Table des Matières
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9.12
Pompe turbomoléculaire TMH 071
9.13
Pompes Scroll (uniquement UL1000 Fab)
La pompe turbomoléculaire doit être entretenue une fois par an ou toutes les
4 000 heures de service. Pour de plus amples informations, voir manuels d'utilisation
PFEIFFER PM 800 504 BN/F et PT 0017 BN/B. Nous recommandons de confier ces
travaux de maintenance au service après-vente de la société INFICON ou un parte-
naire de service après-vente autorisé de la société INFICON.
L'intervalle de maintenance des différentes pompes Scroll (IWATA, VARIAN) est
indiqué dans le plan de maintenance (v. chapitre 9.4).
La maintenance des pompes Scroll doit uniquement être effectuée par le service
après-vente de la société INFICON ou un partenaire de service après-vente autorisé
de la société INFICON.
Travaux de maintenance
115
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