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Description et principe de fonctionnement
Fig. 4-1 : Diagramme de vide UL1000 et UL1000 Fab
N°
Description
1
MS : spectromètre de masse, capteur d'hélium (spectromètre de masse à
secteurs magnétiques 180°)
2
Pompe turbomoléculaire (TMP, génère le vide poussé requis par le spec-
tromètre de masse)
3
V1a ... V8 : électrovannes pour la commande des flux de gaz
4
Pompe Scroll (génère la pression de prévide pour la TMP et vide également
les éprouvettes par pompage)
5
Bride d'entrée
Le système de pompage sert non seulement à générer et maintenir le vide dans le
spectromètre de masse, mais sert également à évacuer l'air contenu dans les éprou-
vettes. Ceci garantit en permanence que la pression qui règne à l'intérieur du spec-
tromètre de masse soit suffisamment basse. Les vannes V1a, V1b, V2, V4a et V4b
commandent le flux de gaz durant la mesure. Les vannes V5 (uniquement UL1000),
V6 et V8 servent à aérer le système et la turbopompe. La vanne V7 ouvre et ferme
la fuite d'essai interne durant l'opération de calibrage.
Lorsque la pression dans l'éprouvette est inférieure à la pression ambiante, l'hélium
employé pour pulvériser l'éprouvette peut y pénétrer en présence d'une fuite dans
l'éprouvette. Dès que les conditions de pression le permettent, l'une des vannes
s'ouvre en direction de la TMP. L'hélium peut alors pénétrer dans le spectromètre de
masse dans le sens inverse du pompe de la TMP (donc à contre-courant).
Pour de plus amples informations, v. chapitre
4.3 Modes de
fonctionnement.
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