Table des Matières
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9.4
Plan de maintenance
Sous-groupe
Système de vide
Pompe à prévide D16 B Contrôler le niveau d'huile, remplacer
le cas échéant
Vidanger l'huile
Réparer la pompe à prévide
Pompe Scroll IWATA
Remplacer la tête Scroll
ISP 500
Pompe Scroll Varian
Remplacer le Tip Seal
TS 620
Remplacer la tête Scroll
TMH 071
Remplacer la réserve de lubrifiant
Remplacer les paliers
Bloc de vannes
Nettoyer vannes, remplacer les joints
des vannes
Démonter et nettoyer le bloc de vannes
Remplacer la conduite de gaz de
rinçage
Ajuster le Pirani
Silencieux UL1000 Fab Remplacer
Filtre d'échappement
Contrôler, vider
UL1000
Remplacer la cartouche filtrante
Équipement
électrique
Sous-groupes des
Nettoyer par soufflage les ventilateurs
ventilateurs
sur la paroi/au fond du châssis
Remplacer la cellule du filtre de
rechange pour le ventilateur de la paroi
du châssis
•
Niveau de service I Client
•
Niveau de service II Client avec formation technique
•
Niveau de service III Technicien SAV autorisé par INFICON
•
X
•
X
1
•
X
2
•
1
•
2
Travaux de maintenance
UL1000 / UL1000 Fab
Effectuer la maintenance après le nombre d'heures de
service ou la période définis
Aucune limitation périodique, uniquement heures de service
Effectuer les travaux de maintenance au bout de la période
définie
Dépend de l'environnement et de l'utilisation
Dépend du procédé
Heures de service / années Niveau de
1500
4000
8000
1/4
1
X
2
X
2
1
X
1
X
1
X
1
1
X
1
service
16000
2
I et II
II
X
III
X
III
X
III
1
X
III
X
II et III
2
X
III
2
X
III
2
X
III
X
I, II , III
1
X
III
I, II, III
I, II, III
X
I, II, III
1
I
I
Travaux de maintenance
N° pièce
de rechange
20028181
200000021R
200001671
200001665R
200000577
200000594
200000593
200000683
20099183
200000694
200000685
101
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