de fonctionnement). En fonction de la pression d’admission, le UL1000 / UL1000 Fab se trouve en mode GROSS, FINE ou ULTRA Plages de vide ULTRA qui est affiché ici (v. chapitre 4.3 Modes de fonctionnement). -
Page 49: Mode D'affichage Numérique
L’axe du temps peut être défini dans le menu (v. chapitre 6.2.3 Axe du temps). L’axe de l’intensité (axe des Y) se définit de la même manière que la barre indicatrice (v. chapitre 6.2.1 Échelle linéaire/logarithmique). Fig. 5-2 : Écran, mode tendance Fonctionnement du UL1000 et UL1000 Fab... -
Page 50: Description Des Menus
Calibrage v. chapitre 6.5. Réglage des paramètres internes de l’appareil. Réglages v. chapitre 6.6. Informations à propos du UL1000 et UL1000 Fab Information (spécifications électriques et du vide) et du menu de service. v. chapitre 6.7. Restrictions d’accès. Contrôle d’accès v. - Page 51 Calibrage interne automatique Calibrage v. chapitre Saisir taux de fuite Calibrage externe Démarrage Rinçage automatique (UL1000 Fab) Temporisation aération Interval. mode Vide Réglages paramètres vide Réglages Auto Leak Test Facteur machine Fuite étalon interne Suppression de fond Zéro et résiduel Zéro...
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Page 52: Affichage
Affichage • Menu principal > Affichage Ce menu Fig. 6-2 réunit toutes les fonctions qui influencent l’affichage des données. Fig. 6-2 : Le menu Affichage Touche Désignation Description n° Précédent Retour au menu principal. Réglages pour la barre indicatrice et le mode Tendance. -
Page 53: Échelle Linéaire/Logarithmique
6.2.1 Échelle linéaire/logarithmique • Menu principal > Affichage > Échelle linéaire/logarithmique Ces réglages sont valables pour la barre indicatrice (barre sous les chiffres en mode de mesure) et pour l’axe des Y en mode tendance. L’échelle graduée pour la barre indicatrice peut soit être linéaire soit logarithmique. Les flèches (vers le haut et vers le bas) permettent de définir le nombre de décades représentées par la barre indicatrice. -
Page 54: Affichage Gain Auto/Manuel
6.2.2 Affichage gain auto/manuel • Menu principal > Affichage > Affichage gain auto/manuel La limite supérieure pour le taux de fuites affiché peut être réglée manuellement ou automatiquement. Ces réglages sont valables pour la barre indicatrice (barre sous les chiffres en mode de mesure et pour l’axe des Y en mode tendance). -
Page 55: Axe Du Temps
: Éteindre puis rallumer le UL1000 / UL1000 Fab. Durant la phase de montée en régime, appuyer sur la touche n° 3 ou 7 jusqu’à ce que le texte soit à nouveau lisible sur l’écran. -
Page 56: Résiduel En Standby
6.2.5 Résiduel en Standby • Menu principal > Affichage > Résiduel en Standby En mode Standby, le taux de fuites interne du fond peut être affiché (ACTIVÉ) ou non (DÉSACTIVÉ). Le réglage en usine est DÉSACTIVÉ. Touche n° DÉSACTIVÉ Le taux de fuites du fond n’est pas affiché. Touche n°... -
Page 57: Limite D'affichage Inférieure
6.2.7 Limite d’affichage inférieure • Menu principal > Affichage > Limite d’affichage inférieure En mode de mesure, ce réglage limite l’affichage du taux de fuite vers le bas. Il est uniquement actif en mode de fonctionnement Vide. Touches n° 3, Modification de la limite d’affichage inférieure entre 1x10 et 1x10 mbar l/s... - Page 58 Fig. 6-4 Une pression sur la touche OK permet de sélectionner le menu R ÉGLAGES (voir 6.6.1.6 ). Remarque: En cas de changement de mode de fonctionnement, le UL1000 peut exiger un calibrage. En tel cas, un message d’information s’affiche. Fig.
- Page 59 Contrôle de composants Une pression sur la touche START permet de démarrer le contrôle. En cas d’utili- sation de la chambre de test TC1000, le contrôle se déroule automatiquement dès que le couvercle de la chambre de test est fermé. Dès que le temps de contrôle défini est écoulé...
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Page 60: Seuil Et Alarme
Trigger 1 et Trigger 2 sont des seuils de commutation programmables. En cas de dépassement de ces seuils, le UL1000 / UL1000 Fab réagit de la manière suivante : Écran Dans la ligne d’état de l’écran, les symboles pour Trigger 1 et Trigger 2 sont repré- sentés inversés dès que les taux de fuites définis sont dépassés (c.-à-d. -
Page 61: Valeur Du Seuil 2
6.4.2 Valeur du seuil 2 • Menu principal > Seuil et alarme > Valeur du seuil 2 La valeur pour le seuil Trigger 2 peut être saisie ici. Pour une description de la saisie, v. chapitre 4.2.2.7 Saisies numériques. En cas de dépassement du seuil Trigger 2, le relais correspondant commute. Cette action s’affiche sur l’écran (voir plus haut). -
Page 62: Recherche Télécommande
Touche n° 2 : flèche vers le haut Faire défiler les lignes de sélection vers le haut pour sélectionner une unité de pression. Touche n° 3 : flèche vers le bas Faire défiler les lignes de sélection vers le bas pour sélectionner une unité de pression. -
Page 63: Type Alarme-Audio
6.4.7 Type alarme-audio • Menu principal > Seuil et alarme > Type alarme-audio Le type d’alarme optimal doit être sélectionné en fonction de la tâche à accomplir. Touche n° 2 : Pinpoint Cette fonction permet de localiser une fuite de grandeur connue. Détails, v. chapitre 6.4.7.1 Touche n°... -
Page 64: Valeur Nominale
6.4.7.3 Valeur nominale Le signal acoustique est désactivé tant que le taux de fuites est inférieur à la valeur pour le seuil Trigger 1. Au-delà du seuil Trigger 1, la hauteur du son est modulée proportionnellement au taux de fuites Fig. 6-10. 3000 Hz - 375 Hz - Aucun son... -
Page 65: Réglages
Réglages • Menu principal > Réglages Ce menu Fig. 6-12 permet d’afficher et de modifier les réglages de l’appareil. Fig. 6-12 : Le menu Réglages Touche Désignation Description n° Retour Retour au menu principal. Réglages spécifiques au système de vide. v. Réglages paramètres vide chapitre 6.6.1... -
Page 66: Réglages Paramètres Vide
> Réglages > Réglages paramètres vide Ce menu permet d’afficher et de modifier les réglages pour le système de vide. Touche n° 2 : Rinçage automatique (UL1000 Fab) v. chapitre 6.6.1.1 Touche n° 3 : Temporisation aération v. chapitre 6.6.1.2 Touche n°... -
Page 67: Temporisation Aération
6.3). Touche n° 2 : UNIQUEMENT ULTRA Avec ce mode de fonctionnement, le UL1000 / UL1000 Fab reste dans la plage ULTRA en cas de sous-dépassement de 0,4 mbar sur la bride d’entrée (voir v. chapitre 4.3.1). En cas d’affichage > 0,4 mbar de la pression sur la bride d’entrée, le UL1000 / UL1000 Fab bascule directement en mode de fonctionnement Évacu-... -
Page 68: Fuite Étalon Interne
Touche n° 4 : SOFTPUMP Avec ce mode, la vanne V1a du UL1000 et du UL1000 Fab reste fermée pendant que le détecteur pompe en mode GROSS ou FINE. Ceci permet de réduire la vitesse de la pompe d’environ le facteur 2. -
Page 69: Réglages Auto Leak Test
été atteinte pour le temps de mesure. Fig. 6-13 Temps de mesure, valeur minimale et valeur maximale Exemples pour les réglages du temps (la chambre de test INFICON est utilisée avec un volume de 430 cm³) : Portée du taux de fuites de retour Temps de mesure... - Page 70 Valeur du seuil 1 Le taux de fuites de retour pour un composant à tester peut se situer dans la plage comprise entre 10E-1 et 10E-9 mbar l/s. Fig. 6-14 Série des erreurs Le nombre de pièces rejetées durant une mesure en série peut être défini de 1 à 9. En mode , cette fonction est désactivée.
- Page 71 Pièces en cours de test Le numéro de la première pièce testée peut être saisi. Le numéro est automati- quement incrémenté jusqu’au prochain cycle de test. En mode , cette DÉSACTIVÉ fonction est désactivée. Fig. 6-16 Mesure de référence Fig. 6-17 Ce mode peut être utilisé...
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Page 72: Zéro Et Résiduel
Description des menus > Réglages > Zéro et résiduel La suppression du fond à l’intérieur du UL1000 / UL1000 Fab ainsi que la caractéris- tique des fonctions ZERO peuvent ici être sélectionnées. Touche Suppression du fond programm able 3 : v. -
Page 73: Zéro
> Masse La masse du gaz témoin respectivement employé peut être saisie. Le UL1000 / UL1000 Fab doit alors se trouver en mode Standby. Touche n° 2 : H (2 amu) L’hydrogène avec une masse de 2 amu est mesuré. -
Page 74: Interfaces
Touche n° 3 RS232 Le UL1000 / UL1000 Fab est commandé via l’interface RS232 à partir d’un ordi- nateur externe. Ce mode de fonctionnement ne permet pas de commander le UL1000 / UL1000 Fab à partir du clavier. Touche n° 4 Tous Le UL1000 et le UL1000 Fab peuvent être commandés par le biais de l’entrée... -
Page 75: Protocole Rs232
Veuillez exécuter la fonction « STORE DATA » en mode « Single Part Measurement » afin de démarrer l’enregistrement des valeurs mesurées. Touche n° 7 ASCII Permet l’exploitation du UL1000 / UL1000 Fab via un terminal RS232. Détails, voir la description de l’interface iins72d1-a. Description des menus... -
Page 76: Sortie Enregistreur
6.6.4.3 Sortie enregistreur • Menu principal > Réglages > Interfaces > Sortie enregistreur Ce sous-menu permet d’attribuer les signaux enregistrés par l’enregistreur aux deux sorties d’enregistreur. Touche n° 1 : Annuler Revenir au menu précédent sans modifier les valeurs actuelles. Touche n°... -
Page 77: Échelle Enregistreur
LR lin Les tensions de sortie sont mises à l’échelle à l’aide de la méthode linéaire. La tension de sortie est comprise entre 0 et 10 V par incréments réglables de 0,5 V à 10 V par décade. Pour le réglage de l’échelle, v. chapitre 6.6.4.4) LR log Les tensions de sortie sont mises à... -
Page 78: Divers
6.6.5 Divers • Menu principal > Réglages > Divers Ce sous-menu permet de définir la date actuelle et l’heure actuelle, la langue et la fréquence du réseau. Touche n° 2 : Heure et date v. chapitre 6.6.5.1 Touche n° 3 : Langue v. -
Page 79: Filtre De Fuite
230 V et 60 Hz pour 115 V. Touche n° 3 : 50 Hz Le UL1000 / UL1000 Fab doit être exploité sur un réseau 50 Hz. Touche n° 6 : 60 Hz Le UL1000 / UL1000 Fab doit être exploité sur un réseau 60 Hz. -
Page 80: Intervalle De Service Filtre D'échappement
Message de service filtre d’échappement Le filtre d’échappement doit régulièrement être entretenu afin de garantir le fonction- nement irréprochable du UL1000 / UL1000 Fab. Lorsque ce message est activé, le UL1000 / UL1000 Fab rappelle à l’opérateur qu’une opération de maintenance doit être effectuée. -
Page 81: Sauvegarde Et Chargement Paramètres
6.6.6 Sauvegarde et chargement paramètres • Menu principal > Réglages > Sauvegarde et chargement paramètres > Chargement Permet de sauvegarder et charger les réglages personnalisés ou de rétablir les réglages en usine. Touches n° 2 à 4 : Les réglages actuels peuvent être sauvegardés avec un nom librement définissable. - Page 82 Si le rappel de calibrage est activé, un message s’affichera systématiquement 30 minutes après la mise en marche ou si la température du UL1000 / UL1000 Fab a changé de plus de 5 °C depuis le dernier calibrage. Protection contre les particules •...
- Page 83 Cette fonction permet de modifier les points de commutation définis en usine pour les modes de fonctionnement GROSS-FINE-ULTRA. Ceci peut s’avérer nécessaire lorsque le UL1000 / UL1000 Fab pompe d’autres gaz que l’air. Le signal de pression de l’affichage de la pression d’admission qui dépend du type de gaz (Pirani) peut ensuite fournir d’autres valeurs de commutation à...
- Page 84 Temps de pompage maximum • Menu principal > Réglages > Réglages paramètres vide > Fonctions de surveillance > Temps de pompage maximum Cette option du menu permet de déterminer si un message de fuite grosse doit être affiché. La surveillance de fuite grosse fonctionne sur deux phases et il est possible, si nécessaire, d’adapter la valeur limite (réglage usine 30 min.).
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Page 85: Information
Les informations à propos des données internes sont affichées sur 4 pages. Touche n° 4 : Schéma synoptique Le schéma du vide du UL1000 / UL1000 Fab est affiché. Ce diagramme indique, entre autres, les vannes actuellement ouvertes ou fermées. -
Page 86: Contrôle D'accès
Contrôle d’accès • Menu principal > Contrôle d’accès Ce menu permet de restreindre l’accès à certaines fonctions du UL1000 / UL1000 Fab. Fig. 6-22. Fig. 6-22 : Le menu pour le Contrôle d’accès Touche n° 4 : Accès à fonction CAL v. -
Page 87: Changer Pin De L'appareil
> Changer PIN menu L’accès au UL1000 / UL1000 Fab peut être protégé par saisie ou modification du PIN de l’appareil. Si le PIN de l’appareil n’est pas 0000, le UL1000 / UL1000 Fab demande le PIN immédiatement après la mise en marche. Si vous n’entrez pas le PIN d’appareil, vous ne pouvez pas utiliser le UL1000 / UL1000 Fab. -
Page 88: Calibrage
Bien que le UL1000 et UL1000 Fab soient très stables, un cali- brage est toutefois recommandé de temps à autres afin de garantir que les variations de la température ambiante, les impuretés ou d’autres influences n’altèrent pas la... -
Page 89: Calibrage Interne
7.2.1.2 Calibrage interne manuel Lorsque le « Calibrage interne manuel » est sélectionné, on suppose que le UL1000 et UL1000 Fab est raccordé à une éprouvette (le cas contraire, sélectionner « Calibrage interne automatique »). Après le démarrage du «... - Page 90 • S’assurer que la fuite d’essai soit raccordée et ouverte. • Relever le taux de fuites sur la fuite d’essai et le comparer avec le taux de fuites affiché. Appuyer sur la touche Saisir taux de fuites (n° 4) et corriger la valeur le cas échéant.
- Page 91 • Aucune action n’est requise. Fig. 7-4 : Calibrage externe, étape 4 • Aucune action n’est requise. Fig. 7-5 : Calibrage externe, étape 5 • Fermer la fuite d’essai externe et confirmer à l’aide de la touche OK (n° 8). Fig.
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Page 92: Plage De Valeurs Pour Le Facteur De Calibrage
étape 8 Plage de valeurs pour le facteur de calibrage Afin d’éviter les erreurs de calibrage, le UL1000 et UL1000 Fab contrôle la plausi- bilité du facteur de calibrage à la fin de la routine de calibrage : Si le nouveau facteur n’est pas considérablement supérieur ou inférieur (< facteur 2) à... -
Page 93: Messages D'erreur Et Avertissements
Messages d’erreur Les messages d’erreur sont des événements qui contraignent le UL1000 et UL1000 Fab à interrompre le mode de mesure. En tel cas, le UL1000 et UL1000 Fab ferme toutes les vannes (mode Standby). Les messages d’erreur restent affichés sur l’écran jusqu’à ce qu’ils aient été... -
Page 94: Liste Des Messages D'erreur Et Avertissements
Liste des messages d’erreur et avertissements Les pages suivantes contiennent une liste de tous les messages d’erreur et avertis- sements. Les avertissements commencent par la lettre W suivie d’un numéro. Les messages d’erreur commencent par la lettre E suivie d’un numéro. N°... - Page 95 Le fusible F1 sur la carte MSV est grillé. • Absence de tension d’alimentation électrique 24 V. Éteindre le UL1000 / UL1000 Fab ! L’absence de tension provoque une fermeture de la pompe à tiroirs rotatifs qui peut, à son tour, provoquer une contamination du système de vide.
- Page 96 Le signal MSIBE est inactif sur la carte MSV. L’émission pour la cathode peut pas être activée. 1 ne peut pas être activée. Le UL1000 et UL1000 Fab bascule sur la cathode 2. Commandez une source d’ions neuve. W46 L’émission de la cathode 2 ne Le signal MSIBE est inactif sur la carte MSV.
- Page 97 E73 Émission désactivée (P trop PV >> 0,2 ou 3 mbar en raison de la pénétration, cela signifie que le élevée) UL1000 / UL1000 Fab tente de retourner en mode de mesure. W76 « Temps maximal d’évacu- • L’éprouvette comporte une grosse fuite.
- Page 98 N° Message affiché Description et remède possible W82 Facteur de calibration trop Le facteur de calibration calculé n’est pas compris dans la plage admise élevé ! (> 10). Le facteur initial est conservé. Causes possibles : • Les conditions requises pour le calibrage n’ont pas été respectées. •...
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Page 99: Travaux De Maintenance
Lorsque les différents intervalles de maintenance sont atteints (1 500 / 4 000 / 8 000 heures), un avertissement s’affiche sur l’écran du détecteur de fuites UL1000 et UL1000 Fab lors de sa mise en marche. Le message reste affiché jusqu’à ce que l’intervalle de maintenance soit acquitté. -
Page 100: Maintenance Ou Sav Chez Inficon
Maintenance ou SAV chez INFICON Si vous renvoyez un appareil à INFICON en vue de sa réparation ou maintenance, indiquez si l’appareil est exempt de substances nocives pour la santé ou s’il a été contaminé. S’il a été contaminé, indiquez la nature du danger. Utilisez à cet effet le formulaire de «... -
Page 101: Plan De Maintenance
• Niveau de service I Client • Niveau de service II Client avec formation technique • Niveau de service III Technicien SAV autorisé par INFICON • Effectuer la maintenance après le nombre d’heures de service ou la période définis •... -
Page 102: Groupes De Maintenance
Groupes de maintenance Pour une meilleure vue d’ensemble, le plan de maintenance pour le UL1000 et UL1000 Fab peut être divisé en quatre groupes de maintenance. • Maintenance après 1 500 heures • Maintenance après 4 000 heures, au moins une fois par an •... -
Page 103: Maintenance Après 4 000 Heures
La maintenance après 4 000 heures doit être effectuée par un technicien SAV INFICON ou une personne autorisée par la société INFICON au moins une fois par an. Indépendamment de la durée de service de 4 000 heures, l’huile de la pompe à... -
Page 104: Maintenance Après 8 000 Heures
Scroll IWATA doit au moins être remplacé tous les 2 ans. Un technicien SAV de la société INFICON doit remplacer le « Tip Seal » du module Scroll de la pompe Scroll Varian toutes les 8 000 heures de service. Si le « Tip Seal »... -
Page 105: Maintenance Après 16 000 Heures
à billes. Indépendamment du nombre d’heures de service de la turbopompe, la réserve de lubrifiant doit être remplacée tous les 2 ans. Le rempla- cement de la réserve de lubrifiant doit être confié à un technicien SAV INFICON ou à une personne autorisée par la société INFICON. -
Page 106: Description Des Travaux De Maintenance
Outil d’ouverture de la paroi latérale (accessoire). Danger S TOP Avant de retirer les capots du UL1000 et UL1000 Fab, impérativement débrancher le détecteur de fuites du réseau électrique ! • Débrancher les composants de vide montés sur l’admission du UL1000 et UL1000 Fab du système d’admission. -
Page 107: Contrôle Et Remplacement De La Cartouche Filtrante
Cartouche filtrante de rechange P/N 200 000 685 Danger S TOP Avant de retirer les capots du UL1000 et UL1000 Fab, impérativement débrancher le détecteur de fuites du réseau électrique ! • Pour l’ouverture du détecteur de fuites, v. chapitre 9.6.1... - Page 108 • Saisissez la cartouche filtrante avec deux doigts au niveau des évidements indiqués sur la Fig. 9-2/a puis retirez la cartouche filtrante du guidage. Si cela n’est pas possible, éjectez le filtre vers l’avant à l’aide d’un outil à travers l’orifice à...
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Page 109: Remplacement Du Silencieux De L'échappement
Remplacement du silencieux de l’échappement Matériel requis Silencieux de rechange P/N 200 99 183 • Éteindre le détecteur de fuites UL1000 Fab. • Dévisser le silencieux de l’adaptateur de raccordement et remplacer puis fixer le nouveau silencieux. À ce propos, voir Fig. 9-3/1. -
Page 110: Contrôle / Vidage Du Filtre D'échappement
Contrôle / vidage du filtre d’échappement Outillage requis Clé mixte de 17 mm Le filtre d’échappement filtre le brouillard d’huile produit durant le pompage par l’extraction de l’air aspiré. Pour des raisons de sécurité, le filtre d’échappement est muni d’une vanne qui s’ouvre en cas de blocage du filtre et évacue l’air aspiré direc- tement vers l’extérieur. - Page 111 Fig. 9-4 Position de montage du filtre d’échappement N° Description N° Description Bague de serrage KF 16 Repère maximal du niveau d’huile Cartouche filtrante Regard du niveau d’huile Réserve de lubrifiant Repère maximal du niveau d’huile Pour remplacer la cartouche filtrante, procédez de la manière suivante : •...
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Page 112: Surveillance, Appoint Du Niveau D'huile De La Pompe D16 B
Fig. 9-5 Cartouche filtrante du filtre d’échappement N° Description N° Description Capot du filtre Réserve de lubrifiant Cartouche filtrante Vis de vidange Support du filtre • Glisser la cartouche filtrante neuve sur le support puis le visser sur le capot du filtre. - Page 113 Le regard d’huile de la pompe à prévide D16 B permet d’effectuer un contrôle visuel du niveau et de la coloration de l’huile. Le niveau de la pompe à vide doit se situer entre les repères min. et max. À ce propos, voir Fig. 9-6/3-5. Remarque: Contrôler et effectuer l’appoint d’huile lorsque la pompe est éteinte ! Fig.
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Page 114: Vidange De La Pompe D16 B
9.11 Vidange de la pompe D16 B L’huile doit être renouvelée lorsqu’elle est encrassée ou qu’elle est consommée du point de vue chimique ou mécanique. Une vidange doit également être effectuée avant et après tout stockage prolongé de la pompe. Prudence La vidange doit toujours être effectuée à... -
Page 115: Pompe Turbomoléculaire Tmh
4 000 heures de service. Pour de plus amples informations, voir manuels d’utilisation PFEIFFER PM 800 504 BN/F et PT 0017 BN/B. Nous recommandons de confier ces travaux de maintenance au service après-vente de la société INFICON ou un parte- naire de service après-vente autorisé de la société INFICON. -
Page 116: Atpr265 (P1, P2)
Appendix TPR265 (P1, P2) Fig. 10-1 Appendix... -
Page 117: Déclaration De Conformité
Déclaration de conformité Déclaration de conformité... -
Page 118: Index
Index Fuite d’essai Accessoires (Accessories) Accessories Gaz de rinçage / lest Aération GROSS Alarme Alarme audio Axe du temps Haut-parleur Humidité Bride d’admission I CAL Informations Calibrage Installation Calibrage externe Calibration interne automatique Capacité d’aspiration Langue Conduite de reniflage Leak Ware Contraste Masses détectables date/heure... - Page 119 Pression Taux de fuites d’hélium Pression d’admission Télécommande Protection Télécommande (Hand Set) Protection contre la contamination Température ambiante Puissance absorbée Température de stockage Purge/Gas Ballast Touche START Touche STOP Touche ZERO QT 100 Transport Trigger Trigger alarm Raccordements électriques Turbopompe RS232 ULTRA Setpoint...
- Page 120 INFICON GmbH, Bonner Strasse 498, D-50968 Cologne, Germany UNITED STATES TAIWAN JAPAN KOREA SINGAPORE GERMANY FRANCE UNITED KINGDOM HONG KONG Vi sit o ur we bsi t e fo r con t act i nfo rm ati on an d o t her sal es o ffice s wo rl dw id e. w w w . i n f i c o n . c o m...