Inficon UL1000 Fab Manuel Technique page 34

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Contrôles avant la mise en service
Lors de la mise en marche du détecteur, un écran d'accueil s'affiche sur l'écran de
l'unité de commande Fig. 3-1/1. La vitesse de la
turbopompe, la pression de prévide, l'émission et la cathode active s'affichent
ensuite sur l'écran.
La procédure de démarrage dure env. 3 minutes et une brève tonalité retentit dès
qu'elle est achevée. Le UL1000 / UL1000 Fab se trouve alors en mode Standby
(veille).
Fig. 3-1 Vue du UL1000 et UL1000 Fab
Description
1
Unité de commande
2
Admission
4
S'assurer que l'admission Fig. 3-1/2 soit équipée d'une bride aveugle. Le cas
contraire, fixer une bride aveugle avec un joint torique sur l'admission.
5
Appuyer sur la
Touche START
évacué et le taux de fuites mesuré s'affiche.
Il s'agit ici du mode de mesure. Si une éprouvette était maintenant raccordée, il serait
possible de démarrer la pulvérisation d'hélium par l'extérieur.
Fig. 3-2/6. L'air contenu dans l'admission est ensuite

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